来源：绿色能源2013-11-07

首先是组件层压等设备，开始国产化，并形成了诸如秦皇岛这样的产业集聚区，然后，是硅片清洗、扩散炉、丝印机、烧结机等电池片生产设备的国产化，再后来就是铸锭炉、开方机等硅片生产设备的国产化。...而硅片和电池片方面，上海普罗所开发的干法刻蚀技术，不仅降低了硅片清洗和制绒成本，而且还免除了酸液的处理和排放，更为环保和清洁;此外，上海普罗所开发的n型准单晶无籽晶铸造技术和n型衬底电池片扩散技术及装备

来源：SEMI2013-04-07

通过观察硅锭生长制造工艺，硅片切片以及硅片清洗可以明显的看出该趋势。到2020年，多晶硅和单晶硅硅锭的生长将比2010年分别增加45%和20%(见图3)。线锯产出将在如图4所示的时间内增加50%。

来源：OFweek太阳能光伏网2012-11-30

水晶pv太阳能光伏电池的生产包含几个关键的步骤：首先是硅片清洗和同质化处理，然后再进行扩散，接着进行去磷硅玻璃和减反射制备，最后进行合金化处理。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-08-20

激光刻槽埋栅电池的大致工艺流程为：硅片-清洗制绒-淡磷扩散-热氧化钝化-开槽-槽区浓磷扩散-背面蒸铝-烧背场-化学镀埋栅-背面电极-减反射膜-去边烧结-测试。(作者：和海一样的新能源)

来源：北极星太阳能光伏网2012-06-18

在硅片清洗中对一些难溶物质转化为易溶物质。...a.有机溶剂在清洗中的作用用于硅片清洗常用的有机溶剂有甲苯、丙酮、酒精等。在清洗过程中，甲苯、丙酮、酒精等有机溶剂的作用是除去硅片表面的油脂、松香、蜡等有机物杂质。所利用的原理是相似相溶。

来源：solarzoom2012-06-11

摘要：本文采用pecvd技术沉积本征非晶硅薄膜，研究少子寿命随本征层厚度、沉积气压、射频功率、氢稀释度以及硅片清洗工艺的变化规律。结果表明：本征层厚度要适中。...实验过程中，通过改变本征层厚度、沉积气压、射频功率、氢稀释度和硅片清洗工艺制备不同的非晶硅薄膜。利用wt一2000pv测试钝化后硅片少子寿命，最终通过比较少子寿命来优化本征非晶硅膜的沉积条件。

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-30

三洋双面hit电池结构图晶硅/非晶硅异质结结构：增加开路电压，提高转换效率光伏技术：hit电池工艺制程1.硅片清洗制绒2.正面用pecvd制备本征非晶硅薄膜和p型非晶硅薄膜3.背面用pecvd制备本征非晶硅薄膜和

来源：OFweek2012-05-24

一般的自来水和普通的蒸馏水中都含有一些杂质离子如钠离子、钾离子、镁离子、钙离子、氯离子、硫酸根离子、碳酸根离子、硅酸根离子、氨分子等杂质，而硅片的清洗过程要求高纯度的水，这样才能达到硅片清洗的要求。

来源：慧聪清洁网2012-05-07

期间，上海白猫专用化学品有限公司主管文玲娜就太阳能硅片清洗的研究应用同现场与会人员进行了全面交流与讲解！图1 上海白猫专用化学品有限公司主管文玲娜各位专家、各位同仁，大家好！...我是来自上海白猫专用化学品有限公司的文玲娜，今天主要给大家介绍一下我们公司对太阳能硅片清洗上这几年做的研究和应用：从2000年之前的技术研究开始，尤其2004年开始到2010年这段时间内，太阳能电池在国内外的发展可以说是非常迅速的

来源：北极星太阳能光伏网2012-04-19

4.对n+、p+型硅表面的腐蚀速度比n、p型硅表面大得多，可导致表面粗糙，因而不适合使用于n+、p+型的硅片清洗。...四.新的清洗技术a.新清洗液的开发使用1).apm清洗a.为抑制sc-1时表面ra变大，应降低nh4oh组成比，例：nh4oh：h2o2：h2o=0.05：1：1当ra=0.2nm的硅片清洗后其值不变，

来源：中华电源网2012-03-09

(2)清洗：用常规的硅片清洗方法清洗，然后用酸(或堿)溶液将硅片表面切割损伤层除去30-50um。(3)制备绒面：用堿溶液对硅片进行各向异性腐蚀在硅片表面制备绒面。

来源：《光伏信息报》2011-11-14

硅片的产能决定着硅片清洗设备的市场容量，硅片清洗设备的市场容量约在1亿元人民币左右。...相比产业链其他环节的设备市场，硅片清洗设备市场并不大，原因主要表现在：一、总体市场数值份额不大，再加之今年市场需求同比有转弱的趋势，一些硅片企业停产以及延产，直接导致硅片清洗设备的产能减少；二、由于硅片清洗设备的技术门槛不高

来源：北极星太阳能光伏网2011-11-10

此新款粘着剂在热水的浸泡下极易分解，避免了使用腐蚀性的脱粘解决方案，并将硅片清洗过程中的硅料耗损降到最小。

来源：北极星太阳能光伏网2011-10-28

的长方体多晶硅锭；倒角滚磨：通过滚磨机对线切方后单晶硅棒进行表面滚圆、多晶硅锭进行倒角，加工成标准的规格；切片：硅棒或硅锭通过表面处理、粘棒后，在线切机上利用钢线、金刚砂和悬浮液等辅料将硅棒切割成硅片；硅片清洗

来源：21IC电子网2011-08-10

在实验前经过硅片清洗和制绒，磷扩散，等离子刻蚀，去除磷硅玻璃等工艺。实验用到的气体有sih4，nh3，n2。腐蚀溶液为hf酸。

来源：青海省科技厅2011-07-11

项目对现有多线切割及硅片清洗工艺进行技术改进，采用砂浆配比、变槽距切割等技术，优化了生产工艺，使产品成品率由65%提高到88%以上，增强了企业自主创新能力和产品市场竞争力。

来源：青海省科技厅2011-07-01

该工艺对现有多线切割及硅片清洗工艺进行技术改进，采用导向陶瓷条定位、变槽距切割等技术，优化了生产工艺，使产品成品率由70%提高到90%以上，单次切割产品率达到97%以上，增强了企业自主创新能力和产品市场竞争力

来源：青海省科技厅2011-06-29

为充分利用优势资源发展光伏产业，青海省科技厅和青海华硅有限公司共同承担完成了单晶硅片切割工艺技术研究，对现有多线切割及硅片清洗工艺进行技术改进，成果达到国内先进水平。

来源：电源门户网2011-04-04

制造太阳能晶硅电池需要经过很多工艺，其中包括硅片清洗、表面制绒、扩散制结、去磷硅玻璃、等离子刻蚀、镀减反射膜和丝网印刷等。由于欧洲市场特别是德国市场的需求拉动，导致最近几年国内企业在该领域大规模投资。

2006-09-05

北京七星华创电子股份有限公司微电子设备分公司总经理盛金龙告诉记者，我们国家的半导体设备尤其是主要设备，既要在诸如曝光、刻蚀和离子注入等关键设备上实现突破，也要关注诸如氧化扩散设备、化学腐蚀设备、硅片清洗设备