来源：北极星储能网2019-01-16

机械装备功能检测设备、科研检测分析仪器、食品化学及医疗检测仪、石油地质勘探仪、煤矿安全监测系统、环境保护检测仪、电力电子监测仪器、机器人用传感器、播种施肥检测传感器、药肥喷量智能传感器、智能化仪表、微机电系统（mems

来源：北极星电力网2019-01-07

机械装备功能检测设备、科研检测分析仪器、食品化学及医疗检测仪、石油地质勘探仪、煤矿安全监测系统、环境保护检测仪、电力电子监测仪器、机器人用传感器、播种施肥检测传感器、药肥喷量智能传感器、智能化仪表、微机电系统（mems

来源：山东省人民政府2019-01-07

机械装备功能检测设备、科研检测分析仪器、食品化学及医疗检测仪、石油地质勘探仪、煤矿安全监测系统、环境保护检测仪、电力电子监测仪器、机器人用传感器、播种施肥检测传感器、药肥喷量智能传感器、智能化仪表、微机电系统（mems

来源：北极星大气网2019-01-04

机械装备功能检测设备、科研检测分析仪器、食品化学及医疗检测仪、石油地质勘探仪、煤矿安全监测系统、环境保护检测仪、电力电子监测仪器、机器人用传感器、播种施肥检测传感器、药肥喷量智能传感器、智能化仪表、微机电系统（mems

来源：北极星环保网2019-01-03

电子信息产业，重点发展集成电路及元器件、微机电系统（mems）及物联网、工业互联网及软件，打造融合创新、智能协同、安全可控的电子信息产业体系。2.大力加快传统行业动能绿色改造。

来源：北极星电力网2018-11-22

面向生命健康、能源、消费类电子等应用方向，重点支持微机电系统（mems）光电器件在激光投影终端、生物影像设备、环保检测装备、安防监测以及激光雷达等产品的应用推广。

来源：北极星储能网2018-11-20

面向生命健康、能源、消费类电子等应用方向，重点支持微机电系统(mems)光电器件在激光投影终端、生物影像设备、环保检测装备、安防监测以及激光雷达等产品的应用推广。

来源：北极星风力发电网2018-11-19

面向生命健康、能源、消费类电子等应用方向，重点支持微机电系统（mems）光电器件在激光投影终端、生物影像设备、环保检测装备、安防监测以及激光雷达等产品的应用推广。

来源：北极星输配电网2018-11-05

重点发展微机电系统（mems）传感器、视觉传感器、智能仪器仪表等智能传感装备和数字化非接触精密测量、在线无损检测系统装备、激光跟踪测量仪器、可视化柔性装配装备以及远程运维及健康检测系统等检测设备，提升生产制造装备在线检测和装备产品全生命周期智能检测能力

来源：北极星储能网2018-10-31

重点发展微机电系统（mems）传感器、视觉传感器、智能仪器仪表等智能传感装备和数字化非接触精密测量、在线无损检测系统装备、激光跟踪测量仪器、可视化柔性装配装备以及远程运维及健康检测系统等检测设备，提升生产制造装备在线检测和装备产品全生命周期智能检测能力

来源：北极星电力网2018-10-30

重点发展微机电系统（mems）传感器、视觉传感器、智能仪器仪表等智能传感装备和数字化非接触精密测量、在线无损检测系统装备、激光跟踪测量仪器、可视化柔性装配装备以及远程运维及健康检测系统等检测设备，提升生产制造装备在线检测和装备产品全生命周期智能检测能力

来源：江苏政府网2018-10-11

大力发展满足高端装备、应用电子、物联网、新能源汽车、新一代信息技术需求的核心基础元器件，突破微机电系统(mems)微结构加工、高密度封装等关键共性技术。4.智能制造示范工程。

来源：北极星储能网2018-10-10

大力发展满足高端装备、应用电子、物联网、新能源汽车、新一代信息技术需求的核心基础元器件，突破微机电系统(mems)微结构加工、高密度封装等关键共性技术。4.智能制造示范工程。

来源：北极星电力网2018-10-10

大力发展满足高端装备、应用电子、物联网、新能源汽车、新一代信息技术需求的核心基础元器件，突破微机电系统(mems)微结构加工、高密度封装等关键共性技术。4.智能制造示范工程。

来源：新浪网2018-09-10

充电、放电一体化设计，实现交流系统和直流系统的能量双向流动;高效的矢量控制算法，实现有功、无功的解耦控制;功率因数任意可调，在容量范围内可以全发无功，实现无功补偿;在mems(微网能量管理系统)的调度下

来源：北极星电力网2018-09-07

壮大发展mems产业，推进陀螺仪、加速度仪、新型传感器等各类mems设计和制造的产业化，推动以mems、rfid等新型传感器为主的物联网应用。...、大数据等信息技术服务产业，超前布局人工智能、下一代信息网络产业等前沿信息产业，打造igbt产业链、mems和物联网产业链、智能卡产业链、软件和信息服务产业集群。

来源：北极星环保网2018-09-07

壮大发展mems产业，推进陀螺仪、加速度仪、新型传感器等各类mems设计和制造的产业化，推动以mems、rfid等新型传感器为主的物联网应用。...、大数据等信息技术服务产业，超前布局人工智能、下一代信息网络产业等前沿信息产业，打造igbt产业链、mems和物联网产业链、智能卡产业链、软件和信息服务产业集群。

来源：VOCers净气行家2018-06-22

是我国最大的传感器制造企业之一，产品涵盖气体传感器、流量传感器、压力传感器、热释电传感器、湿度传感器、加速度传感器、柔性传感器及mems芯片等，其中气体传感器产品尤为突出，在中国市场占有率达70%。

来源：北极星风力发电网2018-04-17

电子器件：航空飞机仪器仪表、高性能mems传感器、高性能压力传感器、工业物联网用集成式智能压力传感器等基础元器件的设计及制备技术、微电子智能组装及系统集成技术。(四)节能环保1.

来源：北极星电力网2018-04-17

电子器件：航空飞机仪器仪表、高性能mems传感器、高性能压力传感器、工业物联网用集成式智能压力传感器等基础元器件的设计及制备技术、微电子智能组装及系统集成技术。（四）节能环保1.