来源：北极星太阳能光伏网2020-03-04

该公司在努力增加pecvd(等离子增强化学气相沉积)工具和提高产量的同时，还对现有设备进行了生产线优化，以实现扩张。

来源：光伏测试网2020-03-03

硅片背面采用硝酸湿法氧化出一层1.4 nm左右的极薄氧化硅层，并利用pecvd在氧化层表面沉积一层20 nm厚的磷掺杂的微晶非晶混合si薄膜。

来源：证券市场周刊2020-03-02

迈为股份除供应优质丝网印刷设备外，也在研发并验证cvd设备，致力于为客户提供hjt整线解决方案。

来源：摩尔光伏2020-02-27

文章重点分析了管式pecvd镀膜均匀性的影响因素。通过改变pecvd镀膜过程中的腔体压力、镀膜前的恒温时间及金字塔绒面均匀性、石墨舟清洗配方等因素进行实验研究。...结果显示，适当降低pecvd镀膜压力，增加镀膜前恒温时间、提升镀膜前硅片绒面均匀性、降低石墨舟表面粗糙度可以提升pecvd镀膜均匀性。（来源：微信公众号“摩尔光伏”）

来源：老周看财报2020-02-26

pecvd设备国产化仍需时日，hit电池虽然性能较优，但仍然存在许多问题，一定程度上限制了其大规模量产，原因有三。

来源：光伏测试网2020-02-24

其中，非晶硅镀膜 pecvd 及 tco 镀膜的 rpd/pvd 设备合计占整线投资 60-75%。...需要从非晶硅界面钝化、tco 光吸收损失、金属化电阻损耗三方面进行努力，对应的工艺流程为 cvd、pvd、丝印三个步骤。这个三大难点克服，不仅仅是工艺的问题，还涉及到设备和材料的配套和改进。

来源：SOLARZOOM光储亿家2020-02-24

“由于pecvd国产化了，整个gw的投资已经降到了6亿到5亿的水平内，我认为这个过程会非常快的实现”，他补充到。回顾山煤过去2个半月的上涨足迹，我们发现与hjt技术市场发酵的痕迹几乎完全一致。...而国外的rec也已实现了600兆瓦的量产规模，这个都是我们已经能看到的实实在在的基础所在，可见量产技术正在进入成熟阶段；从核心设备上看，hjt四个步骤，受益于半导体产业过去几年国产化进步，最关键的pecvd

来源：光伏测试网2020-02-24

相较常规光伏电池的工艺流程新增了两个重要工序，只需在传统电池产线增加钝化膜沉积设备（pecvd 设备或ald设备）和激光开槽设备即可。

来源：北极星电力网2020-02-21

产业方面，开工建设南昌中微公司年产200腔体mocvd设备、萍乡福斯特智能制造产业园一期、吉安米田精密制造产业园等项目，建成江铜银山技改、新钢年产60万吨棒材、赣锋年产2亿瓦时新型动力电池、吉安佳合智能年产

来源：江西省人民政府2020-02-21

产业方面，开工建设南昌中微公司年产200腔体mocvd设备、萍乡福斯特智能制造产业园一期、吉安米田精密制造产业园等项目，建成江铜银山技改、新钢年产60万吨棒材、赣锋年产2亿瓦时新型动力电池、吉安佳合智能年产

来源：江西省人民政府2020-02-21

产业方面，开工建设南昌中微公司年产200腔体mocvd设备、萍乡福斯特智能制造产业园一期、吉安米田精密制造产业园等项目，建成江铜银山技改、新钢年产60万吨棒材、赣锋年产2亿瓦时新型动力电池、吉安佳合智能年产

来源：摩尔光伏2020-02-21

pecvd还是ald？下面是摘取王文静老师演讲ppt的内容。（来源：微信公众号：摩尔光伏）下面是丰盛装备王俊朝的演讲ppt，详细介绍这几种路线。有删减。

来源：太平洋证券2020-02-20

perc 电池生产工艺在传统产线基础上需增加氧化铝沉积及激光开槽两道工序，利好pecvd 及激光设备厂商。大尺寸硅片快速落地，设备及自动化控制将升级。...重点推荐晶盛机电（晶体生长及加工设备）、捷佳伟创（氧化炉、沉积炉、pecvd、hjt 制绒清洗、rpe 及丝网印刷设备）、迈为股份（丝网印刷设备、hjt 整线解决方案）、上机数控（硅片加工设备）、帝尔激光

来源：太阳能杂志2020-02-20

1.2 制备流程采用氧化铝浆料制备黑硅perc 多晶太阳电池的工艺流程为：①黑硅制绒→②扩散→③刻蚀去psg →④背面抛光→⑤印刷氧化铝浆料/ 烧结→⑥ pecvd 正面镀膜→⑦ pecvd 背面镀膜→

来源：能源杂志2020-02-18

其中，光伏设备龙头企业捷佳伟创通过取得住友重工（中国大陆地区）独家授权后实现了在pecvd设备上的突破，其研发的生产线已经应用于通威的hjt产线。与巨头联手，钧石能源也采取同样策略。...据了解，hit所需pecvd设备和现有设备差别较大，而hit电池进口设备约为8-10亿元/gw，国产设备约为5-8亿元/gw，perc则只需要2.5-3亿元/gw，hit电池设备成本约为perc的3倍。

来源：肖索的研究号2020-02-18

此外爱旭pecvd等核心设备通过国内外一流厂商定制化采购，有利于提高电池的生产速率和量产稳定性，进一步降低制造成本。...爱旭从2015年起即围绕perc电池（管式pecvd制程）进行专利布局，在整体制造工艺、核心钝化技术、关键工艺技术、电池外观结构、工艺设备等方面累计获得300多项授权专利，形成了较为稳固的专利防火墙。

来源：国信证券2020-02-18

其中背面钝化镀层包括氧化铝镀层与氮化硅镀层， 市场中存在两种技术路线，一是采用 pecvd+pecvd 两台设备，代表厂商为 捷佳伟创；二是用 ald+pecvd 两台设备，代表厂商为江苏微导。

来源：SOLARZOOM光储亿家2020-02-17

规模化是设备成本下降的主要路径之一，当前hit电池设备的单机产能相对较低，清洗机、pvd、丝网印刷机单机产能大约在200mw/台左右，pecvd只有100mw/台左右的产能。

来源：摩尔光伏2020-02-13

故制绒清洗后的硅片要尽快转移至cvd工序，生产中需将制绒后q-time时间压缩至极致。由于rca清洗化学品耗量较大且废液处理成本较高，目前行业内开始使用臭氧超纯水清洗代替rca完成硅片制绒后清洗工作。

来源：SOLARZOOM光储亿家2020-02-13

当前，受益于钧石、理想、迈为、捷佳伟创、金辰等hjt电池装备企业对核心设备pecvd的国产化探索，hjt电池gw级乃至10gw级的投资将于2020年中全面启动。