来源：北极星输配电网2018-11-05

重点发展微机电系统（mems）传感器、视觉传感器、智能仪器仪表等智能传感装备和数字化非接触精密测量、在线无损检测系统装备、激光跟踪测量仪器、可视化柔性装配装备以及远程运维及健康检测系统等检测设备，提升生产制造装备在线检测和装备产品全生命周期智能检测能力

来源：北极星储能网2018-10-31

重点发展微机电系统（mems）传感器、视觉传感器、智能仪器仪表等智能传感装备和数字化非接触精密测量、在线无损检测系统装备、激光跟踪测量仪器、可视化柔性装配装备以及远程运维及健康检测系统等检测设备，提升生产制造装备在线检测和装备产品全生命周期智能检测能力

来源：北极星电力网2018-10-30

重点发展微机电系统（mems）传感器、视觉传感器、智能仪器仪表等智能传感装备和数字化非接触精密测量、在线无损检测系统装备、激光跟踪测量仪器、可视化柔性装配装备以及远程运维及健康检测系统等检测设备，提升生产制造装备在线检测和装备产品全生命周期智能检测能力

来源：江苏政府网2018-10-11

大力发展满足高端装备、应用电子、物联网、新能源汽车、新一代信息技术需求的核心基础元器件，突破微机电系统(mems)微结构加工、高密度封装等关键共性技术。4.智能制造示范工程。

来源：北极星储能网2018-10-10

大力发展满足高端装备、应用电子、物联网、新能源汽车、新一代信息技术需求的核心基础元器件，突破微机电系统(mems)微结构加工、高密度封装等关键共性技术。4.智能制造示范工程。

来源：北极星电力网2018-10-10

大力发展满足高端装备、应用电子、物联网、新能源汽车、新一代信息技术需求的核心基础元器件，突破微机电系统(mems)微结构加工、高密度封装等关键共性技术。4.智能制造示范工程。

来源：新浪网2018-09-10

充电、放电一体化设计，实现交流系统和直流系统的能量双向流动;高效的矢量控制算法，实现有功、无功的解耦控制;功率因数任意可调，在容量范围内可以全发无功，实现无功补偿;在mems(微网能量管理系统)的调度下

来源：北极星电力网2018-09-07

壮大发展mems产业，推进陀螺仪、加速度仪、新型传感器等各类mems设计和制造的产业化，推动以mems、rfid等新型传感器为主的物联网应用。...、大数据等信息技术服务产业，超前布局人工智能、下一代信息网络产业等前沿信息产业，打造igbt产业链、mems和物联网产业链、智能卡产业链、软件和信息服务产业集群。

来源：北极星环保网2018-09-07

壮大发展mems产业，推进陀螺仪、加速度仪、新型传感器等各类mems设计和制造的产业化，推动以mems、rfid等新型传感器为主的物联网应用。...、大数据等信息技术服务产业，超前布局人工智能、下一代信息网络产业等前沿信息产业，打造igbt产业链、mems和物联网产业链、智能卡产业链、软件和信息服务产业集群。

来源：VOCers净气行家2018-06-22

是我国最大的传感器制造企业之一，产品涵盖气体传感器、流量传感器、压力传感器、热释电传感器、湿度传感器、加速度传感器、柔性传感器及mems芯片等，其中气体传感器产品尤为突出，在中国市场占有率达70%。

来源：北极星风力发电网2018-04-17

电子器件：航空飞机仪器仪表、高性能mems传感器、高性能压力传感器、工业物联网用集成式智能压力传感器等基础元器件的设计及制备技术、微电子智能组装及系统集成技术。(四)节能环保1.

来源：北极星电力网2018-04-17

电子器件：航空飞机仪器仪表、高性能mems传感器、高性能压力传感器、工业物联网用集成式智能压力传感器等基础元器件的设计及制备技术、微电子智能组装及系统集成技术。（四）节能环保1.

来源：北极星环保网2018-04-17

5.电子器件：航空飞机仪器仪表、高性能mems传感器、高性能压力传感器、工业物联网用集成式智能压力传感器等基础元器件的设计及制备技术、微电子智能组装及系统集成技术。

来源：北极星环保网2018-03-20

河南缘九花都田园综合体建设项目 2.6996 鹿邑县 中迪农业开发项目 3.5997 鹿邑县 蒲公英产业化发展基地项目 0.5998 郑州航空港实验区 拉曼激光诊疗研究实验室项目 0.8999 郑州航空港实验区 基于mems

来源：雷锋网2018-03-19

不仅如此，很多经过物理/化学气相沉积(pvd/cvd)制备的全固态电池，其整体厚度可能只有几十个微米，因此就可以制成非常小的电源器件，整合到mems(微机电系统)领域中。

来源：北极星电力网2018-02-27

传感器研发制造项目 (年产15亿个ic卡模块及mems传感器)170 山东联美汽车弹簧有限公司汽车弹簧项目 (年产汽车弹簧3800万件)171 山东海思堡服装服饰集团股份有限公司智能工厂改造项目 (年产服装...年产200万平方米高档地毯)168 山东翰林电气设备有限公司新型智能固态变电设备及其智能化配套设备项目 (年产智能固态变电设备及配套设备4500台套)169 山东齐芯微系统科技股份有限公司ic卡模块及mems

来源：北极星环保网2018-02-23

南京集成电路设计产业公共技术服务平台33. mems智能传感器研究院34. 我的麦田知识产权互联网公共服务平台建设35. 南京东大光传感/通信综合网络研究院建设36.

来源：北极星电力网2018-02-23

南京集成电路设计产业公共技术服务平台33. mems智能传感器研究院34. 我的麦田知识产权互联网公共服务平台建设35. 南京东大光传感/通信综合网络研究院建设36.

来源：河北省人民政府2018-02-13

重点发展与物联网感知功能密切相关的制造业，支持开展面向重点领域的高性能、低成本、集成化、微型化、低功耗智能传感器技术和产品研发,推进实施mems传感器芯片、soc芯片等一批产业化项目，提升产业配套能力，...支持6英寸碳化硅(sic)、氮化镓(gan)单晶及外延产业化，加快12英寸硅外延研发，推进高端传感器、光机电集成微系统(mems)、光通信器件、半导体激光器、射频芯片、探测器芯片、高端晶体振荡器、绝缘栅双极型晶体管

来源：北极星输配电网2018-02-08

南京集成电路设计产业公共技术服务平台33. mems智能传感器研究院34. 我的麦田知识产权互联网公共服务平台建设35. 南京东大光传感/通信综合网络研究院建设36.