来源：金升阳2023-12-13

（二）高端导轨电源：高精度、低纹波经过单晶硅片制造后，进入薄膜沉积、光刻、离子注入等前道工艺。这时设备的工艺环境相对好一些，其设备电源更看重精度、纹波等参数。

来源：中来股份2023-05-25

作为国内率先选择topcon技术路线的企业，中来在装备的国产化方面投入了大量研发经费，包括第一台硼扩设备、第一台ald设备、第一台离子注入设备、第一台lpcvd设备、第一台popaid设备和第一台碱抛制绒设备

来源：北极星太阳能光伏网2023-04-10

为了进一步延展嘉拓智能产品线，在协同公司材料设备需求的同时服务光伏领域客户，嘉拓智能通过控股子公司东莞嘉拓日晟智能科技有限公司发起设立无锡嘉拓，生产光伏电池片关键工艺设备，主要包括：离子注入机、管式pecvd

来源：广东省工信厅2022-09-08

发挥省内集成电路和半导体制造企业带动作用，吸引高端装备龙头企业落户，支持本土优秀装备企业发展，研发生产硅基光电器件制造工艺和第三代半导体制造工艺用的沉积设备、刻蚀设备、离子注入、清洗设备、薄膜制备、检测量测等高端装备

来源：广东省工业和信息化厅2022-09-05

重点支持大面积透明导电氧化物（tco）导电玻璃镀膜设备、多靶位磁控溅射系统、多线切割机、自动分选机等硅片生产设备；多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、全自动大面积等离子增强化学气相沉积装备（pecvd）、干法刻蚀机、离子注入机

来源：工业水处理2022-04-22

1 水质及水量1.1设计水量及水质泰兴某光电建设规模为年产2.1 gw n型单晶双面太阳能电池，废水主要来自生产工序硅片制绒及清洗、扩散制结、湿法刻蚀、离子注入、退火、pecvd制氧化铝和氮化硅膜、丝网印刷

来源：北极星储能网2022-01-24

重点支持研发生产全自动大面积pecvd（等离子增强化学气相沉积）、多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、高精度丝网印刷机、高温烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备；大面积tco（透明导电氧化物

来源：合肥市经济和信息化局2022-01-20

重点支持研发生产全自动大面积pecvd（等离子增强化学气相沉积）、多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、高精度丝网印刷机、高温烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备；大面积 tco（透明导电氧化物

来源：上海经信委2021-12-21

一是集成电路装备，瞄准光刻、刻蚀、湿法、沉积、离子注入、量测检测等工艺环节，推进先进光刻机、高端刻蚀机、晶圆清洗设备、离子注入设备、气相沉积设备、量测检测设备、先进封装设备等核心产品研发，在关键制程实现产业化突破

来源：北极星风力发电网2021-07-23

加快研制具有国际一流水平的刻蚀机、清洗机、离子注入机、量测设备等高端产品。开展核心装备关键零部件研发。提升12英寸硅片、先进光刻胶研发和产业化能力。

来源：上海市人民政府2021-07-22

加快研制具有国际一流水平的刻蚀机、清洗机、离子注入机、量测设备等高端产品。开展核心装备关键零部件研发。提升12英寸硅片、先进光刻胶研发和产业化能力。

来源：安徽省经信厅2021-07-22

充分发挥阳光电源、晶澳、通威、隆基等现有龙头企业带动作用，汇聚整合上下游资源，完善离子注入机、高精度丝网印刷机、高温烧结炉、等离子增强化学气相沉积设备、物理气相沉积设备、卷绕镀膜设备等高性能太阳能电池与组件生产和测试仪器设备

来源：北极星氢能网2021-07-21

加快研制具有国际一流水平的刻蚀机、清洗机、离子注入机、量测设备等高端产品。开展核心装备关键零部件研发。提升12英寸硅片、先进光刻胶研发和产业化能力。

来源：北极星氢能网2021-07-16

装备材料，加强装备材料创新发展，突破光刻设备、刻蚀设备、薄膜设备、离子注入设备、湿法设备、检测设备等集成电路前道核心工艺设备；提升12英寸硅片、高端掩膜板、光刻胶、湿化学品、电子特气等基础材料产能和技术水平

来源：燃料电池专利情报2021-07-01

其中离子注入层主要包括贵金属离子（au、pt等）、过渡金属(ti、cr、nb等)以及非金属离子（c、n、si），主要用于改善涂层的腐蚀性能和成形性能；界面扩散层主要为过渡金属的碳化物或氮化物，用于消除离子注入产生的缺陷

来源：清华大学学报2021-05-24

涂层加工方法可以分为电镀、化学镀、气相沉积法、热处理法、离子注入法和喷涂法等。对相同成分的涂层采用不同的方法进行处理，导电性和耐久性会受到不同的影响。

来源：安徽省人民政府2021-04-23

重点开展大尺寸超高清液晶显示、微显示器件、柔性amoled面板，玻璃基板、柔性玻璃盖板、偏光片、有机发光材料、光学膜、掩膜版、靶材等关键材料及核心产品，曝光机、离子注入、蒸发源、化学气相沉淀、显影、刻蚀

来源：安徽省人民政府2021-04-23

重点开展大尺寸超高清液晶显示、微显示器件、柔性amoled面板，玻璃基板、柔性玻璃盖板、偏光片、有机发光材料、光学膜、掩膜版、靶材等关键材料及核心产品，曝光机、离子注入、蒸发源、化学气相沉淀、显影、刻蚀

来源：安徽省人民政府2021-04-23

重点开展大尺寸超高清液晶显示、微显示器件、柔性amoled面板，玻璃基板、柔性玻璃盖板、偏光片、有机发光材料、光学膜、掩膜版、靶材等关键材料及核心产品，曝光机、离子注入、蒸发源、化学气相沉淀、显影、刻蚀

来源：集邦新能源网2021-02-02

（2）topcon：图中黄色色块为topcon在perc基础产线上改变或者增加的工艺，可以最大化的利用现有perc产线和工艺经验积累，增加的设备包括lvcvd/pecvd、离子注入机、退火炉、刻蚀设备等