来源：摩尔光伏2020-03-19

（来源：微信公众号“摩尔光伏”）1、引言晶硅太阳能电池在制造过程中通常采用制绒、扩散、刻蚀、pecvd、印刷、烧结几道工序，由于一些机械应力、热应力及人为等不稳定因素的存在，会不可避免的造成硅片的一些隐性缺陷如污染

来源：透视先进制造2020-03-16

主要设备包括pecvd、cat-cvd等，相比于平面镀膜工艺的pecvd具备自动化设备用量少、镀膜均匀、生产节奏快等明显优点， 纵向层叠式工艺的cat-cvd设备虽然的薄膜质量高、系统简单，但是对自动化要求高

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-03-16

相比之下，薄膜电池的产业链则短的多，甚至可以用集约来形容，采用pecvd、磁控溅射等方法沉积，生产自动化程度高，制作工艺可以连续在多个真空沉积室或多片在一个沉积室内完成，企业自身可以掌握生产和技术的脚步

来源：摩尔光伏2020-03-16

在实际商业运用中，用pecvd沉积氮化硅薄膜的技术已较为成熟，光伏太阳电池行业广泛使用板式pecvd和管式pecvd，但管式pecvd法制备的氮化硅薄膜色差问题难以解决，色差会使太阳电池的外观不良，必须重新晶硅太阳电池氮化硅膜产生色差的影响因素研究返工

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-03-12

相比于捷佳伟创的宽，迈为股份则更专注于“深”，乃至深到了光伏行业之外，同样，在立足于perc的同时深度布局hit，主攻hit中的丝网印刷与pecvd技术，目前均已有交付客户验证的产品，通过外采日本yac...迈为股份和捷佳伟创上市之后很快都走出了自己的舒适圈，其中，捷佳伟创深耕于光伏，但似乎野心更大一些，除perc技术之外，公司还深入布局了hit、mwt、n-perc、topcon等技术，涉及制绒、扩散、抛光、镀膜、印刷烧结、激光、自动化、lpcvd

来源：摩尔光伏2020-03-06

电池端，需要重新改造自动化，受产能影响，需要新购管式pecvd设备，辅材方面工器具需要重新购买。”

来源：北极星太阳能光伏网2020-03-04

该公司在努力增加pecvd(等离子增强化学气相沉积)工具和提高产量的同时，还对现有设备进行了生产线优化，以实现扩张。

来源：光伏测试网2020-03-03

硅片背面采用硝酸湿法氧化出一层1.4 nm左右的极薄氧化硅层，并利用pecvd在氧化层表面沉积一层20 nm厚的磷掺杂的微晶非晶混合si薄膜。

来源：证券市场周刊2020-03-02

迈为股份除供应优质丝网印刷设备外，也在研发并验证cvd设备，致力于为客户提供hjt整线解决方案。

来源：摩尔光伏2020-02-27

文章重点分析了管式pecvd镀膜均匀性的影响因素。通过改变pecvd镀膜过程中的腔体压力、镀膜前的恒温时间及金字塔绒面均匀性、石墨舟清洗配方等因素进行实验研究。...结果显示，适当降低pecvd镀膜压力，增加镀膜前恒温时间、提升镀膜前硅片绒面均匀性、降低石墨舟表面粗糙度可以提升pecvd镀膜均匀性。（来源：微信公众号“摩尔光伏”）

来源：老周看财报2020-02-26

pecvd设备国产化仍需时日，hit电池虽然性能较优，但仍然存在许多问题，一定程度上限制了其大规模量产，原因有三。

来源：光伏测试网2020-02-24

其中，非晶硅镀膜 pecvd 及 tco 镀膜的 rpd/pvd 设备合计占整线投资 60-75%。...需要从非晶硅界面钝化、tco 光吸收损失、金属化电阻损耗三方面进行努力，对应的工艺流程为 cvd、pvd、丝印三个步骤。这个三大难点克服，不仅仅是工艺的问题，还涉及到设备和材料的配套和改进。

来源：SOLARZOOM光储亿家2020-02-24

“由于pecvd国产化了，整个gw的投资已经降到了6亿到5亿的水平内，我认为这个过程会非常快的实现”，他补充到。回顾山煤过去2个半月的上涨足迹，我们发现与hjt技术市场发酵的痕迹几乎完全一致。...而国外的rec也已实现了600兆瓦的量产规模，这个都是我们已经能看到的实实在在的基础所在，可见量产技术正在进入成熟阶段；从核心设备上看，hjt四个步骤，受益于半导体产业过去几年国产化进步，最关键的pecvd

来源：光伏测试网2020-02-24

相较常规光伏电池的工艺流程新增了两个重要工序，只需在传统电池产线增加钝化膜沉积设备（pecvd 设备或ald设备）和激光开槽设备即可。

来源：北极星电力网2020-02-21

产业方面，开工建设南昌中微公司年产200腔体mocvd设备、萍乡福斯特智能制造产业园一期、吉安米田精密制造产业园等项目，建成江铜银山技改、新钢年产60万吨棒材、赣锋年产2亿瓦时新型动力电池、吉安佳合智能年产

来源：江西省人民政府2020-02-21

产业方面，开工建设南昌中微公司年产200腔体mocvd设备、萍乡福斯特智能制造产业园一期、吉安米田精密制造产业园等项目，建成江铜银山技改、新钢年产60万吨棒材、赣锋年产2亿瓦时新型动力电池、吉安佳合智能年产

来源：江西省人民政府2020-02-21

产业方面，开工建设南昌中微公司年产200腔体mocvd设备、萍乡福斯特智能制造产业园一期、吉安米田精密制造产业园等项目，建成江铜银山技改、新钢年产60万吨棒材、赣锋年产2亿瓦时新型动力电池、吉安佳合智能年产

来源：摩尔光伏2020-02-21

pecvd还是ald？下面是摘取王文静老师演讲ppt的内容。（来源：微信公众号：摩尔光伏）下面是丰盛装备王俊朝的演讲ppt，详细介绍这几种路线。有删减。

来源：太平洋证券2020-02-20

perc 电池生产工艺在传统产线基础上需增加氧化铝沉积及激光开槽两道工序，利好pecvd 及激光设备厂商。大尺寸硅片快速落地，设备及自动化控制将升级。...重点推荐晶盛机电（晶体生长及加工设备）、捷佳伟创（氧化炉、沉积炉、pecvd、hjt 制绒清洗、rpe 及丝网印刷设备）、迈为股份（丝网印刷设备、hjt 整线解决方案）、上机数控（硅片加工设备）、帝尔激光

来源：太阳能杂志2020-02-20

1.2 制备流程采用氧化铝浆料制备黑硅perc 多晶太阳电池的工艺流程为：①黑硅制绒→②扩散→③刻蚀去psg →④背面抛光→⑤印刷氧化铝浆料/ 烧结→⑥ pecvd 正面镀膜→⑦ pecvd 背面镀膜→