北极星
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      来源:《中国电子报》2007-03-14

      在6-8英寸用光刻机、刻蚀机、离子注入机、立式扩散炉、快速热处理设备,氧化扩散设备、化学腐蚀设备、硅片清洗设备、划片机、键合机、集成电路自动封装系统等设备实用化的基础上,提供批量供应。

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