来源：工控网(百站)2013-08-19

微型化是建立在微电子机械系统(mems)技术基础上的，已成功应用在硅器件上做成硅压力传感器。

来源：工控网(百站)2013-08-16

现在正处于高速发展期mems技术在未来的发展主要表现在以下几个方面：第一，微型化的同时降低功耗。...中国物联网研究发展中心副主任陈大鹏介绍，mems技术是物联网产业链中不可或缺的一环，但由于传感器行业技术门槛较高，从事传感器研发的创新公司尽管拥有部分核心技术，但规模小，没有生产能力，再加上国内缺乏开放

来源：中国物流产品网2013-08-05

mems技术属于物联网的信息采集层技术。4.gps技术gps技术又称为全球定位系统，是具有海、陆、空全方位实时三维导航与定位能力的新一代卫星导航与定位系统。

来源：中国教育装备采购网2013-03-11

近年来随着红外传感技术的不断进步，采用微机械系统(mems)技术制作的非致冷热电堆红外探测器以其能耗低，重量轻，体积紧凑、开机预热时间短和成本低等优点而倍受关注。

来源：中国高新技术产业导报2012-03-22

8.特种工艺与精密制造技术多维精密加工工艺，精密成型工艺，焊接、粘接、烧结等特殊连接工艺，微机电系统(mems)技术，精确可控热处理技术，精密锻造技术等。

来源：中国行业研究网2012-02-23

当前的重点是多维精密加工工艺，精密成型工艺，球面、非球面光学元件精密加工工艺，晶体光学元件磨削工艺，特殊光学薄膜设计与制备工艺，精密光栅刻划复制工艺，特殊焊接、粘接、烧结等特殊连接工艺，专用芯片加工技术，mems...技术，全自动微量、痕量样品分析与处理技术等。

来源：中国传动网2011-07-12

当前的重点是多维精密加工工艺，精密成型工艺，球面、非球面光学元件精密加工工艺，晶体光学元件磨削工艺，特殊光学薄膜设计与制备工艺，精密光栅刻划复制工艺，特殊焊接、粘接、烧结等特殊连接工艺，专用芯片加工技术，mems...技术，全自动微量、痕量样品分析与处理技术等。

来源：今日自动化2011-07-07

当前的重点是多维精密加工工艺，精密成型工艺，球面、非球面光学元件精密加工工艺，晶体光学元件磨削工艺，特殊光学薄膜设计与制备工艺，精密光栅刻划复制工艺，特殊焊接、粘接、烧结等特殊连接工艺，专用芯片加工技术，mems...技术，全自动微量、痕量样品分析与处理技术等。

来源：仪器仪表交易网2011-06-30

2011-2013年，我国mems传感器市场将持续保持两位数增长水平。同时，国家高度重视传感器产业，特别是mems传感器产品的研发和产业化，在良好的市场驱动和政策环境作用下，我国mems传感器产品将获得进一步的长足发展

来源：仪器仪表交易网2011-06-29

飞思卡尔xtrinsicmpl3115a2压力传感器基于微机电系统(mems)技术，补充了xtrinsic产品组合中的加速计和磁力计，可以满足智能移动设备中对这类组件的日益增长的需求。

来源：仪器仪表交易网2011-06-29

2011-2013年，在中国汽车电子、医疗电子等产品产量继续保持较快增长的带动下，我国mems传感器市场将持续保持两位数增长水平。同时，国家高度重视传感器产业，特别是mems传感器产品的研发和产业化，在良好的市场驱动和政策环境作用下

来源：传动网2011-05-24

微型化是建立在微电子机械系统(mems)技术基础上的，目前已成功应用在硅器件上形成硅压力传感器(如上述ejx变送器)。...(注：mems技术还完成了微电动机或执行器等产品，将另作文介绍)网络化方面，目前主要是指采用多种现场总线和以太网(互联网)，这要按各行业的特点，选择其中的一种或多种，近年内最流行的有ff、profibus

来源：益登科技2011-04-12

益登科技董事长曾禹旖表示：“wispry卓越的rf cmos mems技术能有效解决关键的前端性能问题，符合现今移动网络的广大需求。

来源：电子元件技术网2010-11-29

对于敏感元器件和传感器的发展，温学礼表示，目前，我国开发新一代的高、精、尖传感器已具备条件，如光纤、红外、超声波、生物、智能及模糊控制传感器，采用mems技术制作的微传感器等。

来源：中华工控网2010-09-26

微型化是建立在微电子机械系统(mems)技术基础上的，目前已成功应用在硅器件上形成硅压力传感器(如上述ejx变送器)。...(注：mems 技术还完成了微电动机或执行器等产品，将另作文介绍)网络化方面，目前主要是指采用多种现场总线和以太网(互联网)，这要按各行业的特点，选择其中的一种或多种，近年内最流行的有ff、profibus

2006-09-07

　　欧姆龙在2006年9月1月召开的“mems技术在生命科学领域的应用”交流会上，常务董事、技术本部长今仲行一介绍了压力传感器与流量传感器等mems技术在医疗领域的应用事例。 　　

2006-09-07

微电子机械系统（mems）技术是在微电子器件制造工艺技术基础上进一步融入微机械加工技术，并把两者结合起来的微制造技术，加工尺度在微米、纳米级。

2006-08-28

我国开发新一代的高、精、尖传感器已具备条件，如光纤、红外、超声波、生物、智能及模糊控制传感器，采用mems技术制作微传感器等，这些新产品逐步实现了cad设计、全部实现可靠性设计，质量分析及质量信息管理均采用计算机化

2006-04-27

ic insights并且估计大约80%的传感器/制动器采用微机电系统(mems)技术来执行转换(transducer)的功能。

2006-04-19

该公司是使用mems技术生产3轴加速度传感器的第一大厂商，增产的目的是要扩大该产品在便携终端领域的应用。 该公司正在将产能由目前的年产3000万个扩大到1亿个。