来源：新华社2014-03-14

受困基础工业薄弱突围需国家强力支撑多位专家指出，光伏装备中的等离子刻蚀机、制绒机、丝网印刷机所用到的工艺和技术与半导体装备相通性很高。...据了解，光伏产业链运用到的主要装备有三氯氢硅系统、多晶硅炉、单晶硅炉、多线切割机、等离子体气相沉积设备、等离子刻蚀机、制绒机、激光划切机、丝网印刷机，自动分拣机等。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2013-12-31

目前，多晶硅绒面技术主要有机械刻槽、激光刻槽、等离子刻蚀(rie)和各向同性酸腐蚀。在硅片表面织构的制作过程中，可能会引入机械应力和损伤，在后处理中形成缺陷。...目前公司主营产品有：显影清洗设备、蚀刻脱膜设备、中间水洗设备、pet卷材清洗设备、单片制程清洗设备、玻璃减薄设备、二次强化设备、盖板玻璃清洗设备、背抛光刻蚀清洗设备、单(多)晶制绒设备、全自动spm超声清洗设备

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2013-12-27

48所太阳电池制造装备具备了"整线交钥匙"工程的能力，国内市场占有率达到80%以上，扩散炉、刻蚀机、pecvd等装备批量供应国际着名的无锡尚德太阳能电力有限公司等;磁性材料制造装备的国内市场占有率也达70%...lec)单晶炉、气氛炉、马弗炉、真空炉、太阳能闭管软着陆扩散炉，太阳能管式pecvd(等离子体增强化学气相沉积设备)、石英脱羟炉、真空钎焊炉、氢气炉、磁控溅射镀膜设备、化学气相淀积设备(pecvd)、干法刻蚀设备

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2013-12-24

48所太阳电池制造装备具备了"整线交钥匙"工程的能力，国内市场占有率达到80%以上，扩散炉、刻蚀机、pecvd等装备批量供应国际着名的无锡尚德太阳能电力有限公司等;磁性材料制造装备的国内市场占有率也达70%

来源：北极星太阳能光伏网(独家）2013-12-19

真空技术事业部继续专注于磁流体密封及其衍生产品的研发、制造、服务工作；成套设备事业部致力于精细抛光机、扩散炉、等离子刻蚀等电子行业系列设备的研发和推广工作。...lec)单晶炉、气氛炉、马弗炉、真空炉、太阳能闭管软着陆扩散炉，太阳能管式pecvd（等离子体增强化学气相沉积设备）、石英脱羟炉、真空钎焊炉、氢气炉、磁控溅射镀膜设备、化学气相淀积设备（pecvd）、干法刻蚀设备

来源：河北新闻网2013-12-10

可就在这个时候，因研发博秀的需要，晶澳要从德国进口一套湿法刻蚀机，报价6000万元。这对于手头正紧的公司来说，是笔不小的开支。带着忐忑的心情，他们把报告打上去了，没想到第二天董事会就批准了。

来源：新华网2013-12-02

实际就是通过化学溶剂刻蚀，在原有的硅太阳能电池的微米孔状结构上再生成许多纳米尺寸的小孔。

来源：电子信息产业网 陈炳欣2013-11-13

上海中微的12英寸介质刻蚀机进入批量销售;北方微12英寸硅刻蚀机、pvd进入销售，tsv封装与led系列装备开始批量销售;上海微电子封装光刻机等产品进入批量销售;七星华创low-k清洗机、氧化炉等产品开始进入销售

来源：OFweek太阳能光伏网2013-11-08

应用材料公司的设备被广泛使用于芯片生产和检测的每一步，公司的产品覆盖物理气相沉积，化学气相沉积，刻蚀，快速热处理，离子注入，外延, 测量与检测，清洗等步骤，不一而足。

来源：绿色能源2013-11-07

而硅片和电池片方面，上海普罗所开发的干法刻蚀技术，不仅降低了硅片清洗和制绒成本，而且还免除了酸液的处理和排放，更为环保和清洁;此外，上海普罗所开发的n型准单晶无籽晶铸造技术和n型衬底电池片扩散技术及装备

来源：ZDNetserver频道2013-08-09

传统物理硬件也并没有失去施展平台，目前的芯片刻蚀技术已经相当精密、足以将不同组件整合至单块芯片或者同一套封包当中。推动ibm决策的另一大因素在于，it业界希望拥有更多选择即x86之外的解决方案。

来源：红网2013-07-31

该公司先后成功自主研发了清洗机、扩散炉、pecvd、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、铸锭炉等太阳能光伏关键装备，实现了从单一装备发展到单台装备与工艺结合，又从整线装备发展到整线装备与工艺结合的整线交钥匙系统方案

来源：新浪博客2013-07-29

相关报道：论中国光伏产业发展史上的首篇纲领性文献（一）论中国光伏产业发展史上的首篇纲领性文献（二）论中国光伏产业发展史上的首篇纲领性文献(三)在先进光伏电池制造技术方面，例如n型高效电池，无膜组件，干法刻蚀等环节的工艺和设备

来源：PV-Tech2013-06-14

在已有的研究基础上，林昌健教授课题组首次报道了通过简单的水热法结合后续的化学刻蚀，在透明导电玻璃基底表面构筑结合力强、膜厚达~20m的高比表面积、多孔状单晶金红石tio2纳米棒阵列膜，并在染料敏化太阳能电池应用中取得了

来源：中国电子报2013-06-13

传感器未来技术方展方向1、mems工艺和新一代固态传感器微结构制造工艺：深反应离子刻蚀(drie)工艺或igp工艺;封装工艺：如常温键合倒装焊接、无应力微薄结构封装、多芯片组装工艺;2、集成工艺和多变量复合传感器微结构集成制造工艺

来源：江苏省地方税务局2013-06-09

密切跟踪光伏行业技术转型升级，对晶澳（扬州）太阳能科技有限公司三期800mw太阳能电池组件及配套项目和太阳能刻蚀工艺技改项目，实行专人负责，全程辅导，帮助企业规范财务核算和研究开发费用归集，让企业及时享受企业所得税等税收优惠政策

来源：Solarzoom2013-06-05

纳米结构的制备是通过等离子体刻蚀完成的，这可以极大地削弱光线的反射。此外，ald方式制备出恰当的钝化薄层可以使表面层的载流子复合减少。"

来源：Solarzoom2013-05-28

同时还需要更换清洗和刻蚀设备，这对于电池制造商又是一笔现金支出对于不同公司也各不相同。

来源：中国河北2013-04-27

经过多次试验，晶澳研究人员用化学溶液在平整膜面上刻蚀出绒面，增加光程，减少光的反射。经过湿法刻蚀工艺改造后，晶澳综合成本降低了2%。在使用方面，高光电转化率就可以在有限面积的屋顶上发出更多的电。

来源：世纪新能源网2013-04-22

ibc电池的工艺流程大致如下：清洗-制绒-扩散n+-丝印刻蚀光阻-刻蚀p扩散区-扩散p+-减反射镀膜-热氧化-丝印电极-烧结-激光烧结。