来源：太阳能发电网2019-07-16

mems传感器是物联网的关键技术之一。...mems工艺技术是各种类型传感器的共性基础工艺技术，目前主要是围绕不同封装结构的各种传感器产品开展创新。低功耗广域网(lpwan)将广泛应用。

来源：中国电力报2019-07-12

南京南瑞继保电气有限公司 （简称“南瑞继保”）为该项目提供了包含微电网能量管理系统（mems）、微电网协调控制器（mgcc）、储能变流器（pcs）等核心设备在内的微电网一体化解决方案，实现了开山岛24小时连续

来源：北极星风力发电网2019-07-01

智能传感器及仪器仪表：高精度、高可靠性、低功耗、微型化和多功能集成技术；mems兼容性、小体积低成本封装工艺技术。...专栏5：智能传感器及仪器仪表发展重点工程传感器+集成电路协同发展工程：加强mems与集成电路工艺共性技术和兼容性、小体积、低成本封装工艺等技术工艺研究，推动现有晶圆制造、封装测试企业开放流片及封测业务，

来源：河北省工信厅2019-04-16

集成电路用高性能硅基材料和特种电子气体等专用材料研发和产业化；光刻机、多线切割机、清洗机及cmp抛光机等关键设备研发和产业化；模拟及数模混合电路、微机电系统（mems）、高电压电路、射频电路等特色专用工艺生产线研发

来源：国家发改委2019-04-09

，及球栅阵列封装（bga）、插针网格阵列封装（pga）、芯片规模封装（csp）、多芯片封装（mcm)、栅格阵列封装(lga)、系统级封装（sip）、倒装封装（fc）、晶圆级封装（wlp）、传感器封装（mems

来源：北极星电力网2019-04-09

，及球栅阵列封装（bga）、插针网格阵列封装（pga）、芯片规模封装（csp）、多芯片封装（mcm)、栅格阵列封装(lga)、系统级封装（sip）、倒装封装（fc）、晶圆级封装（wlp）、传感器封装（mems

来源：北极星环保网2019-04-09

，及球栅阵列封装（bga）、插针网格阵列封装（pga）、芯片规模封装（csp）、多芯片封装（mcm)、栅格阵列封装(lga)、系统级封装（sip）、倒装封装（fc）、晶圆级封装（wlp）、传感器封装（mems

来源：前瞻产业研究院2019-03-21

电镀技术作为一个从原子、离子尺度开始的材料制造以及零部件制造技术，与光刻蚀技术相结合，发展成为mems技术，mems技术随即成为mems领域的尖端技术。...近年来，随着人工智能技术的高速发展，mems产业已经全方位快速渗透到军事、医疗、生物、仿生学及航空航天等领域。

来源：北极星储能网整理2019-03-21

集成电路设计，线宽 28 纳米及以下大规模数字集成电路制造，0.11 微米及以下模拟、数模集成电路制造，mems 和化合物半导体集成电路制造及 bga、pga、fpga、csp、mcm 等先进封装与测试

来源：能源情报2019-03-15

通过在整条输电线路上部署多功能骨干节点、mems加速度（陀螺仪）传感器节点，并在高压杆塔上布设泄漏电流传感器节点、通信骨干节点构成一个传感器簇，多个这样的簇构成线状网络并通过通信骨干节点构成整个智能电网输电线路在线监测系统

来源：上海经信委2019-02-12

大规模集成电路芯片前端和后端生产核心及工艺装备；mems和新型传感器生产核心及工艺装备；led芯片和iii－v半导体器件生产核心及工艺装备。3、轨道交通设备。

来源：北极星储能网2019-02-12

大力发展生物三维(3d)打印技术、医用机器人、大型医疗设备、健康和辅助器械、可穿戴设备以及相关医疗mems(微机电)传感器件的研发,推动人工智能技术、脑机接口、虚拟现实等新技术在康复辅助器具产品中的集成应用

来源：北极星输配电网2019-02-11

大力发展生物三维(3d)打印技术、医用机器人、大型医疗设备、健康和辅助器械、可穿戴设备以及相关医疗mems(微机电)传感器件的研发,推动人工智能技术、脑机接口、虚拟现实等新技术在康复辅助器具产品中的集成应用

来源：北极星环保网2019-02-03

数字音频广播发射设备，数字电视上下变换器，数字电视地面广播单频网（sfn）设备，卫星数字电视上行站设备制造274.集成电路设计，线宽28纳米及以下大规模数字集成电路制造，0.11微米及以下模拟、数模集成电路制造，mems

来源：国家发改委2019-02-02

数字音频广播发射设备，数字电视上下变换器，数字电视地面广播单频网（sfn）设备，卫星数字电视上行站设备制造274.集成电路设计，线宽 28纳米及以下大规模数字集成电路制造，0.11微米及以下模拟、数模集成电路制造，mems

来源：北极星储能网2019-02-01

数字音频广播发射设备，数字电视上下变换器，数字电视地面广播单频网（sfn）设备，卫星数字电视上行站设备制造274.集成电路设计，线宽 28纳米及以下大规模数字集成电路制造，0.11微米及以下模拟、数模集成电路制造，mems

来源：北极星电力网2019-02-01

数字音频广播发射设备，数字电视上下变换器，数字电视地面广播单频网（sfn）设备，卫星数字电视上行站设备制造274.集成电路设计，线宽 28纳米及以下大规模数字集成电路制造，0.11微米及以下模拟、数模集成电路制造，mems

来源：北极星储能网2019-02-01

大规模集成电路芯片前端和后端生产核心及工艺装备；mems和新型传感器生产核心及工艺装备；led芯片和iii-v半导体器件生产核心及工艺装备。3、轨道交通设备。

来源：北极星电力网2019-02-01

大规模集成电路芯片前端和后端生产核心及工艺装备；mems和新型传感器生产核心及工艺装备；led芯片和iii-v半导体器件生产核心及工艺装备。3、轨道交通设备。

来源：北极星储能网2019-02-01

在智能传感器领域，以低功耗、小型化、高性能为目标，重点发展基于mems(微机电系统)工艺的新型生物、气体、光学等智能传感器和集成化传感器，加快污染监测、数字燃气、智慧水务等基于传感技术的智能物联研发及产业化