来源：电子工程世界2012-05-04

然后采用等离子体化学气相沉积法(pecvd)沉积非晶硅层，以形成叠层太阳电池结构，这是整个制造过程中最关键的工艺步骤。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-04-27

对于这种情况，可以下调等离子体的功率，但是同时也会降低等离子体的稳定性。...pecvd法制备a-si:h薄膜利用等离子里中丰富的活性粒子来进行低温沉积一直是a-si:h制备的重要方法。在真空状态下给气体施加电场，气体在电场提供的能量下会有气态转变为等离子体状态。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-04-25

1引言等离子增强气相沉积(pecvd)制备氢化非晶氮化硅(sinx：h)已经成为工业太阳电池的标准工艺中一道工序。...采用等离子体增强气相沉积法制备了双层氮化硅作为多晶硅太阳电池的减反膜，理论模拟了双层氮化硅的光学参数，实际测试情况和理论模拟吻合良好。

来源：电子工程世界2012-04-23

一是利用卤素原子等离子加工，优化上表面结构，另一种技术是在外延层/衬底界面处引入中间反射镜。...上表面等离子绒面通过处理太阳能电池活性层的上表面，表面光散射发生变化，从而影响太阳能电池的性能。目的是形成最理想的上表面，100%漫反射(朗伯折射，表现出全散射)。

来源：i黑马2012-04-20

此外，尚德最近推出的技术可以降低生产高质量硅片的成本，尚德还与位于澳大利亚墨尔本的斯威本科技大学建立了合作伙伴关系，共同开发纳米等离子学，即下一代光伏技术。

来源：北极星太阳能光伏网2012-04-19

对这个变化的解释是，当流量的增加，等离子浓度也呈上升趋势，但是当超过一定值后，由于等离子能量在呈下降趋势，导致继续等离子化难度增加，这样当流量继续增加时，等离子的浓度反而会降低，成膜速度呈递减趋势。

来源：南海网2012-04-19

2、采用等离子点火技术，可最大限度的节约点火用油。3、采用超临界参数，发电煤耗286g/kwh，达到国内同类型机组先进水平。

来源：北极星火力发电网2012-04-18

目前，等离子点火、微油(少油)点火、无油电厂是火电节油改造的最主要手段。和其他公司相比，龙源技术在等离子及微油点火领域都具有明显的技术优势。...1.烟台龙源电力技术股份有限公司：是国电科技环保集团有限公司的控股子公司，主要从事电力领域燃烧控制设备及系统的研究开发、设计制造、等，是首家开发和推广应用电站锅炉等离子点火及燃烧技术的高科技企业。

来源：solarF2012-04-13

冶金法有别于改良西门子法和硅烷法的化学方法，冶金法是利用物理方法生产太阳能级多晶硅，其典型工艺是将纯度好的冶金硅进行水平区熔单向凝固成硅锭，去除硅锭的外表部分和金属杂质聚集的部分后，将硅锭粗粉碎并清洗，并在等离子体熔解炉中去除硼杂质

来源：中国新能源网2012-04-13

等离子刻蚀未能满足自动化要求，破损率很高。经验证的工艺：晶硅电池的选择性掺杂激光器越来越多地用于掺杂工艺，因为它能在太阳能电池上提高局部掺杂浓度得分布从而改善载流子的移动性，特别是接触栅极。

来源：新华网2012-04-13

据了解，cc导体采购包是等离子体所继环向场(tf)、极向场(pf)后承担的第三个iter导体采购包。此前2011年9月8日，等离子体所完成了第一根tf认证导体，同年11月完成了第一根pf认证导体。

来源：PV-Tech2012-04-10

其中的难点包括：粗糙表面上的材料生长控制技术、高速纳米晶体硅沉积技术、多步顶衬刻蚀、静态及动态等离子沉积技术。

来源：PV-Tech2012-04-10

其中的难点包括：粗糙表面上的材料生长控制技术、高速纳米晶体硅沉积技术、多步顶衬刻蚀、静态及动态等离子沉积技术。

来源：solarF2012-04-09

质感材料活性层的生长需要加以控制，初步试验还将包括速率极高的纳米硅沉积步骤或者多步覆盖层蚀刻工艺以及静态和动态等离子沉积转移过程。

来源：光伏制造2012-04-09

待沉积的样品在等离子区域之外，等离子体不直接打到样品表面，样品或其支撑体也不是电极的一部分。...（2）直流法：使用直流源激发等离子体，进一步离化氨气和硅烷气。样品也不与等离子体接触。这种设备由荷兰的otb公司生产。

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-31

等离子光（pl）测试仪。自主研发等离子光测试仪，与以往测试仪相比有如下优点：1.天然颜色，接近日光源：测试准确性大幅提高。2.寿命长：寿命长达20000小时，因此大幅减少维修支出。

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-31

3 冶金法物理法等离子体法据资料报导，日本川崎制铁公司采用冶金法制得的多晶硅已在世界上最大的太阳能电池厂(sharp公司)应用，现已形成800吨/年的生产能力，全量供给sharp公司。...主要工艺是：选择纯度较好的工业硅(即冶金硅)进行水平区熔单向凝固成硅锭，去除硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分后，进行粗粉碎与清洗，在等离子体融解炉中去除硼杂质，再进行第二次水平区熔单向凝固成硅锭，去除第二次区熔硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-27

主要工艺是：选择纯度较好的工业硅进行水平区熔单向凝固成硅锭，去除硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分后，进行粗粉碎与清洗，在等离子体融解炉中去除硼杂质，再进行第二次水平区熔单向凝固成硅锭，去除第二次区熔硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分

来源：中国国电集团公司2012-03-22

新能源高端设备制造和电力科技环保产业快速发展，风机制造形成了多元风机产品系列，太阳能产业具备全产业链生产能力，等离子点火市场占有率稳居世界第一，脱硫特许经营、脱硝epc业务、电站空冷、dcs控制系统市场份额国内领先

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-19

这是带loadlock的si500d等离子沉积系统在中国的第一次安装。...2012年3月，东方集成在上海某研究所成功安装了sentech si500d等离子体沉积系统。