来源：MaterialsViews中国2015-12-07

然而，这些生长基底都需要通过使用刻蚀剂刻蚀的方法才能去除，这一方面增加了基底的损耗，另一方面也会引入杂质，从而造成石墨烯晶体质量的严重降低。

来源：化工7072015-12-02

电子光伏：浸渍、真空镀膜、离子刻蚀、分子束外延等。航天航空：钎焊、真空镀膜、电子束焊、风洞试验、空间环境模拟等。冶金行业：浸渍、挤出、真空镀膜、离子刻蚀、泥料脱气、钢水脱气、分子束外延等。

来源：电池中国网2015-11-25

加快高效电池用平板式pecvd、离子注入机、刻蚀机、原子层沉积镀膜设备(ald)等关键工艺设备研发。

来源：北极星太阳能光伏网2015-11-24

加快高效电池用平板式pecvd、离子注入机、刻蚀机、原子层沉积镀膜设备（ald）等关键工艺设备研发领域均有入围。

来源：仪器信息网2015-10-30

可以实现对气体（环境测量）、食品和饮料、农产品、饲料、石油化工等产品的定性检测；c12666ma微型光谱仪是去年面世的，它采用了带有狭缝的（让光通过达到传感器）cmos图像传感器，该狭缝是利用mems干法刻蚀技术形成的

来源：电子工程2015-09-14

他对这两个工艺进行了分析比较，mems演进需要新的工艺，包括深硅刻蚀、晶园级绑定、高精度晶园减薄、真空封装以及tsv与wlp封装;而cmos演进则是需要新的材料，包括cr/au/ti/cu/al等金属化物

来源：价值中国2015-09-07

反应离子刻蚀技术（rie）是最有发展前景的技术，它首先在硅片表面形成一层mask（掩膜）再显影出表面织构模型，然后再利用反应离子刻蚀方法制备表面织构。...京瓷产业化17.2％~17.7％的多晶硅电池就是采用等离子刻蚀工艺的一个成功典范。2.2发射区扩散pn结特性决定了太阳能电池的性能！

来源：北极星环保网2015-08-14

加快推广废旧塑料生产型材、管材、废旧铅蓄电池无污染再生铅、农林三剩物生产中高密度纤维板等技术装备，支持电子行业废剥离液、刻蚀液再生与循环利用技术研发和应用，推广磷石膏制水泥缓凝剂、建筑石膏粉技术，加快推广废铁泥

来源：中国电子报2015-06-24

二是led(照明)生产线关键设备mocvd、刻蚀机、pvd、cvd等2014年销售51台，实现了产业化。...2014年中国半导体设备新进展中还有三大亮点一是12英寸28~15纳米去耦合反应等离子体刻蚀机等14项集成电路设备通过工艺考核，达到量产，并实现了销售。

来源：Graphene石墨烯快讯2015-04-07

加州大学洛杉矶分校的加州纳米技术研究院已经成功地结合激光刻蚀的石墨烯和二氧化锰(这是目前碱性电池中使用最多的材料，因为它拥有大量的电能，并且来源丰富廉价)，以发展一种新型储能装置。

来源：中国投资2015-04-03

2014年，国内光伏制造设备水平仍处于快速提升阶段，在晶体硅太阳能电池生产线的十几种主要设备中，8种以上国产设备已在国内生产线中居主导地位，其中单晶炉、扩散炉、等离子刻蚀机、清洗制绒设备、组件层压机、太阳模拟仪等已达到或接近国际先进水平

来源：国家发改委2015-04-02

电池工序取水量包括制绒清洗机用纯水量、石墨舟清洗、湿法刻蚀用纯水量、电池片二次清洗、pecvd尾气清洗等生产系统取水量，冷却塔、工艺制冷系统、空调系统、空压机系统、环保设备等辅助生产系统取水量或分摊量，...电池工序实际耗电包括制绒清洗机、扩散炉、刻蚀机、pecvd及尾气处理设备、印刷机、烘干炉、烧结炉、石墨舟清洗烘箱、电池测试分选仪、包装设备、传输和装卸载等自动化设备等生产系统耗电，车间内照明、冷却塔、制冷机

来源：esmchina2015-03-16

具体过程是：将经氧气或氢气刻蚀处理得到的样品在高真空下通过电子轰击加热，除去氧化物。...另外一种方法使用等离子体刻蚀(plasma etching)一部分嵌入于聚合物的纳米管。石墨的声波处理法这方法包含分散在合适的液体介质中的石墨，然后被超声波处理。

来源：通用电气集团2014-12-31

adts542f采用了先进的ge德鲁克第二代沟槽刻蚀硅谐振压力传感器terps技术以及创新性的德鲁克成熟的压力控制技术，精度指标在12个月内优于0.1mbar，若选用其内部校准组件，还可将校准周期延长至

来源：《涂料工业》2014-12-12

该类型背板由于含有导电金属箔，且需要对金属箔进行激光刻蚀或化学腐蚀，工艺过程复杂、生产效率低且成本高，现有的技术还不能根本解决这些问题，该类型背板还处于研究、开发、试生产阶段，在市场上还不具有明显的竞争优势...2.2ffc涂覆技术苏州中来作为涂覆型背板生产技术研发的代表企业，通过对pet双面进行等离子体刻蚀活化处理，然后涂覆含氟涂料，通过微波固化、等离子体接枝处理工艺，实现了胶膜一体化，提高了背板与eva的粘结强度

来源：新浪博客2014-11-21

支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积（pecvd）、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备和pecvd等薄膜太阳能电池生产设备。

来源：北极星电力网2014-11-07

12英寸晶圆65-28纳米介质刻蚀工艺需求;刻蚀能力40:1;线宽控制精度2nm17.1.7 高密度等离子硅刻蚀机套满足12英寸晶圆65-28纳米多种硅刻蚀工艺需求17.1.8 高密度等离子刻蚀装备套8

来源：OFweek 工控网2014-10-31

目前的产品主要有：磁控溅射镀膜设备、离子束溅射镀膜设备、化学气相淀积设备(pecvd)、干法刻蚀设备(rie，icp，ibe)、匀胶机、烘胶机、去胶机、非标真空设备等。

来源：OFweek 可穿戴设备网2014-09-10

kionix 在量产中采用了一种称为等离子体微机械加工的硅深刻蚀专有 mems 技术。 要查看这种技术的示例，请观看我们的 等离子刻蚀视频， 该视频演示了 mems 惯性传感器如何成型。

来源：Solarzoom2014-09-05

原材料（多晶硅片、单晶硅片、铝框架、接线盒等）；③产成品（太阳能电池组件、低瓦值组件、多（单）晶硅电池片等）；④高效太阳能电池及组件技术改造项目涉及的在建机器设备，印刷设备、减反射膜制造设备、分选设备、湿刻蚀绝缘机