来源：digitimes2017-05-11

magnetostrictive)及压电型(piezoelectric);而因为压电型发电是利用外在环境的振动力使压电材料变形，因此改变了压电材料的电场，进而产生电流，因此具有较高的力电耦合效应，再加上可以用微机电(mems

来源：北极星储能网2017-05-02

纳米无线传感材料与器件，新型mems气敏传感材料与器件，可穿戴柔性及苛刻条件服役传感材料与器件等，新一代电子封装用高折射率高导电高导热高耐湿高耐紫外防老化等透明纳米复合材料。3.

来源：广东爱康太阳能科技有限公司2017-04-24

浙江爱旭项目将建设成为全球太阳能智能化工厂的典范，把人工智能领域的神经网络研究成果应用到工业生产线，把生产线全流程各环节抽象为级联式的神经网络，以mes系统和mems等采集的生产过程中的数据为学习样本，

来源：OFweek仪器仪表网2017-03-30

环境监测渐成mems传感器发展新趋势环保热的到来使得环境监测仪器行业异军突起。...环境监测技术升级加上国家对环境检测行业的政策倾斜和资金投入加大，以及整个社会对环境问题的关注度提升，环境监测仪器行业将延续景气，环境监测将成为下一波mems传感器发展的一大重要方向。

来源：北极星风力发电网2017-03-27

推动发展自动化控制系统、在线分析仪表、机械装备功能检测设备、科研检测分析仪器、食品化学及医疗检测仪、石油地质勘探仪、煤矿安全监测系统、环境保护检测仪、电力电子监测仪器等先进仪器设备，鼓励开展微机电系统（mems

来源：北极星环保网2017-03-27

推动发展自动化控制系统、在线分析仪表、机械装备功能检测设备、科研检测分析仪器、食品化学及医疗检测仪、石油地质勘探仪、煤矿安全监测系统、环境保护检测仪、电力电子监测仪器等先进仪器设备，鼓励开展微机电系统（mems

来源：北极星电力网2017-03-24

推动发展自动化控制系统、在线分析仪表、机械装备功能检测设备、科研检测分析仪器、食品化学及医疗检测仪、石油地质勘探仪、煤矿安全监测系统、环境保护检测仪、电力电子监测仪器等先进仪器设备，鼓励开展微机电系统(mems

来源：头条号/信立科技2017-03-13

texasinstruments（德州仪器）霍尔效应磁传感器、单芯片mems温度传感器、压力传感器、指纹传感器、光传感器等，在基于移动反射数字光处理设备的mems销售方面表现颇佳。...robertbosch（罗伯特 博世）博世mems传感器主要用于可穿戴设备、物联网等新应用。

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2017-02-27

同时，ald关键技术的成功攻关，将促进多个工业领域包括半导体、cmos图像传感器、led、mems、显示器、光伏和锂离子电池的产业化发展。

来源：北极星环保网2017-02-24

光通信器件领域，重点发展光子芯片、高速光模块、光电耦合器、光电交换器件、高性能低成本光纤预制棒，以及光无源器件和mems光开关等器件。...在制造环节，加快45nm/32nm/28nm先进工艺芯片的研发及产业化，引进和吸收先进生产制造工艺，推动22/20nm、16/14nm等先进生产线建设，发展先进高压电路、数模混合集成工艺、微机电系统(mems

来源：北极星环保网2017-02-10

mems和物联网。以泰宝防伪、齐芯微科、山东城联一卡通等骨干企业为龙头，重点发展陀螺仪、加速度仪等各类mems的产业化，推动以mems、rfid等新型传感器为主的物联网应用。

来源：北极星输配电网整理2017-01-03

以最小化供电商的运行费用和负荷侧的竞价补贴费用为目标，所有参与该项目的用户都必须按决策信息约定执行mems下发的控制计划命令。...本发明公开了一种电力市场下的微电网能量管理方法，该方法mems结合市场实时电价以及分布式供电商报价、机组容量等信息，在可再生能源出力预测和负荷预测技术的基础上，通过优化程度制定分布式供电商的生产计划，同时确定负荷侧的控制方案

来源：北极星输配电网整理2016-12-14

针对电力市场下，负荷侧参与补贴竞价的微网能量管理，具体策略及实施步骤如下：step1：能量管理系统mems收集最新的分布式能源预测数据，以及负荷预测数据，大电网实时电价，同时mems需将实时电价信息发送给各个分布式供电商以及用户

来源：北极星电力网2016-12-08

重点突破高性能光纤传感器、微机电系统(mems)传感器、视觉传感器、分散式控制系统(dcs)、可编程逻辑控制器(plc)、数据采集系统(scada)、高性能高可靠嵌入式控制系统等核心产品，在机床、机器人

来源：北极星电力网2016-12-07

集成电路设计，线宽 28 纳米及以下大规模数字集成电路制造，0.11 微米及以下模拟、数模集成电路制造，mems 和化合物半导体集成电路制造及 bga、pga、fpga、csp、mcm 等先进封装与测试

来源：北极星电力网2016-11-29

智能传感器、新型光电传感器、磁传感器、mems传感器、声传感器、硅基传感器、机器人专用传感器、堆芯出口温度测量核级铠装热电偶及组件、主回路直接测温核级铠装铂电阻及组件、反应堆压力容器水位监测组件、高精度视觉传感器

来源：无人机频道2016-11-11

固定翼无人机飞控系统无人机飞控系统是集成gps接收机、三轴mems陀螺仪、三轴加速度计、三轴磁传感器、高精度气压计，以提供高精度姿态模式。

来源：北极星电力网2016-11-01

高性能计算、服务器/桌面计算机中央处理器（cpu），半导体存储器，智能终端系统级芯片（soc），云计算、物联网、大数据核心芯片，电力电子芯片，16/14nm先进制造工艺以及高压、射频、数模混合、微机电系统（mems

来源：北极星环保网2016-11-01

高性能计算、服务器/桌面计算机中央处理器（cpu），半导体存储器，智能终端系统级芯片（soc），云计算、物联网、大数据核心芯片，电力电子芯片，16/14nm先进制造工艺以及高压、射频、数模混合、微机电系统（mems

来源：北极星环保网2016-10-28

积极打造中国ic之都(合肥)，聚焦存储、驱动、射频芯片以及微机电系统(mems)等特色芯片，以设计和制造为核心，积极发展封装测试、专用装备和材料产业。...新型传感器方面，加快建设6英寸以上可控增益固态微光图像传感器(emccd)生产线，规划建设国际先进水平的8英寸微机电系统(mems)生产线。大力发展芯片设计业。