来源:PV-tech2014-02-28
amtech表示,多笔订单包括扩散炉和一个用于加工更高效率太阳能电池的等离子体增强化学气相沉积(pecvd)系统。...等离子体增强化学气相沉积用于钝化和抗反射涂层工艺,是电势诱发衰减(pid)保护的一个关键流程。amtech预计未来六个月内按订单出货。
来源:北极星太阳能光伏网(独家)2013-12-31
目前,多晶硅绒面技术主要有机械刻槽、激光刻槽、等离子刻蚀(rie)和各向同性酸腐蚀。在硅片表面织构的制作过程中,可能会引入机械应力和损伤,在后处理中形成缺陷。
来源:北极星太阳能光伏网(独家)2013-12-27
待沉积的样品在等离子区域之外,等离子体不直接打到样品表面,样品或其支撑体也不是电极的一部分。北极星太阳能光伏网编辑按照已知销售商数量(非静态指标)列出了国内前十名光伏pecvd设备企业,仅供参考。