来源：北极星环保网2018-01-31

传感器研发制造项目(年产１５亿个ic卡模块及mems传感器)１７０山东联美汽车弹簧有限公司汽车弹簧项目(年产汽车弹簧３８００万件)１７１山东海思堡服装服饰集团股份有限公司智能工厂改造项目(年产服装３００...淄博银鹤地毯有限公司高档地毯项目(年产２００万平方米高档地毯)１６８山东翰林电气设备有限公司新型智能固态变电设备及其智能化配套设备项目(年产智能固态变电设备及配套设备４５００台套)１６９山东齐芯微系统科技股份有限公司ic卡模块及mems

来源：北极星电力网2018-01-30

2.1.7 硅基光电子、混合光电子、微波光电子2.2 集成电路2.2.1 集成电路设计2.2.2 集成电路制备2.2.3 新型、高密度集成电路封装、测试技术2.2.4 集成电路关键装备和材料2.2.5 mems

来源：北极星环保网2018-01-26

新原理计算芯片2.1.7硅基光电子、混合光电子、微波光电子2.2集成电路2.2.1集成电路设计2.2.2集成电路制备2.2.3新型、高密度集成电路封装、测试技术2.2.4集成电路关键装备和材料2.2.5mems

来源：北极星环保网2018-01-16

集成电路：研发半导体存储器，智能终端系统级芯片（soc）、基于12英寸生产线的20nm级芯片、电力电子芯片，射频、数模混合、微机电系统（mems）等特色制造工艺，高密度封装、3d微组装技术，大硅片、光刻胶

来源：工信部2017-12-15

在模拟仿真、设计、mems工艺、封装及个性化测试技术方面达到国际先进水平，具备在移动式可穿戴、互联网、汽车电子等重点领域的系统方案设计能力。（二）神经网络芯片。...发展市场前景广阔的新型生物、气体、压力、流量、惯性、距离、图像、声学等智能传感器，推动压电材料、磁性材料、红外辐射材料、金属氧化物等材料技术革新，支持基于微机电系统（mems）和互补金属氧化物半导体（cmos

来源：行业信息简报2017-11-20

特点：1、mems无缝集成各子系统数据，提供统一接口，可方便的实现各应用功能灵活互动。2、mems内置多种分布式电源模型、支持各类型分布式电源快速接入，并参与优化调度管理。...mems体系结构如下图所示：mems应用功能主要包括实时监控、优化调度和能量管理这三个子系统，具体如下：1)实时监控子系统包括采集与监视控制、自动发电控制、电压无功控制和黑启动控制。

来源：物联网资本论2017-11-06

博世在mems传感器领域的经验超过20年。作为全球领先的汽车零部件供应商，博世的mems传感器之路始于汽车电子。...苏州敏芯微电子技术有限公司成立于2007年，是中国国内最早成立的mems研发公司之一。拥有数项涉及mems关键技术的突破性发明和世界级科研成果。

来源：北极星电力网2017-10-17

依托中电科第四十九所，推进硅微传感器、陶瓷微结构传感器、薄膜微传感器和微组装传感器组件工艺技术平台以及相关传感器产业化平台建设，打造国内领先的mems化学传感器产业化基地，加快建立集技术创新、产业化和市场应用为一体的传感器产业体系

来源：北极星环保网2017-09-23

9．高安全、高可靠航天火工技术开展激光点火系统、半导体点火技术、mems点火技术、冲击片点火技术、微智能点火技术研究；开展火工品贮存寿命及延长使用寿命研究；开展耐空间离子辐射、高低温环境下的火工品可靠性

来源：分布式发电与微电网2017-09-11

微网能量管理系统(mems)是电网特定应用环境下的能量管理系统，其隶属于大电网能量管理系统的一部分，但其部分功能又相对独立于大电网的能量管理系统，从微网角度看，mems主要功能应满足微网内高效、经济、安全

来源：北极星环保网2017-06-29

数字音频广播发射设备，数字电视上下变换器，数字电视地面广播单频网(sfn)设备，卫星数字电视上行站设备制造245.集成电路设计，线宽28纳米及以下大规模数字集成电路制造，0.11微米及以下模拟、数模集成电路制造，mems

来源：北极星环保网2017-05-17

高端储能装置及其管理系统半导体材料、光电子材料等关键电子材料电子专用设备仪器高清广播电视直播设备高性能安全服务器和存储设备应用电子产品和融合创新系统工业控制设备其他高端整机产品传感器、超级电容、mems

来源：digitimes2017-05-11

magnetostrictive)及压电型(piezoelectric);而因为压电型发电是利用外在环境的振动力使压电材料变形，因此改变了压电材料的电场，进而产生电流，因此具有较高的力电耦合效应，再加上可以用微机电(mems

来源：北极星储能网2017-05-02

纳米无线传感材料与器件，新型mems气敏传感材料与器件，可穿戴柔性及苛刻条件服役传感材料与器件等，新一代电子封装用高折射率高导电高导热高耐湿高耐紫外防老化等透明纳米复合材料。3.

来源：广东爱康太阳能科技有限公司2017-04-24

浙江爱旭项目将建设成为全球太阳能智能化工厂的典范，把人工智能领域的神经网络研究成果应用到工业生产线，把生产线全流程各环节抽象为级联式的神经网络，以mes系统和mems等采集的生产过程中的数据为学习样本，

来源：OFweek仪器仪表网2017-03-30

环境监测渐成mems传感器发展新趋势环保热的到来使得环境监测仪器行业异军突起。...环境监测技术升级加上国家对环境检测行业的政策倾斜和资金投入加大，以及整个社会对环境问题的关注度提升，环境监测仪器行业将延续景气，环境监测将成为下一波mems传感器发展的一大重要方向。

来源：北极星风力发电网2017-03-27

推动发展自动化控制系统、在线分析仪表、机械装备功能检测设备、科研检测分析仪器、食品化学及医疗检测仪、石油地质勘探仪、煤矿安全监测系统、环境保护检测仪、电力电子监测仪器等先进仪器设备，鼓励开展微机电系统（mems

来源：北极星环保网2017-03-27

推动发展自动化控制系统、在线分析仪表、机械装备功能检测设备、科研检测分析仪器、食品化学及医疗检测仪、石油地质勘探仪、煤矿安全监测系统、环境保护检测仪、电力电子监测仪器等先进仪器设备，鼓励开展微机电系统（mems

来源：北极星电力网2017-03-24

推动发展自动化控制系统、在线分析仪表、机械装备功能检测设备、科研检测分析仪器、食品化学及医疗检测仪、石油地质勘探仪、煤矿安全监测系统、环境保护检测仪、电力电子监测仪器等先进仪器设备，鼓励开展微机电系统(mems

来源：头条号/信立科技2017-03-13

texasinstruments（德州仪器）霍尔效应磁传感器、单芯片mems温度传感器、压力传感器、指纹传感器、光传感器等，在基于移动反射数字光处理设备的mems销售方面表现颇佳。...robertbosch（罗伯特 博世）博世mems传感器主要用于可穿戴设备、物联网等新应用。