来源：北极星储能网2022-01-24

重点支持研发生产全自动大面积pecvd（等离子增强化学气相沉积）、多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、高精度丝网印刷机、高温烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备；大面积tco（透明导电氧化物

来源：合肥市经济和信息化局2022-01-20

重点支持研发生产全自动大面积pecvd（等离子增强化学气相沉积）、多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、高精度丝网印刷机、高温烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备；大面积 tco（透明导电氧化物

来源：上海经信委2021-12-21

一是集成电路装备，瞄准光刻、刻蚀、湿法、沉积、离子注入、量测检测等工艺环节，推进先进光刻机、高端刻蚀机、晶圆清洗设备、离子注入设备、气相沉积设备、量测检测设备、先进封装设备等核心产品研发，在关键制程实现产业化突破

来源：北极星风力发电网2021-07-23

加快研制具有国际一流水平的刻蚀机、清洗机、离子注入机、量测设备等高端产品。开展核心装备关键零部件研发。提升12英寸硅片、先进光刻胶研发和产业化能力。

来源：上海市人民政府2021-07-22

加快研制具有国际一流水平的刻蚀机、清洗机、离子注入机、量测设备等高端产品。开展核心装备关键零部件研发。提升12英寸硅片、先进光刻胶研发和产业化能力。

来源：安徽省经信厅2021-07-22

充分发挥阳光电源、晶澳、通威、隆基等现有龙头企业带动作用，汇聚整合上下游资源，完善离子注入机、高精度丝网印刷机、高温烧结炉、等离子增强化学气相沉积设备、物理气相沉积设备、卷绕镀膜设备等高性能太阳能电池与组件生产和测试仪器设备

来源：北极星氢能网2021-07-21

加快研制具有国际一流水平的刻蚀机、清洗机、离子注入机、量测设备等高端产品。开展核心装备关键零部件研发。提升12英寸硅片、先进光刻胶研发和产业化能力。

来源：北极星氢能网2021-07-16

装备材料，加强装备材料创新发展，突破光刻设备、刻蚀设备、薄膜设备、离子注入设备、湿法设备、检测设备等集成电路前道核心工艺设备；提升12英寸硅片、高端掩膜板、光刻胶、湿化学品、电子特气等基础材料产能和技术水平

来源：燃料电池专利情报2021-07-01

其中离子注入层主要包括贵金属离子（au、pt等）、过渡金属(ti、cr、nb等)以及非金属离子（c、n、si），主要用于改善涂层的腐蚀性能和成形性能；界面扩散层主要为过渡金属的碳化物或氮化物，用于消除离子注入产生的缺陷

来源：清华大学学报2021-05-24

涂层加工方法可以分为电镀、化学镀、气相沉积法、热处理法、离子注入法和喷涂法等。对相同成分的涂层采用不同的方法进行处理，导电性和耐久性会受到不同的影响。

来源：安徽省人民政府2021-04-23

重点开展大尺寸超高清液晶显示、微显示器件、柔性amoled面板，玻璃基板、柔性玻璃盖板、偏光片、有机发光材料、光学膜、掩膜版、靶材等关键材料及核心产品，曝光机、离子注入、蒸发源、化学气相沉淀、显影、刻蚀

来源：安徽省人民政府2021-04-23

重点开展大尺寸超高清液晶显示、微显示器件、柔性amoled面板，玻璃基板、柔性玻璃盖板、偏光片、有机发光材料、光学膜、掩膜版、靶材等关键材料及核心产品，曝光机、离子注入、蒸发源、化学气相沉淀、显影、刻蚀

来源：安徽省人民政府2021-04-23

重点开展大尺寸超高清液晶显示、微显示器件、柔性amoled面板，玻璃基板、柔性玻璃盖板、偏光片、有机发光材料、光学膜、掩膜版、靶材等关键材料及核心产品，曝光机、离子注入、蒸发源、化学气相沉淀、显影、刻蚀

来源：集邦新能源网2021-02-02

（2）topcon：图中黄色色块为topcon在perc基础产线上改变或者增加的工艺，可以最大化的利用现有perc产线和工艺经验积累，增加的设备包括lvcvd/pecvd、离子注入机、退火炉、刻蚀设备等

来源：中核集团2020-12-28

同时项目形成的高压加速器技术，可应用于离子注入、核材料辐照筛选、材料改性、中子产生等多领域，对中核集团核技术应用产业及国内相关行业的发展起到积极的促进作用。

来源：太阳能杂志2020-08-21

以目前已经实现国产化的n型电池用离子注入机为例，其内部所需的高压电源、真空泵、真空计等核心基础部件基本依赖进口，而恰恰是这些部件的采购费用占据了设备材料成本相当大的比重。

来源：发改委2020-08-13

真空专用设备18.重离子治癌设备研发及制造19.余热余能利用锅炉、生物质锅炉、垃圾焚烧处理锅炉及高参数大容量高效节能锅炉（窑炉）制造20.绿色镀膜成套装备研发及制造：真空离子镀膜、磁控溅射镀膜、蒸镀膜、离子注入

来源：北极星风力发电网2020-08-13

真空专用设备18.重离子治癌设备研发及制造19.余热余能利用锅炉、生物质锅炉、垃圾焚烧处理锅炉及高参数大容量高效节能锅炉（窑炉）制造20.绿色镀膜成套装备研发及制造：真空离子镀膜、磁控溅射镀膜、蒸镀膜、离子注入

来源：国家发改委2020-08-12

真空专用设备18.重离子治癌设备研发及制造19.余热余能利用锅炉、生物质锅炉、垃圾焚烧处理锅炉及高参数大容量高效节能锅炉（窑炉）制造20.绿色镀膜成套装备研发及制造：真空离子镀膜、磁控溅射镀膜、蒸镀膜、离子注入

来源：国家发改委2020-08-12

真空专用设备18.重离子治癌设备研发及制造19.余热余能利用锅炉、生物质锅炉、垃圾焚烧处理锅炉及高参数大容量高效节能锅炉（窑炉）制造20.绿色镀膜成套装备研发及制造：真空离子镀膜、磁控溅射镀膜、蒸镀膜、离子注入