来源：北极星电力网2014-08-25

主要包括6 英寸/8 英寸/12 英寸集成电路生产线所用的光刻机、刻蚀机、离子注入机、退火设备、单晶生长设备、薄膜生长设备、化学机械抛光设备、封装设备、测试设备等。...9.2.7 电子专用设备仪器半导体生产用镀膜、溅射、刻蚀等设备。锂离子电池生产专用设备。高精密自动印刷机、高速多功能自动贴片机、无铅再流焊机等电子元器件表面贴装及整机装联设备。

来源：昆仑海岸2014-07-21

溅射薄膜压力液位变送器是采用原子纳米薄膜应变电阻通过溅射、刻蚀特殊工艺技术制作的压力传感器和高性能的数字放大电路一体化设计，它克服了传统传感器的蠕变、滞后、老化等不稳定因素，提高变送器在高温高压恶劣环境下的长期稳定性和可靠性

来源：中国光伏测试网2014-07-15

组件的生产是经过电池片的生产，包括硅锭，线切割，硅片清洗，扩散制结，等离子刻蚀，去磷硅玻璃，减反射膜制备，丝网印刷，烧结，检测分级，这期间由于通过单片功率测试和删选，隐裂的几率比较小。

来源：中国储能网2014-07-10

以前，曾有科学家在硅电极表面蚀刻微孔，但未能在整个材料上刻蚀成功。...pnnl的科学家使用michael sailor的方法制作多孔硅通过化学浴在薄片上刻蚀微孔，然后包裹上一层薄的碳层制作电极。

来源：中国能源报2014-07-02

2013年又研制出的一批新的晶硅太阳能电池设备(在线湿法刻蚀设备、减压扩散炉、ald原子层沉积al2o3钝化膜设备、超细栅印刷设备、全自动太阳能电池测试分选机等)，2014年这批新设备将进入市场，这不仅使太阳能电池片生产线的产能和转换效率得到明显的提高

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2014-06-27

薄膜电池组件清洗玻璃或其他基底，不需要酸碱刻蚀，用的都是少量的有机清洗剂，不仅没有酸碱的污染，而且是真空镀膜，光伏材料和电池组件制造同时在一个车间内完成，所以薄膜电池在这方面基本上没有污染。

来源：工信部网站2014-06-25

加强集成电路装备、材料与工艺结合，研发光刻机、刻蚀机、离子注入机等关键设备，开发光刻胶、大尺寸硅片等关键材料，加强集成电路制造企业和装备、材料企业的协作，加快产业化进程，增强产业配套能力。

来源：PV-Tech2014-05-20

扫描电镜(sem)显示，等离子体表面刻蚀和活化显著增加了pet与涂层之间的相容性，使它们之间得到十分紧密而强有力的整合。...背板以pet为基材，经等离子体表面刻蚀和活化后，双面涂以特殊研制的反应性功能氟碳涂料，经热固化后得到具有聚氨酯结构的膜胶一体化背板。

来源：TestPV2014-05-09

用三氯氧磷扩散性能更好natcore共向光伏制造商运送了五批黑硅刻蚀的硅片，其中两批用作受控对照产品，另三批用作测试。

来源：湖南省政府门户网站2014-04-14

2001年，48所凭借在半导体装备领域的深厚积淀，推出高温扩散炉和等离子体刻蚀机，以光伏装备作为推动企业进入市场的突破口，在创新开拓的道路上迈出了第一步。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2013-12-31

目前，多晶硅绒面技术主要有机械刻槽、激光刻槽、等离子刻蚀(rie)和各向同性酸腐蚀。在硅片表面织构的制作过程中，可能会引入机械应力和损伤，在后处理中形成缺陷。...目前公司主营产品有：显影清洗设备、蚀刻脱膜设备、中间水洗设备、pet卷材清洗设备、单片制程清洗设备、玻璃减薄设备、二次强化设备、盖板玻璃清洗设备、背抛光刻蚀清洗设备、单(多)晶制绒设备、全自动spm超声清洗设备

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2013-12-27

48所太阳电池制造装备具备了"整线交钥匙"工程的能力，国内市场占有率达到80%以上，扩散炉、刻蚀机、pecvd等装备批量供应国际着名的无锡尚德太阳能电力有限公司等;磁性材料制造装备的国内市场占有率也达70%...lec)单晶炉、气氛炉、马弗炉、真空炉、太阳能闭管软着陆扩散炉，太阳能管式pecvd(等离子体增强化学气相沉积设备)、石英脱羟炉、真空钎焊炉、氢气炉、磁控溅射镀膜设备、化学气相淀积设备(pecvd)、干法刻蚀设备

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2013-12-24

48所太阳电池制造装备具备了"整线交钥匙"工程的能力，国内市场占有率达到80%以上，扩散炉、刻蚀机、pecvd等装备批量供应国际着名的无锡尚德太阳能电力有限公司等;磁性材料制造装备的国内市场占有率也达70%

来源：北极星太阳能光伏网(独家）2013-12-19

真空技术事业部继续专注于磁流体密封及其衍生产品的研发、制造、服务工作；成套设备事业部致力于精细抛光机、扩散炉、等离子刻蚀等电子行业系列设备的研发和推广工作。...lec)单晶炉、气氛炉、马弗炉、真空炉、太阳能闭管软着陆扩散炉，太阳能管式pecvd（等离子体增强化学气相沉积设备）、石英脱羟炉、真空钎焊炉、氢气炉、磁控溅射镀膜设备、化学气相淀积设备（pecvd）、干法刻蚀设备

来源：河北新闻网2013-12-10

可就在这个时候，因研发博秀的需要，晶澳要从德国进口一套湿法刻蚀机，报价6000万元。这对于手头正紧的公司来说，是笔不小的开支。带着忐忑的心情，他们把报告打上去了，没想到第二天董事会就批准了。

来源：新华网2013-12-02

实际就是通过化学溶剂刻蚀，在原有的硅太阳能电池的微米孔状结构上再生成许多纳米尺寸的小孔。

来源：电子信息产业网 陈炳欣2013-11-13

上海中微的12英寸介质刻蚀机进入批量销售;北方微12英寸硅刻蚀机、pvd进入销售，tsv封装与led系列装备开始批量销售;上海微电子封装光刻机等产品进入批量销售;七星华创low-k清洗机、氧化炉等产品开始进入销售

来源：OFweek太阳能光伏网2013-11-08

应用材料公司的设备被广泛使用于芯片生产和检测的每一步，公司的产品覆盖物理气相沉积，化学气相沉积，刻蚀，快速热处理，离子注入，外延, 测量与检测，清洗等步骤，不一而足。

来源：绿色能源2013-11-07

而硅片和电池片方面，上海普罗所开发的干法刻蚀技术，不仅降低了硅片清洗和制绒成本，而且还免除了酸液的处理和排放，更为环保和清洁;此外，上海普罗所开发的n型准单晶无籽晶铸造技术和n型衬底电池片扩散技术及装备

来源：ZDNetserver频道2013-08-09

传统物理硬件也并没有失去施展平台，目前的芯片刻蚀技术已经相当精密、足以将不同组件整合至单块芯片或者同一套封包当中。推动ibm决策的另一大因素在于，it业界希望拥有更多选择即x86之外的解决方案。