来源：21ic2013-06-21

这款全新的联网系统包含adis16229 isensor无线振动传感器节点，它结合了双轴数字mems(微机电系统)加速度感测与先进的频域和时域信号处理技术。

来源：电子设计工程 李娜2013-04-28

现在的无线网络已经集成了网络技术、嵌入式技术、微机电系统(mems)及传感器技术并将internet从虚拟世界延伸到物理世界，从而将信息世界与人们生活的真实世界融合在一起，改变了人与自然交互的方式，满足了人们对无处不在的网络的需求

来源：北极星电力软件网2012-11-06

cmos工艺、接收灵敏度优于-100dbm、输出功率在-10～3dbm范围、最大功耗为25ma且支持消耗电流小于5a的低功耗监听模式的微波频段rfid标签/读写器芯片；基于cmos工艺的压力/加速度/陀螺仪微机电系统专用芯片等

来源：中国政府网2012-07-23

●产业化：实施集成电路、新型平板显示创新发展工程；推进led、微机电系统（mems）、智能传感器、新型电力电子器件以及金属有机源化学气相沉积（mocvd）装备等产业化。...●创新能力建设：建设集成电路装备及其生产系统集成开发等领域公共技术服务平台，建设微机电系统开发与应用实验室，建设完善led、电力电子、智能传感器、光电子等领域工程实验室，建设平板显示共性技术研发及公共服务平台

来源：北极星智能电网在线2012-06-12

公司自1982年与山东工业大学合作开发了我国第一台微机电力远动设备开始，企业进入了电力系统自动化领域。历经50多年的发展，公司已经拥有包括一个上市公司在内的16个权属企业，资产总额达24亿元。

来源：中电新闻网2012-06-08

目前，我国无线射频识别rfid产业市场规模超过100亿元，传感器生产和应用市场规模超过900亿元，仅微机电系统mems传感器市场规模就超过150亿元;通信设备制造业建成全球最大、技术先进的公共通信网和互联网

来源：中国高新技术产业导报2012-03-22

8.特种工艺与精密制造技术多维精密加工工艺，精密成型工艺，焊接、粘接、烧结等特殊连接工艺，微机电系统(mems)技术，精确可控热处理技术，精密锻造技术等。

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-20

所有研发工作同步进行，专案合作方将寻求最佳化太阳能发电系统电力利用率的方法，以半导体矽电池面板的功率管理元件和集中式太阳能电池的微机电系统为研发重点。

来源：新华网2012-03-07

所有研发工作同步进行，项目合作方将寻求优化光伏系统电能利用率的方法，以半导体电池光伏板的功率管理器件和集中式太阳能电池的微机电系统为研发重点。

来源：电子产品世界2012-03-02

所有研发工作同步进行，项目合作方将寻求优化光伏系统电能利用率的方法，以半导体电池光伏板的功率管理器件和集中式太阳能电池的微机电系统为研发重点。

来源：中国证券网2012-02-15

全国有1600多家企事业单位从事传感器的研制、生产和应用，年产量达24亿只，市场规模超过900亿元，其中， 微机电系统(mems)传感器市场规模超过150亿元;通信设备制造业具有较强的国际竞争力。

来源：工业和信息化部2012-02-14

全国有1600多家企事业单位从事传感器的研制、生产和应用，年产量达24亿只，市场规模超过900亿元，其中, 微机电系统(mems)传感器市场规模超过150亿元;通信设备制造业具有较强的国际竞争力。

来源：C114中国通信网2012-02-09

1.微机电系统(mems)微机电系统(microelectromechanical systems，缩写为mems)是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术，它的操作范围在微米范围内。

来源：互联网2011-11-30

广东省经信委、工信部电子工业标准化研究所、中科院微电子所、机械工业仪表所、浙江聚光科技有限公司、河南汉威电子股份有限公司等代表分别就区域物联网产业发展经验、国内外物联网标准化工作进展情况、微机电系统公共技术平台建设

来源：能源评论2011-11-07

也许随着生物技术和微机电技术的发展，我们可以制造出成本足以取代传统发电技术的新植物电池，但是就今天而言，就像ryu所说的那样，要制造一个有现实意义的发电设备，还有很多事要做。

来源：中国传动网2011-10-24

重点发展千万吨炼油百万吨乙烯或芳烃等重大工程自动化仪器仪表、先进传感器、射频识别系统(rfid)、互感器、避雷器、现场控制系统等精密仪器仪表，智能流量计、智能变送器、执行器、调节阀、分析仪器等智能仪表，以及工业综合型分散控制系统(dcs)、微机电系统

来源：北极星电力信息化网2011-10-10

李维平说，目前公司与国内的北大、南大、东大以及知名科研院所都建立了合作关系，拥有南京市mems(微机电系统)传感工程研究中心，是国内少有的掌握全部关键工艺技术的厂家。

来源：中国传动网2011-10-10

本次大会还审查并通过了《大型发电机变压器继电保护整定计算导则(修订)》、《750kv电力系统继电保护技术导则(修订)》、《变压器保护装置通用技术条件(修订)》、《 微机电动机保护装置通用技术条件(修订)

来源：全球电池网2011-10-08

这种太阳能电池采用晶体硅制成，在制造中加入了当今电子器件厂广泛使用的微机电系统（mems）。在同等条件下能产生同样多的电能，新型电池所需硅只有普通太阳能电池的1%。

来源：中国自动化网2011-09-23

北京航天微机电技术研究所始终关注功能安全整体解决方案。...2011年8月30日，中国航天科技集团第九研究院辖属的北京航天微机电技术研究所在北京成功举办了其自主研发的安全继电器系列新产品发布会。