来源：光伏测试网2019-09-18

目前，国内外文献多采用等离子体增强化学气相沉积法(pecvd)制备非晶硅薄膜，其他 方法如热丝化学气相沉积技术(hwcvd)、常压化学气相沉积技术(apcvd)和 离子束辅助沉积技术制备a-si:h也有研究

来源：智研咨询2019-09-17

2）超额收益明显：2018年perc单晶硅电池片利润率较高，具备超额收益；3）存量产线设备改动小：传统产线只需要增加pecvd等背面镀膜钝化设备，就能实现perc工艺；4）新线设备投资额下降：perc电池线产线设备实现进口替代

来源：SolarWit2019-09-11

2、短期看，m12大规模的产业化应用有困难，因为现有产能不能通过技改从156升级到210，就以丝网印刷机为例，如果要生产210硅片，丝网印刷机整线长度要增加10米，pecvd的管径也不能满足210的生产

来源：一图胜千研2019-09-11

2、电池厂电池生产环节中的扩散和沉积（管式 pecvd）设备需要在密封的管道中进行生产。当前在运和在建的 perc产线均基于传统单晶硅片尺寸进行设计，行业反馈所能处理的硅片边长极限为 166 毫米。

来源：光伏前沿2019-09-04

报告期内，公司新增辰锦智能、拓升智能两家子公司，专业从事高速丝网印刷机和高效电池片pecvd和pvd设备的研发和设计。...积极布局3500片/小时的叠瓦组件自动化生产线、hjt光伏电池片镀膜机（pecvd和pvd）、topcon电池工艺装备等新产品的研发和升级改造。

来源：光伏测试网2019-08-30

:吸片、舟卡槽及硅片间摩擦;刻蚀工序:滚轮划伤、清洗残留、皮带接触、导条接触、花篮接触、人员接触、烘干污染、粉尘污染、油污等;背钝化工序:吸盘接触、皮带接触、导条接触、花篮接触、人员接触、粉尘污染等;pecvd...三是边缘刻蚀和去磷硅玻璃，此环节需要仪器schmid刻蚀机、schmid自动动化仪器;四是背钝化在硅片背面沉积三氧化二铝膜和氮化硅膜，此环节需仪器meyerburger的一体机式镀膜机、罗博特科自动化仪器;五是pecvd

来源：巨潮资讯网2019-08-28

据悉，捷佳伟创主营业务为pecvd设备、扩散炉制绒刻蚀清洗自动化配套设备等太阳能电池片生产工艺流程中的主要研发、制造和销售。

来源：淘股圣手2019-08-23

推荐关注两大龙头：迈为股份、捷佳伟创前段设备龙头捷佳伟创市占率40-50%，后段设备龙头迈为股份市占率70%，目前有相互渗透的趋势，捷佳伟创在2019snec展推出丝网印刷设备，而迈为股份也准备推进pecvd

来源：新能源前线2019-08-01

制备过程如图所示:1、通过等离子体增强化学气相沉积法（pecvd）在硅基底长出cnt阵列。2、经过煅烧，cnt阵列很容易被转移到已双向拉伸的弹性体基底上。

来源：电新产业研究2019-07-29

目前，hit电池设备的单机产能相对较低，清洗机、pvd、丝网印刷机单机产能大约在200mw/台左右，pecvd只有100mw/台左右的产能。单机产能低是目前hit电池投资较高的主要原因之一。

来源：中信建投证券2019-07-24

与perc工艺的区别在于：1）非晶硅薄膜沉积环节，使用pecvd或rpd沉积本征氢化非晶硅层和p型/n型氢化非晶硅层；2）镀膜环节使用pvd沉积tco导电膜；3）印刷电极方面需使用低温银浆；4）烧结过程需控制低温烧结

来源：OFweek太阳能光伏2019-07-19

主营产品为pecvd及扩散炉等半导体掺杂沉积工艺光伏设备、清洗、刻蚀、制绒等湿法工艺光伏设备以及自动化（配套）设备等晶体硅太阳能电池生产工艺流程中的主要及配套设备的研发、制造和销售。

来源：SolarWit2019-07-15

调研电池片关键设备厂商这一点得到了明确的反馈，捷佳伟创的pecvd设备出货量表明今年每个月平均perc电池片新增产能达到了4~5gw，全年设备发货量预计会达到50gw的水平，这在历史上市未曾有过的装机狂热时期

来源：国荣证券2019-07-11

晶硅电池主要经过清洗、制绒、热扩散、去磷硅玻璃、刻蚀去边、pecvd镀减反射膜、丝网印刷电极和烧结等八个过程。

来源：光伏测试网2019-07-04

电池生产工艺:碱腐蚀去损伤层、制备电池表面陷光层→单面磷 (pocl3) 扩散形成pn结→湿法刻蚀周边结及清洗→电池上表面热氧化制氧化硅薄层→等离子增强化学气相沉积 (pecvd) 在电池上表面沉积sinx

来源：招商证券研究所2019-06-25

空间 20亿，背面 pecvd 空间 30亿，丝网印刷 15亿。...3亿元\/gw，改造产能设备投入约 0.8亿元\/gw，则 2019\/2020年设备空间可达 102亿、 77亿，2019年对应制绒设备、扩散炉、刻蚀机、激光设备、自动化设备空间各自约10亿，正面 pecvd

来源：摩尔光伏2019-06-18

4．3本征非晶硅厚度的优化和制备制备非晶硅的方法包括pecvd、hwcvd以及磁控溅射方法等。...高质量的i-a-si∶h的制备方法目前用的最多的方法主要有pecvd(等离子增强化学气相沉积)、hwcvd(热丝化学气相沉积)以及磁控溅射方法［34］等，不同的方法制备的薄膜的质量也不相同。

来源：东方证券2019-06-12

目前hit的核心设备（湿法设备、pecvd和pvd）的总价格为700-1300万美元/100mw，而剩下设备（入料管控、自动化、印刷、烧结、测试和筛选等）则在300-500万美元/100mw左右，hit

来源：北极星太阳能光伏网2019-06-04

提问：我有一个问题关于技术，我们隧道氧化层，知道ipecvd已经有在使用了，pecvd也是很快跟进，对于这个技术您怎么样的建议？...dirk-holger neuhaus：现在已经是有不错的发展了，我觉得pecvd更好，我在这块已经有20年的经验了，所以不错的。（发言根据速记整理，未经本人审核）

来源：长城证券2019-05-22

管式pecvd设备与进口设备实力相近，份额逐步扩大，正在加速进口替代过程。但全自动丝网印刷机、自动分拣机、连续式pecvd设备仍然依赖于进口，未来国内设备厂商主要向高效化和智能化发展。