北极星
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      来源:《中国电子报》2007-03-14

      对用量较大的光刻胶、清洗、刻蚀试剂化学抛光液等,力争在“十一五”期间实现产业化。   “十一五”期间,建立完善的集成电路产业链是产业持续健康发展的核心任务。

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