来源：北极星储能网整理2019-03-21

集成电路设计，线宽 28 纳米及以下大规模数字集成电路制造，0.11 微米及以下模拟、数模集成电路制造，mems 和化合物半导体集成电路制造及 bga、pga、fpga、csp、mcm 等先进封装与测试

来源：能源情报2019-03-15

通过在整条输电线路上部署多功能骨干节点、mems加速度（陀螺仪）传感器节点，并在高压杆塔上布设泄漏电流传感器节点、通信骨干节点构成一个传感器簇，多个这样的簇构成线状网络并通过通信骨干节点构成整个智能电网输电线路在线监测系统

来源：上海经信委2019-02-12

大规模集成电路芯片前端和后端生产核心及工艺装备；mems和新型传感器生产核心及工艺装备；led芯片和iii－v半导体器件生产核心及工艺装备。3、轨道交通设备。

来源：北极星储能网2019-02-12

大力发展生物三维(3d)打印技术、医用机器人、大型医疗设备、健康和辅助器械、可穿戴设备以及相关医疗mems(微机电)传感器件的研发,推动人工智能技术、脑机接口、虚拟现实等新技术在康复辅助器具产品中的集成应用

来源：北极星输配电网2019-02-11

大力发展生物三维(3d)打印技术、医用机器人、大型医疗设备、健康和辅助器械、可穿戴设备以及相关医疗mems(微机电)传感器件的研发,推动人工智能技术、脑机接口、虚拟现实等新技术在康复辅助器具产品中的集成应用

来源：北极星环保网2019-02-03

数字音频广播发射设备，数字电视上下变换器，数字电视地面广播单频网（sfn）设备，卫星数字电视上行站设备制造274.集成电路设计，线宽28纳米及以下大规模数字集成电路制造，0.11微米及以下模拟、数模集成电路制造，mems

来源：国家发改委2019-02-02

数字音频广播发射设备，数字电视上下变换器，数字电视地面广播单频网（sfn）设备，卫星数字电视上行站设备制造274.集成电路设计，线宽 28纳米及以下大规模数字集成电路制造，0.11微米及以下模拟、数模集成电路制造，mems

来源：北极星储能网2019-02-01

数字音频广播发射设备，数字电视上下变换器，数字电视地面广播单频网（sfn）设备，卫星数字电视上行站设备制造274.集成电路设计，线宽 28纳米及以下大规模数字集成电路制造，0.11微米及以下模拟、数模集成电路制造，mems

来源：北极星电力网2019-02-01

数字音频广播发射设备，数字电视上下变换器，数字电视地面广播单频网（sfn）设备，卫星数字电视上行站设备制造274.集成电路设计，线宽 28纳米及以下大规模数字集成电路制造，0.11微米及以下模拟、数模集成电路制造，mems

来源：北极星储能网2019-02-01

大规模集成电路芯片前端和后端生产核心及工艺装备；mems和新型传感器生产核心及工艺装备；led芯片和iii-v半导体器件生产核心及工艺装备。3、轨道交通设备。

来源：北极星电力网2019-02-01

大规模集成电路芯片前端和后端生产核心及工艺装备；mems和新型传感器生产核心及工艺装备；led芯片和iii-v半导体器件生产核心及工艺装备。3、轨道交通设备。

来源：北极星储能网2019-02-01

在智能传感器领域，以低功耗、小型化、高性能为目标，重点发展基于mems(微机电系统)工艺的新型生物、气体、光学等智能传感器和集成化传感器，加快污染监测、数字燃气、智慧水务等基于传感技术的智能物联研发及产业化

来源：北极星储能网2019-01-16

机械装备功能检测设备、科研检测分析仪器、食品化学及医疗检测仪、石油地质勘探仪、煤矿安全监测系统、环境保护检测仪、电力电子监测仪器、机器人用传感器、播种施肥检测传感器、药肥喷量智能传感器、智能化仪表、微机电系统（mems

来源：北极星电力网2019-01-07

机械装备功能检测设备、科研检测分析仪器、食品化学及医疗检测仪、石油地质勘探仪、煤矿安全监测系统、环境保护检测仪、电力电子监测仪器、机器人用传感器、播种施肥检测传感器、药肥喷量智能传感器、智能化仪表、微机电系统（mems

来源：山东省人民政府2019-01-07

机械装备功能检测设备、科研检测分析仪器、食品化学及医疗检测仪、石油地质勘探仪、煤矿安全监测系统、环境保护检测仪、电力电子监测仪器、机器人用传感器、播种施肥检测传感器、药肥喷量智能传感器、智能化仪表、微机电系统（mems

来源：北极星大气网2019-01-04

机械装备功能检测设备、科研检测分析仪器、食品化学及医疗检测仪、石油地质勘探仪、煤矿安全监测系统、环境保护检测仪、电力电子监测仪器、机器人用传感器、播种施肥检测传感器、药肥喷量智能传感器、智能化仪表、微机电系统（mems

来源：北极星环保网2019-01-03

电子信息产业，重点发展集成电路及元器件、微机电系统（mems）及物联网、工业互联网及软件，打造融合创新、智能协同、安全可控的电子信息产业体系。2.大力加快传统行业动能绿色改造。

来源：北极星电力网2018-11-22

面向生命健康、能源、消费类电子等应用方向，重点支持微机电系统（mems）光电器件在激光投影终端、生物影像设备、环保检测装备、安防监测以及激光雷达等产品的应用推广。

来源：北极星储能网2018-11-20

面向生命健康、能源、消费类电子等应用方向，重点支持微机电系统(mems)光电器件在激光投影终端、生物影像设备、环保检测装备、安防监测以及激光雷达等产品的应用推广。

来源：北极星风力发电网2018-11-19

面向生命健康、能源、消费类电子等应用方向，重点支持微机电系统（mems）光电器件在激光投影终端、生物影像设备、环保检测装备、安防监测以及激光雷达等产品的应用推广。