来源：迈为股份2021-05-28

自2019年1月公司的hjt pecvd及其配套设备项目启动至今，迈为先后首创性地研制了第一代产能200mw、第二代产能400mw的pecvd设备，且通过进一步自主研发，成为了第一家实现hjt高效电池整线设备国产化的企业

来源：北极星太阳能光伏网2021-04-28

光伏异质结（hjt）高效电池片用pecvd设备项目，旨在开发研制光伏异质结（hjt）高效电池用pecvd工艺装备并形成量产能力。...4月6日金辰股份发布公告称，非公开发行股票申请获得通过，公司拟募集资金不超过3.8亿元，用于光伏异质结（hjt）高效电池片用pecvd设备项目及补充流动资金。

来源：苏大光伏校友会2021-04-09

项目一期第一条线主要以进口设备为主，采用启威星的清洗制绒设备、美国应用材料的pecvd设备、捷佳伟创的rpd设备、应用材料的丝网印刷设备，对应电池产能220mw；第二条线为国产设备，对应产能260mw，

来源：北极星太阳能光伏网2021-04-07

光伏异质结（hjt）高效电池片用pecvd设备项目，旨在开发研制光伏异质结（hjt）高效电池用pecvd工艺装备并形成量产能力。...据悉，金辰股份此次拟非公开发行不超过3173.38万股股票，募集资金不超过3.8亿元，用于光伏异质结（hjt）高效电池片用pecvd设备项目及补充流动资金。

来源：北极星太阳能光伏网2021-03-29

新购置制绒清洗设备、 pecvd 设备、pvd 设备、丝网印刷线机、划片串焊设备、叠焊机、 层压机等生产及辅助设备885 台/套，项目主导产品为n型高效太阳能电池组件。

来源：集邦新能源网2021-03-24

-1.5亿元左右，topcon投资约2-2.5亿元左右，而hjt投资额在4-4.5亿元左右，但单gw perc改造为topcon金额约6000-8000万元左右，主要新增设备为非晶硅沉积的lpcvd/pecvd...设备以及镀膜设备，可实现对perc的低成本升级至topcon。

来源：集邦新能源网2021-02-02

值得注意的是，虽然某些工序/设备名称一样，但是实际区别较大，例如pecvd设备，pecvd全称为等离子体增强化学气相沉积法（plasma enhanced chemical vapor deposition

来源：贝哲斯咨询 Market Monitor2021-01-11

捷佳伟创是太阳能电池片龙头，主要产品包括pecvd设备、扩散炉、制绒设备、刻蚀设备、清洗设备、自动化配套设备等。凭借领先的pecvd设备，有望受益于近几年perc电池产能扩张周期。

来源：光伏新闻2020-12-31

该企业在炭炭材料一件难求的前提下，对pecvd设备的采购按下暂停键，说明该企业对未来的炭炭材料市场不看好。

来源：格隆汇2020-10-13

无锡松煜科技有限公司是从事高端智能装备开发、生产、销售的光伏设备及半导体工艺设备制造商，目前主要产品为原子层沉积设备(ald)、扩散设备、氧化设备和pecvd设备。

来源：北极星太阳能光伏网2020-09-30

公司主营pecvd设备、扩散炉、制绒设备、刻蚀设备、清洗设备、丝网印刷、自动化配套设备等晶硅太阳能电池生产工艺流程中的主要设备的研发、制造和销售以及半导体清洗设备。

来源：摩尔光伏2020-09-08

1.88亿元异质结整线设备订单（主要包含两套制绒清洗、一套pecvd及一套丝网印刷线，产能8000片/时）和两套合计0.6亿元的pvd设备订单（合计产能13500片/时），理想万里晖中标一套0.55亿元pecvd...设备（产能4000片/时），苏州中辰昊科技中标一套0.19亿元丝网印刷线。

来源：苏大光伏校友会2020-09-03

1.88亿元异质结整线设备订单（主要包含两套制绒清洗、一套pecvd及一套丝网印刷线，产能8000片/时）和两套合计0.6亿元的pvd设备订单（合计产能13500片/时），理想万里晖中标一套0.55亿元pecvd...设备（产能4000片/时），苏州中辰昊科技中标一套0.19亿元丝网印刷线。

来源：东吴研究所2020-08-26

1.88亿元hit整线设备订单（主要包含两套制绒清洗、一套pecvd及一套丝网印刷线，产能8000片/时）和两套合计0.6亿元的pvd设备订单（合计产能13500片/时），理想万里晖中标一套0.55亿元pecvd...设备（产能4000片/时），苏州中辰昊科技中标一套0.19亿元丝网印刷线。

来源：太阳能杂志2020-08-21

苏州迈为在稳固自身丝网印刷设备领先地位的同时，正在积极布局激光设备、异质结电池生产设备;捷佳伟创则布局智能自动化设备和丝网印刷设备;组件设备制造企业金辰股份也开始布局丝网印刷、pecvd设备。

来源：老成之见2020-08-17

美国设备厂商应用材料生产的pecvd设备脱胎于tft-lcd显示屏所使用的pecvd设备，有着深厚的技术工艺经验积累，其腔体面积较大，可同时容纳更多硅片进行镀膜，且在大面积下保持优秀的成膜质量。

来源：钧石能源2020-08-04

snec展会期间，钧石能源还将着重介绍异质结电池gw级生产装备，拥有自主知识产权，且专为大规模量产设计pecvd设备，可兼容166mm、18xmm、210mm尺寸硅片，每个in/ip模块的产能超过4,200w

来源：北极星太阳能光伏网2020-08-04

5月27日，金辰股份非公开发行募集资金金额不超过3.8亿元(含3.8亿元)用于年产40台(套)光伏异质结(hjt)高效电池片用pecvd设备项目及补充流动资金。

来源：老成之见2020-07-15

目前理想万里晖pecvd设备已实现25.11%的hjt电池实验室转换效率世界纪录。钧石能源自研pecvd设备可支撑hjt电池达到24.1%的平均转换效率。

来源：能源评论·首席能源观2020-07-09

hjt技术所需pecvd设备中，进口设备约为8亿~10亿元/吉瓦，国产设备约为5亿~8亿元/吉瓦，perc电池则只需要2.5亿~3亿元/吉瓦。当然，高投入也有高回报。