来源：北极星太阳能光伏网2019-05-16

单晶硅太阳能电池具有很多优点：1.光电转换效率高，可靠性高； 2.先进的扩散技术，保证片内各处转换效率的均匀性； 3.运用先进的pecvd成膜技术，在电池表面镀上深蓝色的氮化硅减反射膜，颜色均匀美观；

来源：北极星氢能网2019-05-13

公司开发的主要设备有：工模具硬质涂层镀膜设备、磁控溅射镀膜设备、多弧离子镀膜设备、磁控溅射多弧离子复合镀膜设备、连续式磁控溅射镀膜生产线、光学镀膜设备、cvd和pecvd化学气相沉积设备、icp刻蚀设备和

来源：材料导报、摩尔光伏2019-05-13

fraunhofer研究所采用n型fz硅片，正面采用普通金字塔制绒，硼扩散，等离子体辅助的原子层沉积(ald)氧化铝与等离子体化学气相沉积(pecvd)氮化硅的叠层结构起到钝化和减反效果。...背面采用上述topcon技术(基于硝酸热氧化化学工艺)，pecvd沉积n+掺杂的多晶硅，接着通过进行高温(70～900℃)退火和氢钝化改善硅薄膜的形貌与带隙，最后正、反金属化采用电子束蒸发的ti/pd/

来源：东吴证券2019-04-25

年成立以来专注于电池环节，技术、品质、成本、服务、规模五大优势，全行业领先：1)拥有国际化的研发团队，18年硕博士研发人员达到32人、研发投入占比4.89%，累计授权专利443项，远超对手；2)拥有管式pecvd

来源：中国知识产权报2019-04-17

据了解，背钝化膜的制备，是perc电池最为核心的工艺步骤，产业化沉积薄膜的技术手段主要有以solaytec、韩华新能源等厂商为代表的原子层沉积（ald）方式，及以瑞士meyerburger为代表的板式（pecvd...对于上述起诉，隆基股份方面表示，从技术上看，目前隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致（专利技术采用的是ald技术，隆基采用的pecvd技术），同时表示：“根据媒体信息初步分析显示，韩华新能源诉讼使用的专利是通过从其他研究机构经多次转移购买所得

来源：光伏测试网2019-03-28

fraunhofer研究所采用n型fz硅片，正面采用普通金字塔制绒，硼扩散，等离子体辅助的原子层沉积(ald)氧化铝与等离子体化学气相沉积(pecvd)氮化硅的叠层结构起到钝化和减反效果。...背面采用上述topcon技术(基于硝酸热氧化化学工艺)，pecvd沉积n+掺杂的多晶硅，接着通过进行高温(70～900℃)退火和氢钝化改善硅薄膜的形貌与带隙，最后正、反金属化采用电子束蒸发的ti/pd/

来源：中国商务新闻网2019-03-27

隆基绿能也于同日发布声明称，目前公司所采用的是pecvd技术，与涉案专利采用的ald技术并不相同。

来源：光伏测试网2019-03-27

2019年3月6日，韩华发表声明称晶科能源、隆基股份及rec等三家公司侵犯了其钝化技术专利，隆基方面则在声明中表示，隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致，专利采用的是ald技术，而隆基采用的是pecvd

来源：北极星太阳能光伏网2019-03-15

目前隆基隆基采用的pecvd技术，专利采用的是ald技术。...一位发言人还补充说，我们的maia和fabia电池涂层平台，使用我们专有的等离子体增强化学气相沉积（pecvd）钝化技术，不在专利侵权索赔的范围。

来源：pv-magazine2019-03-13

隆基表示，有争议的专利与ald技术有关，隆基采用的是pecvd技术。相关链接：韩华起诉晶科、隆基和rec侵犯其专利权，最新回应来了!

来源：e公司2019-03-12

隆基股份表示，从技术上看，目前公司产品与涉案专利采用的技术方法并不一致，事涉专利采用的是ald技术，而公司采用的是pecvd技术；另据媒体信息初步分析，韩华诉讼使用的专利是通过从其他研究机构经多次转移购买所得

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2019-03-08

目前，晶科能源和隆基股份都采用pecvd来做氧化铝钝化薄膜。某一线光伏企业高管表示，按照韩华新能源的起诉逻辑，pecvd属于ald的一种。“但实际在市场上，ald和pecvd是完全分开的概念。”

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2019-03-07

从技术上看，目前隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致，专利采用的是ald技术，隆基采用的pecvd技术。

来源：隆基股份2019-03-06

从技术上看，目前隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致（专利采用的是ald技术，隆基采用的pecvd技术）。仅根据现有媒体信息分析显示，目前相关诉讼对隆基的生产、经营不会造成实质性影响。

来源：电子世界2019-02-26

用于perc电池工业化生产，采用pecvd方式占比较高。...2.3al2o3薄膜钝化研究沉积al2o3薄膜，量产可行的方法主要有pecvd法和原子层沉积（ald）法，pecvd法与沉积sinx薄膜的原理一致，主要反应气体为三甲基铝（tma）。

来源：晋锐能源2019-02-20

国内企业中最受瞩目的便是钧石能源，公司拥有自主研发的hdt高效异质结太阳能电池技术，产品的转换效率居行业前列，更重要的是，钧石能源pvd、pecvd等核心设备均为自主研发并拥有自主知识产权，使项目投资成本大大缩减

来源：亚化咨询2019-02-19

其中，根据设备形式的不同，pecvd沉积工艺设备包括板式pecvd和管式pecvd，ald沉积工艺设备也主要分为管式ald和板式ald，值得注意的是，在管式ald工艺下，还分为单插片与双插片的区别，即双面镀膜和单面镀膜的差异

来源：国盛证券2019-02-12

2017年，公司核心产品 pecvd设备占公司营收45%，其他工艺设备合计占公司营收40%，自动化设备占公司营收逐年提升至15%左右。2017年毛利率较2015年增长 10个百分点。

来源：中信建投2019-02-11

与perc工艺的区别在于：1）非晶硅薄膜沉积环节，使用pecvd或rpd沉积本征氢化非晶硅层和p型/n型氢化非晶硅层；2）镀膜环节使用 pvd沉积tco导电膜； 3）印刷电极方面需使用低温银浆；4）烧结过程需控制低温烧结

来源：证券日报网2019-01-15

2018年12月，爱旭科技的“perc单面/双面电池（管式pecvd）量产技术”于通过了中国可再生能源协会专家评审组的现场评审，来自中国可再生能源协会、北京太阳能研究所、中国科学院电工研究所、国电投中央研究院太阳能技术研究所等单位的