来源：华创证券2020-05-08

新设备进展方面，近期微导研发的全球首台适用于 topcon 技术的 ald 设备正式进入量产阶段，产品 已交客户使用。...当前技术路线中，隧穿氧化物及多晶硅沉积主要采用 lpcvd 设备，国产设备已较为成熟，捷佳伟 创、北方华创、拉普拉斯等国内厂商等均可提供，此外，peald 设备无锡微导已实现量产。

来源：山西省招标投标公共服务平台2020-04-17

设备及掺杂、消融激光等设备改造招标，和项目自动化设备（一标段）及项目划焊一体机（一标段）设备采购等。...（简称“晋能光伏”）连发八条招标采购公告，用于采购其高效单晶perc电池及组件166技改项目的光伏设备及原有光伏设备改造等，采购内容涉及项目抗lid设备、自动化及辅助设备、热制程自动化、丝网印刷设备、ald

来源：光伏测试网2020-02-24

相较常规光伏电池的工艺流程新增了两个重要工序，只需在传统电池产线增加钝化膜沉积设备（pecvd 设备或ald设备）和激光开槽设备即可。

来源：国信证券2020-02-18

相较常规光伏电池的工艺流程新增了两个重要工序，只需在传统电池产线 上额外增加钝化膜沉积设备（pecvd 设备或 ald 设备）和激光开槽设备即 可。perc 核心产品为 pecvd 设备、丝网印刷等。

来源：国金证券2020-01-31

相较常规光伏电池的工艺流程新增了两个重要工序，只需在传统电池产线 增加钝化膜沉积设备(pecvd设备或 ald设备)和激光开槽设备即可。

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2018-05-28

设备中国市场占有率80%以上！...江苏微导实现了高效晶硅电池量产关键技术的多个突破：n-pert电池保持国产高效电池最高量产效22%；p-perc电池突破技术瓶颈，在多家光伏标杆企业实现量产；ald技术成功用于perc电池量产电池效率达21.7%，在运行批量型ald

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2017-11-03

江苏微导纳米装备科技有限公司针对光伏市场开发的夸父系列原子层沉积（ald）设备已经陆续交付客户并投入生产，n型双面电池的量产效率稳定保持在22%以上，效率绝对值较产线提高0.4%以上，量产极限产能可达5900

来源：摩尔光伏2017-10-13

perc电池的成本稳步下降，进步令人欣喜，当然问题依然存在：首先在氧化铝沉积设备上，梅耶伯格的板式pecvd可谓一家独大，然而其维护成本高，tma消耗量大，同时薄膜质量提升空间较小；而ald设备目前呈现百家争鸣的态势

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2017-02-27

微导正在开展的ald设备产品技术性能达到国际领先水平，打破国外垄断，填补了国内空白。

来源：新华社2016-12-02

正泰研发的我国首台太阳能电池关键高端生产设备（pecvd），打破了西方长期垄断，自主研发的光伏背钝化ald设备和高效异质结hit-pecvd设备也处于国际领先水平，在光伏高端装备市场备受青睐。

来源：元器件交易网2014-12-17

kramer将新开发的制程技术叫做sprayld，因为是采用原子层沉积(ald)设备；他表示，团队已经在平面玻璃基板、软性塑胶基板以及半球形玻璃基板上尝试过喷涂技术，而且利用以上三种基板都成功产出了具功能的元件

来源：PV-Tech2014-11-24

领先的光伏设备供应商solaytec日前获得美国光伏制造商mission solar energy对于其inpassion ald设备的一份订单，该设备将用于n型硅双面太阳能电池生产。

来源：中国光伏测试网2013-11-18

solaytec近日宣布某中国一线光伏电池制造商已经预订一台inpassion原子层沉积(ald)设备，生产用于光伏组件的工业型钝化发射极背面接触(perc)单晶硅太阳能电池。

来源：PV-Tech2013-09-23

据公司称，inperc技术承担了一系列工艺：背表面平整精加工、钝化和激光消融等，其中还包括solaytec旗下inpassion原子层沉积(ald)设备，以在关键领域实现效率提升。

来源：PV-tech2013-09-22

据公司称，inperc技术承担了一系列工艺：背表面平整精加工、钝化和激光消融等，其中还包括solaytec旗下inpassion原子层沉积(ald)设备，以在关键领域实现效率提升。