来源：无锡德鑫太阳能电力有限公司2017-11-03

（二）德鑫电力公司为高新技术企业，原为尚德电力的p4工厂，企业管理层和核心员工较为稳定，生产能力900mw／年，主要设备配置为清洗机20台、扩散炉20台、刻饰机20台、管式pecvd机4台、丝网印刷机20

来源：摩尔光伏2017-11-02

再经过管式pecvd制作氮化硅减反射膜,pecvd过程中分别采用传统双层膜工艺和本文设计的三层膜工艺各做一组实验,采用sentech的se400测试监控氮化硅膜的折射率以及厚度。...本文研究的是利用pecvd制作三层氮化硅膜以及其对多晶太阳电池的影响。

来源：PV兔子2017-10-20

比如很多主流的pecvd和ald的工艺都不能使用了。而且一般而言，低温制备的钙钛矿电池的热稳定性都比较差。

来源：摩尔光伏2017-10-18

基体材料为n型cz单晶硅，正面通过离子注入形成硼掺杂p+发射结，正面采用ald工艺沉积al2o3钝化层钝化发射结降低表面复合速率，再用pecvd沉积sinx形成减反膜。...其在普通化学制绒的n型si片上，通过硼磷管式共扩散制备正面p型发射结和n型背面，然后通过pecvd技术在前后表面制备钝化层和减反膜，正反面电极使用常规丝网印刷工艺完成。

来源：摩尔光伏2017-10-13

perc电池的成本稳步下降，进步令人欣喜，当然问题依然存在：首先在氧化铝沉积设备上，梅耶伯格的板式pecvd可谓一家独大，然而其维护成本高，tma消耗量大，同时薄膜质量提升空间较小；而ald设备目前呈现百家争鸣的态势

来源：无锡德鑫太阳能电力有限公司2017-09-05

经相关部门批准后方可开展经营活动）;（二）德鑫电力公司为高新技术企业，原为尚德电力的p4工厂，企业管理层和核心员工较为稳定，生产能力900mw／年，主要设备配置为清洗机20台、扩散炉20台、刻蚀机20台、管式pecvd

来源：能源新闻网2017-08-14

meyerburger公司采用pecvd法制备alox膜的沉积设备，报道了一种新的正表面氮化硅膜与背面氮化硅与alox膜集成在一起的3in1设备，alox工艺腔4对微波源，2对朝上镀膜，2对朝下镀膜，sin

来源：中国光伏专委会2017-07-28

meyerburger公司采用pecvd法制备alox膜的沉积设备，报道了一种新的正表面氮化硅膜与背面氮化硅与alox膜集成在一起的3in1设备，alox工艺腔4对微波源，2对朝上镀膜，2对朝下镀膜，sin

来源：国家电力投资集团公司2017-06-14

随后，肖亚庆一行走进电池及组件车间，调研了太阳能电池及组件生产线，沿途在pecvd镀膜工序、丝网印刷、自动串焊机汇流焊接及组件层压后视检工序，听取关于电池及组件制造工艺及工作原理介绍，了解了黄河公司光伏电站的国家补贴

来源：中国电力报2017-04-20

其中，比较成熟、大规模使用的镀膜方法主要是pecvd方法。目前，国内有些公司已经在尝试的pecvd镀膜方法是平板直接法、平板式离域法，但都未能达到较高的水平。...国内的管式直接法的pecvd镀膜方法可以做氧化硅，但很难制备三氧化铝。而使用氧化硅制备的perc电池的效率不如三氧化二铝高。他说。pert电池的工艺难点之一是硼离子掺杂这是一个世界性的难题。

来源：新浪科技2017-03-24

该论文指出，这款太阳能电池是利用可工业化应用过程制造出来的，比如电浆增强化学气相沉积（plasma-enhanced chemical vaporde position，pecvd）技术在气态下将薄膜沉积在固体晶圆上

来源：泰州日报2017-03-23

由国内唯一生产异质结薄膜太阳能电池设备厂家上海理想万里晖薄膜设备有限公司投资建设的pecvd高端装备制造项目，总投资5亿元，将形成年产u型异质结高效能电池量产pecvd高端装备40台配套的能力，每年可新增国税开票销售

来源：北极星太阳能光伏网2017-03-03

目前，我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、光伏电池片、组件的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设、以及与光伏产业链相应的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、管式pecvd

来源：新材料在线2016-12-19

通过pecvd在表面沉积很薄的硅层，可使界面电阻减小7倍，并保持稳定的循环性能。该团队还通过理论计算对该现象进行论证。

来源：正泰集团2016-12-05

正泰研发的我国首台太阳能电池关键高端生产设备（pecvd）打破了西方长期垄断。过硬的品质给了正泰走出去的底气。

来源：新华社2016-12-02

正泰研发的我国首台太阳能电池关键高端生产设备（pecvd），打破了西方长期垄断，自主研发的光伏背钝化ald设备和高效异质结hit-pecvd设备也处于国际领先水平，在光伏高端装备市场备受青睐。

来源：北极星风力发电网2016-11-16

2、太阳能中电科四十八所的太阳能电池制造装备的国内市场占有率达到80%，扩散炉、刻蚀机、pecvd等主要产品的客户包括四川通威、苏州阿特斯等国内太阳能光伏龙头企业，并远销美国、澳大利亚和德国等国家，是全球十大光伏装备供应商的企业之一

来源：北极星电力网2016-11-08

2、太阳能中电科四十八所的太阳能电池制造装备的国内市场占有率达到80%，扩散炉、刻蚀机、pecvd等主要产品的客户包括四川通威、苏州阿特斯等国内太阳能光伏龙头企业，并远销美国、澳大利亚和德国等国家，是全球十大光伏装备供应商的企业之一

来源：北极星电力网2016-11-01

、长寿命n型单晶拉棒技术，多晶硅片金刚线切割技术及120-150微米以下新型切片关键技术，高倍聚光电池、新型薄膜电池，适用于不同区域的耐酸碱性等差异化组件及高效组件封装技术，等离子体增强化学气相沉积（pecvd

来源：北极星环保网2016-11-01

、长寿命n型单晶拉棒技术，多晶硅片金刚线切割技术及120-150微米以下新型切片关键技术，高倍聚光电池、新型薄膜电池，适用于不同区域的耐酸碱性等差异化组件及高效组件封装技术，等离子体增强化学气相沉积（pecvd