来源：中国投资2015-04-03

2014年，国内光伏制造设备水平仍处于快速提升阶段，在晶体硅太阳能电池生产线的十几种主要设备中，8种以上国产设备已在国内生产线中居主导地位，其中单晶炉、扩散炉、等离子刻蚀机、清洗制绒设备、组件层压机、太阳模拟仪等已达到或接近国际先进水平

来源：国家发改委2015-04-02

电池工序取水量包括制绒清洗机用纯水量、石墨舟清洗、湿法刻蚀用纯水量、电池片二次清洗、pecvd尾气清洗等生产系统取水量，冷却塔、工艺制冷系统、空调系统、空压机系统、环保设备等辅助生产系统取水量或分摊量，...电池工序实际耗电包括制绒清洗机、扩散炉、刻蚀机、pecvd及尾气处理设备、印刷机、烘干炉、烧结炉、石墨舟清洗烘箱、电池测试分选仪、包装设备、传输和装卸载等自动化设备等生产系统耗电，车间内照明、冷却塔、制冷机

来源：esmchina2015-03-16

具体过程是：将经氧气或氢气刻蚀处理得到的样品在高真空下通过电子轰击加热，除去氧化物。...另外一种方法使用等离子体刻蚀(plasma etching)一部分嵌入于聚合物的纳米管。石墨的声波处理法这方法包含分散在合适的液体介质中的石墨，然后被超声波处理。

来源：通用电气集团2014-12-31

adts542f采用了先进的ge德鲁克第二代沟槽刻蚀硅谐振压力传感器terps技术以及创新性的德鲁克成熟的压力控制技术，精度指标在12个月内优于0.1mbar，若选用其内部校准组件，还可将校准周期延长至

来源：《涂料工业》2014-12-12

该类型背板由于含有导电金属箔，且需要对金属箔进行激光刻蚀或化学腐蚀，工艺过程复杂、生产效率低且成本高，现有的技术还不能根本解决这些问题，该类型背板还处于研究、开发、试生产阶段，在市场上还不具有明显的竞争优势...2.2ffc涂覆技术苏州中来作为涂覆型背板生产技术研发的代表企业，通过对pet双面进行等离子体刻蚀活化处理，然后涂覆含氟涂料，通过微波固化、等离子体接枝处理工艺，实现了胶膜一体化，提高了背板与eva的粘结强度

来源：新浪博客2014-11-21

支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积（pecvd）、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备和pecvd等薄膜太阳能电池生产设备。

来源：北极星电力网2014-11-07

12英寸晶圆65-28纳米介质刻蚀工艺需求;刻蚀能力40:1;线宽控制精度2nm17.1.7 高密度等离子硅刻蚀机套满足12英寸晶圆65-28纳米多种硅刻蚀工艺需求17.1.8 高密度等离子刻蚀装备套8

来源：OFweek 工控网2014-10-31

目前的产品主要有：磁控溅射镀膜设备、离子束溅射镀膜设备、化学气相淀积设备(pecvd)、干法刻蚀设备(rie，icp，ibe)、匀胶机、烘胶机、去胶机、非标真空设备等。

来源：OFweek 可穿戴设备网2014-09-10

kionix 在量产中采用了一种称为等离子体微机械加工的硅深刻蚀专有 mems 技术。 要查看这种技术的示例，请观看我们的 等离子刻蚀视频， 该视频演示了 mems 惯性传感器如何成型。

来源：Solarzoom2014-09-05

原材料（多晶硅片、单晶硅片、铝框架、接线盒等）；③产成品（太阳能电池组件、低瓦值组件、多（单）晶硅电池片等）；④高效太阳能电池及组件技术改造项目涉及的在建机器设备，印刷设备、减反射膜制造设备、分选设备、湿刻蚀绝缘机

来源：北极星电力网2014-08-25

主要包括6 英寸/8 英寸/12 英寸集成电路生产线所用的光刻机、刻蚀机、离子注入机、退火设备、单晶生长设备、薄膜生长设备、化学机械抛光设备、封装设备、测试设备等。...9.2.7 电子专用设备仪器半导体生产用镀膜、溅射、刻蚀等设备。锂离子电池生产专用设备。高精密自动印刷机、高速多功能自动贴片机、无铅再流焊机等电子元器件表面贴装及整机装联设备。

来源：昆仑海岸2014-07-21

溅射薄膜压力液位变送器是采用原子纳米薄膜应变电阻通过溅射、刻蚀特殊工艺技术制作的压力传感器和高性能的数字放大电路一体化设计，它克服了传统传感器的蠕变、滞后、老化等不稳定因素，提高变送器在高温高压恶劣环境下的长期稳定性和可靠性

来源：中国光伏测试网2014-07-15

组件的生产是经过电池片的生产，包括硅锭，线切割，硅片清洗，扩散制结，等离子刻蚀，去磷硅玻璃，减反射膜制备，丝网印刷，烧结，检测分级，这期间由于通过单片功率测试和删选，隐裂的几率比较小。

来源：中国储能网2014-07-10

以前，曾有科学家在硅电极表面蚀刻微孔，但未能在整个材料上刻蚀成功。...pnnl的科学家使用michael sailor的方法制作多孔硅通过化学浴在薄片上刻蚀微孔，然后包裹上一层薄的碳层制作电极。

来源：中国能源报2014-07-02

2013年又研制出的一批新的晶硅太阳能电池设备(在线湿法刻蚀设备、减压扩散炉、ald原子层沉积al2o3钝化膜设备、超细栅印刷设备、全自动太阳能电池测试分选机等)，2014年这批新设备将进入市场，这不仅使太阳能电池片生产线的产能和转换效率得到明显的提高

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2014-06-27

薄膜电池组件清洗玻璃或其他基底，不需要酸碱刻蚀，用的都是少量的有机清洗剂，不仅没有酸碱的污染，而且是真空镀膜，光伏材料和电池组件制造同时在一个车间内完成，所以薄膜电池在这方面基本上没有污染。

来源：工信部网站2014-06-25

加强集成电路装备、材料与工艺结合，研发光刻机、刻蚀机、离子注入机等关键设备，开发光刻胶、大尺寸硅片等关键材料，加强集成电路制造企业和装备、材料企业的协作，加快产业化进程，增强产业配套能力。

来源：PV-Tech2014-05-20

扫描电镜(sem)显示，等离子体表面刻蚀和活化显著增加了pet与涂层之间的相容性，使它们之间得到十分紧密而强有力的整合。...背板以pet为基材，经等离子体表面刻蚀和活化后，双面涂以特殊研制的反应性功能氟碳涂料，经热固化后得到具有聚氨酯结构的膜胶一体化背板。

来源：TestPV2014-05-09

用三氯氧磷扩散性能更好natcore共向光伏制造商运送了五批黑硅刻蚀的硅片，其中两批用作受控对照产品，另三批用作测试。

来源：湖南省政府门户网站2014-04-14

2001年，48所凭借在半导体装备领域的深厚积淀，推出高温扩散炉和等离子体刻蚀机，以光伏装备作为推动企业进入市场的突破口，在创新开拓的道路上迈出了第一步。