北极星
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      来源:《中国电子报》2007-03-07

      “十一五”期间,他们将加快12英寸硅单晶片规模化产业建设,实现我国12英寸集成电路用硅材料本地化批量供应。...宁波立立电子股份有限公司用气相掺氮技术抑制了硅单晶中的空洞(cop)缺陷,提高了集成电路的成品率和降低了ic制备中的成本,在氮气掺入量的控制及掺入方法具有自主创新性。

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