来源：打板战线2021-01-11

捷佳伟创：国内领先的晶体硅太阳能电池生产设备供应商，主要产品是管式pecvd，罐式高温扩散炉，单多晶制绒设备。北方华创：泛半导体领域的刻蚀机，pvd,cvd扩散炉等，广泛应用于光伏，半导体

来源：贝哲斯咨询 Market Monitor2021-01-11

捷佳伟创是太阳能电池片龙头，主要产品包括pecvd设备、扩散炉、制绒设备、刻蚀设备、清洗设备、自动化配套设备等。凭借领先的pecvd设备，有望受益于近几年perc电池产能扩张周期。

来源：北极星太阳能光伏网2020-09-30

公司主营pecvd设备、扩散炉、制绒设备、刻蚀设备、清洗设备、丝网印刷、自动化配套设备等晶硅太阳能电池生产工艺流程中的主要设备的研发、制造和销售以及半导体清洗设备。

来源：太阳能杂志2020-08-21

2019年，主流企业单晶炉单炉投料量约为1600kg，较2018年的970kg提升了65%;低温扩散炉产能达到1600片/批次，较2018年提升了33.3%;pecvd设备每管片数已经提升至600片/管以上

来源：中国光伏行业协会CPIA2020-07-22

在光伏生产设备方面，目前，我国在硅料生产、硅片加工、电池片生产、组件生产、环保处理、净化工程，以及相关的光伏检测、模拟器等各类生产设备方面，绝大部分已经实现国产化供应，部分产品如湿法清洗设备、制绒设备、扩散炉

来源：Solarwit2020-07-06

兼容210会导致持续运行成本的增加，这一点也很好理解，打鸟用炮、大材小用，电池设备电耗是比较高的，电费成本在电池片生产过程中的成本占比也越来越高，为兼容更大尺寸，扩散炉的管径必须大幅度增大，而倘若这一过程中只生产小电池片

来源：中国光伏行业协会CPIA2020-06-22

电池片设备主要包括制绒、扩散炉、在线湿法刻蚀机、背钝化、pecvd、激光开槽、丝网印刷机以及测试分选设备。...我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、光伏电池片、组件设备的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设、以及与光伏产业链相应的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如湿法清洗设备、制绒机、扩散炉

来源：新能源沙龙 中信建投2020-06-17

工艺设备材料拆解——常规单晶铝背场电池常规p型单晶铝背场电池使用p型硅片做衬底，在槽式制绒清洗机中完成清洗制绒，在扩散炉中进行扩散制pn结，使用湿法刻蚀清洗机或等离子体刻蚀机与去psg清洗机完成刻蚀和去磷硅玻璃

来源：允哥聊风电2020-06-16

我国光伏设备企业从硅材料生产产、硅片加工、光伏电池片、组件的生产以及相应的纯水设备、环保处理、净化工程的建设、以及与光伏产业链相应的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如湿法清洗设备、制绒机、扩散炉

来源：中国电力2020-06-10

我国部分高效电池生产设备及关键零部件仍依赖于进口，例如发射极及背表面钝化电池（perc）生产用背表面al2o3镀膜设备产能70%以上集中在欧洲和韩国企业，n型双面钝化电池（n-pert）高温硼扩散炉80%

来源：天风机械团队2020-06-02

据公司公告披露，公司面向n型电池的硼扩散炉-ds320a扩散炉已经完成研发工作，正式进入批量订单销售阶段。...公司主营pecvd设备、扩散炉、制绒设备、刻蚀设备、清洗设备、自动化配套设备等太阳能电池片生产工艺流程中的主要设备的研发、制造和销售。

来源：华创证券2020-05-08

硼扩是 topcon 生产的另一关键点，用于在 n 型硅片上形成发射极：相比于磷扩散炉，硼扩散炉需要做更多的 改进和优化，硼扩所需温度高，周期长使得产能较低，同时对扩散均匀性的控制难度加大。

来源：东方证券2020-05-08

topcon 本质上是 perc 路线上的一种延伸，仅需在传统 perc 产线增加三个步骤，添加两台设备和更换扩散炉即可，技 改成本在 5000 万元/gw 左右。

来源：北极星太阳能光伏网2020-04-24

主要产品包括pecvd及扩散炉等半导体掺杂沉积工艺光伏设备、清洗、刻蚀、制绒等湿法工艺光伏设备以及自动化(配套)设备、全自动丝网印刷设备等晶体硅太阳能电池生产工艺流程中的主要及配套设备的研发、制造和销售

来源：华金证券2020-04-07

3） ibc电池需要在背面制成交叉分布的p区和n区，增加了制作掩膜和激光开槽两道工序， 同时由于掺杂区面积较小，采用 perc 工艺中的热扩散炉不易控制精度，需要使用半导 体生产中的离子注入工艺，提高了生产的技术门槛和成本

来源：光伏荟2020-03-02

这些现有电池产线能够兼容升级的硅片尺寸极限就是166mm，扩散炉、pevcd、丝网印刷、排版串焊等主要设备均可兼容166硅片，因此将硅片尺寸从m2调整为166mm尺寸，仅涉及少量设备改造，代价较低，而适用

来源：国信证券2020-02-18

其中，捷佳伟创的核心产品 pecvd 设备和扩散炉均为自主研发，采用的核心技术和设备关键性能整体均处 于国际先进水平。

来源：太阳能杂志2020-02-10

取制绒后待扩散的硅片放于扩散炉炉口位置，测试其扩散后的方阻，并测试成品电池的电性能、el反向漏电情况。表5为扩散后的方阻测试数据。由表5可知，硅片扩散后测得的方阻介于91～103ω/□之间。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-01-21

而在电池环节，主要设备扩散炉、pevcd、丝网印刷、排版串焊设备均可兼容166硅片，在层压环节则比较吃力，已经达到设备极限。总体来看，将硅片尺寸调整为166mm,仅涉及部分设备改造，其余设备均可兼容。

来源：光伏們2020-01-03

正在被出售的tempress holding bv是位于荷兰的扩散炉制造工厂。...tempress主要为太阳能电池和半导体行业提供大型生产系统的开发，生产和服务，并为光伏电池制造商们提供扩散炉。