来源：北极星环保网2020-05-26

年度省住房城乡建设科技计划项目公示名单1 北方沿海地区农村清洁取暖技术路径研究2 青岛奥帆中心周边区域多能互补近零碳研究3 寒冷地区集成装配式的被动式超低能耗建筑的探索及其本土化研究--以山东为例"4 公共机构建筑机电系统调适研究

来源：中国科学报2020-05-25

此外，面向国家微纳制造产业的重大需求，金属电沉积、电聚合、腐蚀和刻蚀等界面电化学过程，将在微纳机电系统、微纳结构功能器件、半导体晶圆抛光、高端电子制造（芯片大马士革铜互连、超大规模集成电路封装和集成中的电子电镀

来源：IESPLAZA综合能源服务平台2020-04-09

综合能源服务公司通过管理和技术手段降低能耗，提供医院机电系统的运维服务，保障设备安全、稳定运行，同时根据实际发生的能耗费用分别向电力公司支付能源费用，或根据项目投资成本及节能效益情况与医院协商，双方获得一定比例的节能收益

来源：国家电网报2020-03-16

该项目全面深入开展无源光纤传感、低功耗mems（微机电系统）传感等新型光机电传感器技术研究，整体达到国际先进水平，在传感器微型化设计、抗电磁干扰选型、现场优化部署等方面取得实质性突破。

来源：《电力设备》2020-03-11

红外气体分析器的工作原理基于吸光度定律，从物理特征上可以划分为不分光型、分光型、傅立叶红外型以及基于微机电系统技术的微型红外气体分析器。

来源：湖北新闻news2020-02-21

复杂机电系统为气流装上“导航”叶建介绍说，各病房护理单元共有700多台套风机送、排风设备，通风系统就像给院内空气装上了“导航”，气流往哪里流动都进行了周密设计，通过对换气次数及送、排风量的控制，使污染区

来源：环球电镀网2020-02-19

当前，随着3d芯片、微机电系统（mems）和物联网等新的需求不断递增，未来电镀行业将在这些新的高端领域发挥更加突出的作用。...随着电镀工艺的进步和其他行业需求的增长，近年来电镀技术逐渐向电子、微机电系统和钢铁等行业发展。这对电镀的要求更高，也促进了电镀行业向集约化、规模化方向发展，并推动电镀行业技术不断进步。

来源：湖南工信厅2020-02-10

重点围绕信息通信、工业电子等应用领域，发展高性能、低功耗、低成本传感产品和敏感元器件，促进基于微机电系统等工艺的新型智能传感器研发，发展基于磁感、超声波等新原理的智能传感器。

来源：水利部网站2019-10-25

杨启祥强调，当前电厂建设任务依然十分繁重，机电系统设备逐步进厂，安装调试全面启动，电力生产运行工作迫在眉睫。

来源：北极星电力网2019-09-16

人工智能关键零部件方面，研发智能传感器及其集成关键技术，发展新型生物、气体、压力、流量、惯性、距离、图像、声学等智能传感器，推进基于微机电系统（mems）和互补金属氧化物半导体（cmos）集成等工艺的新型智能传感器研发

来源：长江设计院2019-08-28

电站厂房各系统复杂，设备种类繁多；同时本项目执行的标准体系非常严格，厂房空间紧凑；另外由于参与本工程的单位较多，且分别来自不同的国家，不可避免的导致设计执行过程中工作接触面多、接口划分复杂等问题，这更是对机电系统的设计和设备布置带来了较大的挑战

来源：中国科学报2019-08-12

吴忠帅告诉记者，微型储能器件主要包括微型电池和微型超级电容器，在微型机电系统、微型机器人、植入式医疗器件、射频识别标签、远程环境传感器、便携式和可穿戴电子产品，以及无线自供电微/纳米系统等方面提供可持续工作的动力源

来源：北极星环保网2019-07-30

集成电路用高性能硅基材料和特种电子气体等专用材料研发和产业化；光刻机、多线切割机、清洗机及cmp抛光机等关键设备研发和产业化；模拟及数模混合电路、微机电系统（mems）、高电压电路、射频电路等特色专用工艺生产线研发

来源：北极星风力发电网2019-07-01

聚焦大尺寸、窄线宽晶圆制造环节，与国内外集成电路龙头企业共建idm模式为主的存储芯片生产线，继续做好国际先进工艺foundry（晶圆代工线）引进，推动mems（微机电系统）、化合物半导体等多品种、小批量特殊工艺线建设

来源：河北省工信厅2019-04-16

集成电路用高性能硅基材料和特种电子气体等专用材料研发和产业化；光刻机、多线切割机、清洗机及cmp抛光机等关键设备研发和产业化；模拟及数模混合电路、微机电系统（mems）、高电压电路、射频电路等特色专用工艺生产线研发

来源：北极星输配电网2019-04-08

经营计划（一）全面实现企业经营目标任务2019年的工作总体任务是：以习近平新时代中国特色社会主义思想为指导，全面贯彻党的十九大精神，按照中央经济工作会议以及航空工业、机电系统工作会精神，坚持新发展理念，

来源：北极星输配电网2019-03-19

经营计划2019年的工作总体任务是：以习近平新时代中国特色社会主义思想为指导，全面贯彻党的十九大精神，按照中央经济工作会议以及航空工业、机电系统工作会精神，坚持新发展理念，坚持高质量发展，推进技术创新、

来源：北极星电力网2019-02-22

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来源：北极星输配电网2019-02-22

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来源：北极星储能网2019-02-01

在智能传感器领域，以低功耗、小型化、高性能为目标，重点发展基于mems(微机电系统)工艺的新型生物、气体、光学等智能传感器和集成化传感器，加快污染监测、数字燃气、智慧水务等基于传感技术的智能物联研发及产业化