来源：IWA微信2016-04-14

氧化刻蚀处理生成的微孔直径为0.400.24nm，密度超过1012cm-2。氧化时间短时，由于在孔隙边缘带负电荷的官能团产生的静电排斥作用，微孔是阳离子选择性的。

来源：安徽省科技厅2016-03-29

课题组对商用硅片进行薄化和纳米线刻蚀处理，进而结合银纳米片的等离激元热电子注入效应，制造出具有力学柔性的近红外太阳能电池。

来源：中国科学院2016-03-18

针对力学柔性问题，熊宇杰课题组对商用硅片进行薄化和纳米线刻蚀处理，进而结合银纳米片的等离激元热电子注入效应，制造出了具有力学柔性的近红外太阳能电池。

来源：北极星太阳能光伏网（独家)2016-03-02

这些专利申请主要是与正银的配方有关，涉及刻蚀剂的配方和制造工艺，有机载体的配方和制作工艺等。

来源：科普中国微平台2016-02-25

④现代半导体微加工工艺都是二维平面工艺，即在一个平面上进行掺杂、刻蚀、连电极等基本加工。石墨烯的二维结构与之恰好匹配，传统的微加工工艺完全适用石墨烯微、纳米尺度结构的加工。

来源：青海新闻网2016-01-21

西安太阳能电力有限公司西宁分公司多晶反应离子刻蚀(rie)制绒技术研究项目荣获企业技术创新奖。

来源：烯碳资讯2016-01-13

一般来说，物理方法有刻蚀大尺寸材料的能力，但是对设备有一定的要求。然而，材料边缘较差的质量严重影响gnrs的电性能。...另一个剖切方法是基于等离子体，刻蚀剖切碳纳米管。这里需要准确控制蚀刻，因为碳纳米管容易被等离子体完全地蚀刻掉。利用pmma聚合基质可以部分地保护碳纳米管。

来源：cnbeta网站2016-01-04

2015年，北京大学采用氢辅助法在４ｈ－ｓｉｃ表面外延生长出高质量石墨烯，其中氢充当了碳刻蚀剂的作用，产生的石墨烯层面积更大，厚度更均匀。

来源：千华网2015-12-21

于是，他模拟壁虎脚掌的结构，在一种高分子材料(聚酰亚胺)上进行刻蚀，制造出单个微突起直径为500nm，高2m，以间隔1.6m周期性排列的表面。制作了一片小小的胶带。

来源：MaterialsViews中国2015-12-17

化学气相沉积法通过前驱体在真空高温下反应直接沉积在基底上，虽然制备的产品晶体质量高、厚度可控，但是制备成本较高，在转移时需要刻蚀基底易引入杂质，并且产量较低。

来源：MaterialsViews中国2015-12-07

然而，这些生长基底都需要通过使用刻蚀剂刻蚀的方法才能去除，这一方面增加了基底的损耗，另一方面也会引入杂质，从而造成石墨烯晶体质量的严重降低。

来源：化工7072015-12-02

电子光伏：浸渍、真空镀膜、离子刻蚀、分子束外延等。航天航空：钎焊、真空镀膜、电子束焊、风洞试验、空间环境模拟等。冶金行业：浸渍、挤出、真空镀膜、离子刻蚀、泥料脱气、钢水脱气、分子束外延等。

来源：电池中国网2015-11-25

加快高效电池用平板式pecvd、离子注入机、刻蚀机、原子层沉积镀膜设备(ald)等关键工艺设备研发。

来源：北极星太阳能光伏网2015-11-24

加快高效电池用平板式pecvd、离子注入机、刻蚀机、原子层沉积镀膜设备（ald）等关键工艺设备研发领域均有入围。

来源：仪器信息网2015-10-30

可以实现对气体（环境测量）、食品和饮料、农产品、饲料、石油化工等产品的定性检测；c12666ma微型光谱仪是去年面世的，它采用了带有狭缝的（让光通过达到传感器）cmos图像传感器，该狭缝是利用mems干法刻蚀技术形成的

来源：电子工程2015-09-14

他对这两个工艺进行了分析比较，mems演进需要新的工艺，包括深硅刻蚀、晶园级绑定、高精度晶园减薄、真空封装以及tsv与wlp封装;而cmos演进则是需要新的材料，包括cr/au/ti/cu/al等金属化物

来源：价值中国2015-09-07

反应离子刻蚀技术（rie）是最有发展前景的技术，它首先在硅片表面形成一层mask（掩膜）再显影出表面织构模型，然后再利用反应离子刻蚀方法制备表面织构。...京瓷产业化17.2％~17.7％的多晶硅电池就是采用等离子刻蚀工艺的一个成功典范。2.2发射区扩散pn结特性决定了太阳能电池的性能！

来源：北极星环保网2015-08-14

加快推广废旧塑料生产型材、管材、废旧铅蓄电池无污染再生铅、农林三剩物生产中高密度纤维板等技术装备，支持电子行业废剥离液、刻蚀液再生与循环利用技术研发和应用，推广磷石膏制水泥缓凝剂、建筑石膏粉技术，加快推广废铁泥

来源：中国电子报2015-06-24

二是led(照明)生产线关键设备mocvd、刻蚀机、pvd、cvd等2014年销售51台，实现了产业化。...2014年中国半导体设备新进展中还有三大亮点一是12英寸28~15纳米去耦合反应等离子体刻蚀机等14项集成电路设备通过工艺考核，达到量产，并实现了销售。

来源：Graphene石墨烯快讯2015-04-07

加州大学洛杉矶分校的加州纳米技术研究院已经成功地结合激光刻蚀的石墨烯和二氧化锰(这是目前碱性电池中使用最多的材料，因为它拥有大量的电能，并且来源丰富廉价)，以发展一种新型储能装置。