来源：国家发改委2019-02-02

数字音频广播发射设备，数字电视上下变换器，数字电视地面广播单频网（sfn）设备，卫星数字电视上行站设备制造274.集成电路设计，线宽 28纳米及以下大规模数字集成电路制造，0.11微米及以下模拟、数模集成电路制造，mems

来源：北极星储能网2019-02-01

数字音频广播发射设备，数字电视上下变换器，数字电视地面广播单频网（sfn）设备，卫星数字电视上行站设备制造274.集成电路设计，线宽 28纳米及以下大规模数字集成电路制造，0.11微米及以下模拟、数模集成电路制造，mems

来源：北极星电力网2019-02-01

数字音频广播发射设备，数字电视上下变换器，数字电视地面广播单频网（sfn）设备，卫星数字电视上行站设备制造274.集成电路设计，线宽 28纳米及以下大规模数字集成电路制造，0.11微米及以下模拟、数模集成电路制造，mems

来源：北极星储能网2019-02-01

大规模集成电路芯片前端和后端生产核心及工艺装备；mems和新型传感器生产核心及工艺装备；led芯片和iii-v半导体器件生产核心及工艺装备。3、轨道交通设备。

来源：北极星电力网2019-02-01

大规模集成电路芯片前端和后端生产核心及工艺装备；mems和新型传感器生产核心及工艺装备；led芯片和iii-v半导体器件生产核心及工艺装备。3、轨道交通设备。

来源：北极星储能网2019-02-01

在智能传感器领域，以低功耗、小型化、高性能为目标，重点发展基于mems(微机电系统)工艺的新型生物、气体、光学等智能传感器和集成化传感器，加快污染监测、数字燃气、智慧水务等基于传感技术的智能物联研发及产业化

来源：北极星储能网2019-01-16

机械装备功能检测设备、科研检测分析仪器、食品化学及医疗检测仪、石油地质勘探仪、煤矿安全监测系统、环境保护检测仪、电力电子监测仪器、机器人用传感器、播种施肥检测传感器、药肥喷量智能传感器、智能化仪表、微机电系统（mems

来源：北极星电力网2019-01-07

机械装备功能检测设备、科研检测分析仪器、食品化学及医疗检测仪、石油地质勘探仪、煤矿安全监测系统、环境保护检测仪、电力电子监测仪器、机器人用传感器、播种施肥检测传感器、药肥喷量智能传感器、智能化仪表、微机电系统（mems

来源：山东省人民政府2019-01-07

机械装备功能检测设备、科研检测分析仪器、食品化学及医疗检测仪、石油地质勘探仪、煤矿安全监测系统、环境保护检测仪、电力电子监测仪器、机器人用传感器、播种施肥检测传感器、药肥喷量智能传感器、智能化仪表、微机电系统（mems

来源：北极星大气网2019-01-04

机械装备功能检测设备、科研检测分析仪器、食品化学及医疗检测仪、石油地质勘探仪、煤矿安全监测系统、环境保护检测仪、电力电子监测仪器、机器人用传感器、播种施肥检测传感器、药肥喷量智能传感器、智能化仪表、微机电系统（mems

来源：北极星环保网2019-01-03

电子信息产业，重点发展集成电路及元器件、微机电系统（mems）及物联网、工业互联网及软件，打造融合创新、智能协同、安全可控的电子信息产业体系。2.大力加快传统行业动能绿色改造。

来源：北极星电力网2018-11-22

面向生命健康、能源、消费类电子等应用方向，重点支持微机电系统（mems）光电器件在激光投影终端、生物影像设备、环保检测装备、安防监测以及激光雷达等产品的应用推广。

来源：北极星储能网2018-11-20

面向生命健康、能源、消费类电子等应用方向，重点支持微机电系统(mems)光电器件在激光投影终端、生物影像设备、环保检测装备、安防监测以及激光雷达等产品的应用推广。

来源：北极星风力发电网2018-11-19

面向生命健康、能源、消费类电子等应用方向，重点支持微机电系统（mems）光电器件在激光投影终端、生物影像设备、环保检测装备、安防监测以及激光雷达等产品的应用推广。

来源：北极星输配电网2018-11-05

重点发展微机电系统（mems）传感器、视觉传感器、智能仪器仪表等智能传感装备和数字化非接触精密测量、在线无损检测系统装备、激光跟踪测量仪器、可视化柔性装配装备以及远程运维及健康检测系统等检测设备，提升生产制造装备在线检测和装备产品全生命周期智能检测能力

来源：北极星储能网2018-10-31

重点发展微机电系统（mems）传感器、视觉传感器、智能仪器仪表等智能传感装备和数字化非接触精密测量、在线无损检测系统装备、激光跟踪测量仪器、可视化柔性装配装备以及远程运维及健康检测系统等检测设备，提升生产制造装备在线检测和装备产品全生命周期智能检测能力

来源：北极星电力网2018-10-30

重点发展微机电系统（mems）传感器、视觉传感器、智能仪器仪表等智能传感装备和数字化非接触精密测量、在线无损检测系统装备、激光跟踪测量仪器、可视化柔性装配装备以及远程运维及健康检测系统等检测设备，提升生产制造装备在线检测和装备产品全生命周期智能检测能力

来源：江苏政府网2018-10-11

大力发展满足高端装备、应用电子、物联网、新能源汽车、新一代信息技术需求的核心基础元器件，突破微机电系统(mems)微结构加工、高密度封装等关键共性技术。4.智能制造示范工程。

来源：北极星储能网2018-10-10

大力发展满足高端装备、应用电子、物联网、新能源汽车、新一代信息技术需求的核心基础元器件，突破微机电系统(mems)微结构加工、高密度封装等关键共性技术。4.智能制造示范工程。

来源：北极星电力网2018-10-10

大力发展满足高端装备、应用电子、物联网、新能源汽车、新一代信息技术需求的核心基础元器件，突破微机电系统(mems)微结构加工、高密度封装等关键共性技术。4.智能制造示范工程。