来源：北极星环保网2018-01-26

智能测控装置3.2.2关键智能基础零部件3.2.3智能加工、先进工艺和重大智能成套装备3.3光电子制造关键装备3.3.1新型光通信器件制备3.3.2半导体照明制备3.3.3高效光伏电池制备3.3.4微机电系统传感器制备

来源：北极星环保网2018-01-16

集成电路：研发半导体存储器，智能终端系统级芯片（soc）、基于12英寸生产线的20nm级芯片、电力电子芯片，射频、数模混合、微机电系统（mems）等特色制造工艺，高密度封装、3d微组装技术，大硅片、光刻胶

来源：北京日报2017-12-26

发展高性能光纤传感器、视觉传感器、微机电系统传感器、多参数复合传感器等工业用高端传感器。发展面向复杂工况的工业过程在线分析检测仪器。支持智能变送器、仪器仪表的研发和产业化。

来源：工信部2017-12-15

发展市场前景广阔的新型生物、气体、压力、流量、惯性、距离、图像、声学等智能传感器，推动压电材料、磁性材料、红外辐射材料、金属氧化物等材料技术革新，支持基于微机电系统（mems）和互补金属氧化物半导体（cmos

来源：物联网资本论2017-11-06

公司还提供微机电系统(mems)传感器技术平台，能够打造集射频、基带、微处理器、嵌入式闪存、微机电系统传感器于一体的单芯片系统(soc)、系统级封装(sip)、晶圆级封装(wlp)、2.5d封装等一站式服务

来源：新材料在线2017-10-23

该纳米机电系统(nems)利用沟槽底部的金门控触点，用于激活或触发纳米棒并探索其能量景观。这些器件的独特应用可以提供一种将谐振器的机械模式冷却到基态的可靠方法以及超高的力/质量传感器。

来源：远东智慧能源2017-10-18

这项交通工程的机电系统由中国铁建电气化局集团有限公司承建，是目前国内高速公路机电安装项目规模最大、技术最复杂、施工难度最大的项目，也是国内高速公路第一个采用系统集成模式招标的项目。

来源：河北省发改委2017-07-10

（4）第三代半导体材料及关键技术产业化，专用集成电路、工业控制软件，微机电系统技术研发及产业化。

来源：北极星电力网2017-05-27

艾仕得高性能涂料96、沙索18万吨/年烷氧基化高性能表面活性剂97、南京腾元软磁新材料产业园(六)装备制造(19个)98、中船海洋装备机电产业园99、舍弗勒汽车精密轴承100、南京天华大型化工设备研发101、民机机电系统零部件及伺服控制系统生产

来源：北极星电力网2017-04-27

实业有限公司成都基地项目成都经开区弘佛科技航空发动机零部件生产基地项目成都经开区科志防护科技产业园项目新都区建筑工业化研发及生产基地项目新都区今创轨道交通配套装备生产基地项目新都区成铁铁路道岔生产及物流基地项目新都区九牧智能厨卫及电商项目新都区海川航空及燃机关键部件生产基地项目新都区鸿昌塑胶模具设计制造及配套高端机械制造产品生产线项目新都区鼎汉车辆高端装备、地面机电系统项目新都区新誉列车高端配套系统西南总部研发及制造基地项目新都区博立页岩气压裂水平工具及生物高分子材料研发生产基地项目双流区广东欧派家居西部智能基地项目双流区川开智能电气研发制造基地项目郫都区城投远大工业化材料研发生产基地项目简阳市海大高性能绿色环保轮胎二期项目彭州市沣润多肽及核苷类研发生产项目彭州市朗盈碳五石油树脂深加工项目彭州市七一八所特种气体生产线建设项目邛崃市希瑞通信及新能源设备制造项目邛崃市新迪医药原料药及中间体生产线二期项目邛崃市天台山制药注射剂生产项目金堂县住友富士电梯制造项目大邑县瑞升纸业瓦楞纸生产项目蒲江县德贝纳五恒智能空调设备制造生产线项目成都高新区镇泰集团总部项目中国移动四川分公司外包服务中心项目成都天府新区西部网络传媒中心成都天府新区建国汽车

来源：北极星环保网2017-04-12

(一)重点支持领域1.装配式建筑机电工艺工程实验室针对目前建筑机电系统现场加工安装过程中污染大、能耗高和效率低等问题，重点围绕机电设备标准构件、部品、工装夹具等领域开展建筑机电设备模块化标准构件工艺、紧固连接工艺和组装工艺等技术研究

来源：北极星风力发电网2017-03-27

推动发展自动化控制系统、在线分析仪表、机械装备功能检测设备、科研检测分析仪器、食品化学及医疗检测仪、石油地质勘探仪、煤矿安全监测系统、环境保护检测仪、电力电子监测仪器等先进仪器设备，鼓励开展微机电系统（

来源：北极星环保网2017-03-27

推动发展自动化控制系统、在线分析仪表、机械装备功能检测设备、科研检测分析仪器、食品化学及医疗检测仪、石油地质勘探仪、煤矿安全监测系统、环境保护检测仪、电力电子监测仪器等先进仪器设备，鼓励开展微机电系统（

来源：北极星电力网2017-03-24

推动发展自动化控制系统、在线分析仪表、机械装备功能检测设备、科研检测分析仪器、食品化学及医疗检测仪、石油地质勘探仪、煤矿安全监测系统、环境保护检测仪、电力电子监测仪器等先进仪器设备，鼓励开展微机电系统(

来源：头条号/信立科技2017-03-13

提供精确可靠的产品，包括助听器元件、mems（微机电系统）麦克风、扬声器、受话器、传感器、电容器、振荡器等。

来源：北极星环保网2017-02-24

在制造环节，加快45nm/32nm/28nm先进工艺芯片的研发及产业化，引进和吸收先进生产制造工艺，推动22/20nm、16/14nm等先进生产线建设，发展先进高压电路、数模混合集成工艺、微机电系统(mems

来源：北极星电力网2017-02-23

强化物联网关键环节技术攻关及产业化，主要包括微机电系统、传感器、组网技术、共性支撑技术等，建设四川物联网中心。软件支撑能力提升工程：推动基础软件核心关键技术突破，加快新兴领域基础控制及应用软件发展。

来源：北京晨报2017-02-03

除以上贷款外，亚美尼亚政府还从德国开发银行kfw（德国复兴信贷银行）那里贷款5100万欧元，并转贷给vorotan项目，这笔贷款将为vorotan项目的机电系统整修和现代化改造提供资金。

来源：中国节能协会2016-12-28

这是发达国家都未能解决的难题，但确是我们必须应对的挑战;坚持绿色生活方式和建筑的使用模式，使建筑和机电系统与节约型生活方式相一致，是实现节能目标的基础;针对我国资源环境特点和实际的建筑使用方式，开展创新研究

来源：北极星电力网2016-12-08

重点突破高性能光纤传感器、微机电系统(mems)传感器、视觉传感器、分散式控制系统(dcs)、可编程逻辑控制器(plc)、数据采集系统(scada)、高性能高可靠嵌入式控制系统等核心产品，在机床、机器人