来源：北极星环保网2018-04-17

5.电子器件：航空飞机仪器仪表、高性能mems传感器、高性能压力传感器、工业物联网用集成式智能压力传感器等基础元器件的设计及制备技术、微电子智能组装及系统集成技术。

来源：北极星环保网2018-03-20

河南缘九花都田园综合体建设项目 2.6996 鹿邑县 中迪农业开发项目 3.5997 鹿邑县 蒲公英产业化发展基地项目 0.5998 郑州航空港实验区 拉曼激光诊疗研究实验室项目 0.8999 郑州航空港实验区 基于mems

来源：雷锋网2018-03-19

不仅如此，很多经过物理/化学气相沉积(pvd/cvd)制备的全固态电池，其整体厚度可能只有几十个微米，因此就可以制成非常小的电源器件，整合到mems(微机电系统)领域中。

来源：北极星电力网2018-02-27

传感器研发制造项目 (年产15亿个ic卡模块及mems传感器)170 山东联美汽车弹簧有限公司汽车弹簧项目 (年产汽车弹簧3800万件)171 山东海思堡服装服饰集团股份有限公司智能工厂改造项目 (年产服装...年产200万平方米高档地毯)168 山东翰林电气设备有限公司新型智能固态变电设备及其智能化配套设备项目 (年产智能固态变电设备及配套设备4500台套)169 山东齐芯微系统科技股份有限公司ic卡模块及mems

来源：北极星环保网2018-02-23

南京集成电路设计产业公共技术服务平台33. mems智能传感器研究院34. 我的麦田知识产权互联网公共服务平台建设35. 南京东大光传感/通信综合网络研究院建设36.

来源：北极星电力网2018-02-23

南京集成电路设计产业公共技术服务平台33. mems智能传感器研究院34. 我的麦田知识产权互联网公共服务平台建设35. 南京东大光传感/通信综合网络研究院建设36.

来源：河北省人民政府2018-02-13

重点发展与物联网感知功能密切相关的制造业，支持开展面向重点领域的高性能、低成本、集成化、微型化、低功耗智能传感器技术和产品研发,推进实施mems传感器芯片、soc芯片等一批产业化项目，提升产业配套能力，...支持6英寸碳化硅(sic)、氮化镓(gan)单晶及外延产业化，加快12英寸硅外延研发，推进高端传感器、光机电集成微系统(mems)、光通信器件、半导体激光器、射频芯片、探测器芯片、高端晶体振荡器、绝缘栅双极型晶体管

来源：北极星输配电网2018-02-08

南京集成电路设计产业公共技术服务平台33. mems智能传感器研究院34. 我的麦田知识产权互联网公共服务平台建设35. 南京东大光传感/通信综合网络研究院建设36.

来源：北极星环保网2018-01-31

传感器研发制造项目(年产１５亿个ic卡模块及mems传感器)１７０山东联美汽车弹簧有限公司汽车弹簧项目(年产汽车弹簧３８００万件)１７１山东海思堡服装服饰集团股份有限公司智能工厂改造项目(年产服装３００...淄博银鹤地毯有限公司高档地毯项目(年产２００万平方米高档地毯)１６８山东翰林电气设备有限公司新型智能固态变电设备及其智能化配套设备项目(年产智能固态变电设备及配套设备４５００台套)１６９山东齐芯微系统科技股份有限公司ic卡模块及mems

来源：北极星电力网2018-01-30

2.1.7 硅基光电子、混合光电子、微波光电子2.2 集成电路2.2.1 集成电路设计2.2.2 集成电路制备2.2.3 新型、高密度集成电路封装、测试技术2.2.4 集成电路关键装备和材料2.2.5 mems

来源：北极星环保网2018-01-26

新原理计算芯片2.1.7硅基光电子、混合光电子、微波光电子2.2集成电路2.2.1集成电路设计2.2.2集成电路制备2.2.3新型、高密度集成电路封装、测试技术2.2.4集成电路关键装备和材料2.2.5mems

来源：北极星环保网2018-01-16

集成电路：研发半导体存储器，智能终端系统级芯片（soc）、基于12英寸生产线的20nm级芯片、电力电子芯片，射频、数模混合、微机电系统（mems）等特色制造工艺，高密度封装、3d微组装技术，大硅片、光刻胶

来源：工信部2017-12-15

在模拟仿真、设计、mems工艺、封装及个性化测试技术方面达到国际先进水平，具备在移动式可穿戴、互联网、汽车电子等重点领域的系统方案设计能力。（二）神经网络芯片。...发展市场前景广阔的新型生物、气体、压力、流量、惯性、距离、图像、声学等智能传感器，推动压电材料、磁性材料、红外辐射材料、金属氧化物等材料技术革新，支持基于微机电系统（mems）和互补金属氧化物半导体（cmos

来源：行业信息简报2017-11-20

特点：1、mems无缝集成各子系统数据，提供统一接口，可方便的实现各应用功能灵活互动。2、mems内置多种分布式电源模型、支持各类型分布式电源快速接入，并参与优化调度管理。...mems体系结构如下图所示：mems应用功能主要包括实时监控、优化调度和能量管理这三个子系统，具体如下：1)实时监控子系统包括采集与监视控制、自动发电控制、电压无功控制和黑启动控制。

来源：物联网资本论2017-11-06

博世在mems传感器领域的经验超过20年。作为全球领先的汽车零部件供应商，博世的mems传感器之路始于汽车电子。...苏州敏芯微电子技术有限公司成立于2007年，是中国国内最早成立的mems研发公司之一。拥有数项涉及mems关键技术的突破性发明和世界级科研成果。

来源：北极星电力网2017-10-17

依托中电科第四十九所，推进硅微传感器、陶瓷微结构传感器、薄膜微传感器和微组装传感器组件工艺技术平台以及相关传感器产业化平台建设，打造国内领先的mems化学传感器产业化基地，加快建立集技术创新、产业化和市场应用为一体的传感器产业体系

来源：北极星环保网2017-09-23

9．高安全、高可靠航天火工技术开展激光点火系统、半导体点火技术、mems点火技术、冲击片点火技术、微智能点火技术研究；开展火工品贮存寿命及延长使用寿命研究；开展耐空间离子辐射、高低温环境下的火工品可靠性

来源：分布式发电与微电网2017-09-11

微网能量管理系统(mems)是电网特定应用环境下的能量管理系统，其隶属于大电网能量管理系统的一部分，但其部分功能又相对独立于大电网的能量管理系统，从微网角度看，mems主要功能应满足微网内高效、经济、安全

来源：北极星环保网2017-06-29

数字音频广播发射设备，数字电视上下变换器，数字电视地面广播单频网(sfn)设备，卫星数字电视上行站设备制造245.集成电路设计，线宽28纳米及以下大规模数字集成电路制造，0.11微米及以下模拟、数模集成电路制造，mems

来源：北极星环保网2017-05-17

高端储能装置及其管理系统半导体材料、光电子材料等关键电子材料电子专用设备仪器高清广播电视直播设备高性能安全服务器和存储设备应用电子产品和融合创新系统工业控制设备其他高端整机产品传感器、超级电容、mems