来源：搜狐汽车2017-04-21

制备多孔结构硅的常用方法有模板法、刻蚀法和镁热还原法。近年来，镁热还原氧化硅制备硅基材料的方法引起了研究者的广泛关注。

来源：北极星太阳能光伏网2017-04-20

干法黑硅制绒工艺为反应离子刻蚀法（reactiveionetching，rie），该方法是等离子体在电场作用下加速撞击硅片，在硅片表面形成纳米结构，从而降低多晶硅片的反射率。

来源：船电技术2017-04-19

如ge等采用化学刻蚀法制备了硼掺杂的硅纳米线，在2a/g充放电电流下，循环250周后容量仍可达到2000mah/g，表现出优异的电化学性能，归因于硅纳米线的锂脱嵌机制能有效缓解循环过程中的体积膨胀。

来源：材料人2017-04-18

4.智能隔膜hery等人报道了一种具有电压响应的智能隔膜系统，其将在au溅射轨道刻蚀的聚碳酸酯（pcte）衬底上形成的ppy(dbs)作为一种智能隔膜。

来源：新能源前线2017-04-07

制备多孔结构硅的常用方法有模板法、刻蚀法和镁热还原法。近年来，镁热还原氧化硅制备硅基材料的方法引起了研究者的广泛关注。

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2017-03-20

其中，专门为解决金刚线多晶制绒难问题所开发的反应离子刻蚀（rie）技术，经过一年多的开发和优化，于今年3月份在客户现场一次成功，实现第一片实验片反射率做到10%以下，首次金刚线多晶2800片实验平均效率做到

来源：烯碳资讯2017-03-15

外延生长法该方法以单晶6h-sic 为原料，利用氢气刻蚀处理后，再在高真空下通过电子轰击加热，除去氧化物。...1 面向应用的石墨烯制备方法微机械剥离法geim 等利用氧等离子束先在高定向热解石墨表面刻蚀出宽20 m～2 mm、深5 m 的微槽，用光刻胶将其粘到玻璃衬底上进行焙烧，再用透明胶反复地从石墨上剥离出石墨薄片

来源：北极星环保网2017-02-06

高纯金属有机化合物(mo源)、高纯氨气、新型高效荧光粉等开发，生产型金属有机源化学气相沉积设备(mocvd)、氢化物气相外延(hvpe)等外延装备，高强度气体放电灯用大功率电子镇流器、感应耦合等离子体(icp)刻蚀机等芯片

来源：X一MOL资讯2017-02-03

其中，比较有趣的一篇是以石墨烯为基面通过等离子体刻蚀法制备的叉指型微型超级电容器。...从传统的涂布卷绕工艺到沉积、刻蚀、喷墨打印等技术的应用，柔性储能器件正在向精细化发展。延伸阅读：春晚供电秘密武器！全球最先进的磁悬浮飞轮储能装置2016年储能产业盘点：寻找储能的商业化市场

来源：北极星环保网2017-01-17

3.2刻蚀过程etchingprocess对电子元件及组件衬底表面进行选择性腐蚀或剥离的过程。3.3表面涂装surfacecoating为保护或装饰电子元件及组件，在其表面覆以连续膜层的过程。...5污染物排放控制要求5.1排气筒vocs排放限值清洗、刻蚀、表面涂装、烘干室排气应安装废气净化装置进行处理，其vocs的总去除效率应达到90%，排气筒排放的vocs排放限值应符合表1规定。

来源：北极星环保网2017-01-16

5污染物排放控制要求5.1排气筒挥发性有机污染物排放限值清洗、刻蚀、表面涂装、烘干室排气应安装废气净化装置进行处理，排气筒排放的vocs排放限值应符合表1规定。...3.9刻蚀过程etchingprocess对电子元件及组件衬底表面进行选择性腐蚀或剥离的过程。3.10表面涂装surfacecoating为保护或装饰电子元件及组件，在其表面覆以连续膜层的过程。

来源：北极星电力网2016-12-23

研究离子刻蚀光栅、等离子光源、低温超导与磁力应用等关键技术，开发高精度光谱仪、重金属分析仪、元素分析仪等分析测试仪器，高性能传感器技术，智能化仪表、精密监测和计量仪器，数字化非接触精密测量、无损检测系统装备

来源：新材料在线2016-12-19

图：(a)pdms薄膜改性铜箔在1macm-2下litfsi电解质中的库伦效率曲线 (b)以lifepo4为正极的全电池的循环性能曲线这种薄膜材料能够通过旋涂法和氢氟酸(hf)刻蚀进行制备。

来源：北极星电力网2016-11-29

（五）集成电路支持12英寸集成电路生产线设备，65nm/45nm/28nm刻蚀机，45nm薄膜设备、掺杂设备、互联设备、平坦化设备、清洗设备、工艺检测设备；先进封装圆片减薄设备、三维系统封装通孔设备、高密度倒装键合设备

来源：北极星风力发电网2016-11-16

结合互联网+协同制造理念，加快推广新一代太阳能光伏装备，形成包括电池片分选设备、硅片品质分选设备、清洗机、刻蚀机、烧结炉等产品的太阳能光伏产品智能制造成套解决方案，开发智能控制系统，进行生产系统集成，实现装备数字化与智能化升级

来源：北极星电力网2016-11-08

专栏2 太阳能科技创新发展内容应用推广：电池片分选设备、硅片品质分选设备、清洗机、刻蚀机、烧结炉等产品的数字化与智能化升级，高效太阳能晶体硅电池组件和太阳能电池片，太阳能热水系统、太阳能干燥系统、光热制冷系统...结合互联网+协同制造理念，加快推广新一代太阳能光伏装备，形成包括电池片分选设备、硅片品质分选设备、清洗机、刻蚀机、烧结炉等产品的太阳能光伏产品智能制造成套解决方案，开发智能控制系统，进行生产系统集成，实现装备数字化与智能化升级

来源：北极星电力网2016-11-01

智能终端系统级芯片（soc），云计算、物联网、大数据核心芯片，电力电子芯片，16/14nm先进制造工艺以及高压、射频、数模混合、微机电系统（mems）等特色制造工艺，高密度封装及3d微组装技术，光刻机、刻蚀机

来源：北极星环保网2016-11-01

智能终端系统级芯片（soc），云计算、物联网、大数据核心芯片，电力电子芯片，16/14nm先进制造工艺以及高压、射频、数模混合、微机电系统（mems）等特色制造工艺，高密度封装及3d微组装技术，光刻机、刻蚀机

来源：中国教育报-中国教育新闻网2016-10-31

日前，复旦大学光科学与工程系陆明课题组通过在p型单晶si(100)上扩散磷制备pn结，利用化学刻蚀方法在n型发射极中形成多孔黑硅，并利用该种黑硅材料制备出高效太阳能电池。

来源：VOCnews2016-10-26

低温等离子体已经被用于超细颗粒生产、废气处理、冶金提炼、刻蚀和材料表面处理等,它们当中许多已实现了工业化。但是利用低温等离子体处理挥发性有机废气并实现工业化的却极为鲜见。