来源：北极星环保网2017-01-17

3.2刻蚀过程etchingprocess对电子元件及组件衬底表面进行选择性腐蚀或剥离的过程。3.3表面涂装surfacecoating为保护或装饰电子元件及组件，在其表面覆以连续膜层的过程。...5污染物排放控制要求5.1排气筒vocs排放限值清洗、刻蚀、表面涂装、烘干室排气应安装废气净化装置进行处理，其vocs的总去除效率应达到90%，排气筒排放的vocs排放限值应符合表1规定。

来源：北极星环保网2017-01-16

5污染物排放控制要求5.1排气筒挥发性有机污染物排放限值清洗、刻蚀、表面涂装、烘干室排气应安装废气净化装置进行处理，排气筒排放的vocs排放限值应符合表1规定。...3.9刻蚀过程etchingprocess对电子元件及组件衬底表面进行选择性腐蚀或剥离的过程。3.10表面涂装surfacecoating为保护或装饰电子元件及组件，在其表面覆以连续膜层的过程。

来源：北极星电力网2016-12-23

研究离子刻蚀光栅、等离子光源、低温超导与磁力应用等关键技术，开发高精度光谱仪、重金属分析仪、元素分析仪等分析测试仪器，高性能传感器技术，智能化仪表、精密监测和计量仪器，数字化非接触精密测量、无损检测系统装备

来源：新材料在线2016-12-19

图：(a)pdms薄膜改性铜箔在1macm-2下litfsi电解质中的库伦效率曲线 (b)以lifepo4为正极的全电池的循环性能曲线这种薄膜材料能够通过旋涂法和氢氟酸(hf)刻蚀进行制备。

来源：北极星电力网2016-11-29

（五）集成电路支持12英寸集成电路生产线设备，65nm/45nm/28nm刻蚀机，45nm薄膜设备、掺杂设备、互联设备、平坦化设备、清洗设备、工艺检测设备；先进封装圆片减薄设备、三维系统封装通孔设备、高密度倒装键合设备

来源：北极星风力发电网2016-11-16

结合互联网+协同制造理念，加快推广新一代太阳能光伏装备，形成包括电池片分选设备、硅片品质分选设备、清洗机、刻蚀机、烧结炉等产品的太阳能光伏产品智能制造成套解决方案，开发智能控制系统，进行生产系统集成，实现装备数字化与智能化升级

来源：北极星电力网2016-11-08

专栏2 太阳能科技创新发展内容应用推广：电池片分选设备、硅片品质分选设备、清洗机、刻蚀机、烧结炉等产品的数字化与智能化升级，高效太阳能晶体硅电池组件和太阳能电池片，太阳能热水系统、太阳能干燥系统、光热制冷系统...结合互联网+协同制造理念，加快推广新一代太阳能光伏装备，形成包括电池片分选设备、硅片品质分选设备、清洗机、刻蚀机、烧结炉等产品的太阳能光伏产品智能制造成套解决方案，开发智能控制系统，进行生产系统集成，实现装备数字化与智能化升级

来源：北极星电力网2016-11-01

智能终端系统级芯片（soc），云计算、物联网、大数据核心芯片，电力电子芯片，16/14nm先进制造工艺以及高压、射频、数模混合、微机电系统（mems）等特色制造工艺，高密度封装及3d微组装技术，光刻机、刻蚀机

来源：北极星环保网2016-11-01

智能终端系统级芯片（soc），云计算、物联网、大数据核心芯片，电力电子芯片，16/14nm先进制造工艺以及高压、射频、数模混合、微机电系统（mems）等特色制造工艺，高密度封装及3d微组装技术，光刻机、刻蚀机

来源：中国教育报-中国教育新闻网2016-10-31

日前，复旦大学光科学与工程系陆明课题组通过在p型单晶si(100)上扩散磷制备pn结，利用化学刻蚀方法在n型发射极中形成多孔黑硅，并利用该种黑硅材料制备出高效太阳能电池。

来源：VOCnews2016-10-26

低温等离子体已经被用于超细颗粒生产、废气处理、冶金提炼、刻蚀和材料表面处理等,它们当中许多已实现了工业化。但是利用低温等离子体处理挥发性有机废气并实现工业化的却极为鲜见。

来源：中国科学报2016-09-28

研究者通过在p型单晶si(100)上扩散磷制备pn结，利用化学刻蚀方法在n型发射极中形成多孔黑硅，其紫外可见光范围反射率低于0.3%。

来源：北极星环保网2016-09-26

加快推进新建12英寸生产线建设,支持16/14纳米工艺量产及10纳米先导工艺技术研发,发展嵌入式闪存、微机电系统(mems)、绝缘栅双极型晶体管(igbt)、图像传感器等特色工艺和芯片模块产品;研发光刻机、刻蚀机

来源：北极星电力网2016-09-26

加快推进新建12英寸生产线建设,支持16/14纳米工艺量产及10纳米先导工艺技术研发,发展嵌入式闪存、微机电系统(mems)、绝缘栅双极型晶体管(igbt)、图像传感器等特色工艺和芯片模块产品;研发光刻机、刻蚀机

来源：研之成理2016-09-12

因为，一般直接煅烧的炭材料很难具有发达的孔道，而活化可以通过刻蚀的方法在原来的炭材料中制造孔道。...活性炭的得名，主要是因为需要利用活化的方法（物理活化和化学活化）来刻蚀出孔，从而使得到的炭材料具有发达的空隙和优良的吸附性能，因此叫做活性炭。

来源：中国新能源网2016-09-05

ruoff的研究团队也报导了koh处理方式，他们分别针对微波剥离氧化石墨烯(mego)和热剥离氧化石墨烯(tego)，所获得的材料的比表面积达到了3100m2/g，研究过程中发现koh活化会对mego进行刻蚀

来源：国际节能环保网2016-08-26

在国家电投黄河水电太阳能电力有限公司西宁分公司，习近平了解该企业发展光伏全产业链及科技研发、生产经营等情况，到车间视察太阳能电池生产线，察看成品展示，了解制绒、刻蚀、镀膜、丝网印刷、高温烧结等生产工艺。

来源：环保易交易微信2016-08-18

1废水情况1.1废水来源企业的含氟废水主要来源于电池车间，电池车间的工艺为：制绒扩散湿法刻蚀喷涂减反射膜印刷烧结。...其中硅片制绒和刻蚀两个工序产生废水，包括废酸液(硝酸+氢氟酸、氢氟酸+盐酸或氢氟酸)、废碱液(氢氧化钾)、酸清洗水和碱清洗水。

来源：北极星电力网2016-08-17

2.高端智能装备与测试设备研制具有国际竞争力的光刻机、刻蚀机等重大集成电路装备及关键零部件产品，开发中高端集成电路测试设备及测试关键技术，满足国际主流制造工艺要求。

来源：北极星输配电网整理2016-08-09

攻克14纳米刻蚀设备、薄膜设备、掺杂设备等高端制造装备及零部件，突破28纳米浸没式光刻机及核心部件，研制300毫米硅片等关键材料，研发14纳米逻辑与存储芯片成套工艺及相应系统封测技术，开展75纳米关键技术研究