来源：中国工程院院刊2021-02-01

对于基于微机电系统（mems）的全方位高分辨多波多分量地震勘探技术，目前尚不具备实验测试等基础研发条件。

来源：北极星固废网2021-02-01

坚持“龙头引领、高端突破、全链延伸”，协同开展新型显示、5g通信、mems智能传感、新能源、新型建材等硅基产业链锻长板补短板。

来源：工信部2021-02-01

鼓励建设专用电子元器件生产线，为mems传感器、滤波器、光通信模块驱动芯片等提供流片服务。建设创新创业孵化平台。...重点发展小型化、低功耗、集成化、高灵敏度的敏感元件，温度、气体、位移、速度、光电、生化等类别的高端传感器，新型mems传感器和智能传感器，微型化、智能化的电声器件。功能材料类元件。

来源：粉体网2020-11-05

不仅如此，很多经过物理/化学气相沉积（pvd/cvd）制备的全固态电池，其整体厚度可能只有几十个微米，因此就可以制成非常小的电源器件，整合到mems（微机电系统）领域中。

来源：国家电网报2020-11-03

建成兆瓦级港口岸电无线供电系统，提高船舶岸电安全性及灵活性；全面形成“安全智能”的园区高可靠能源保障业态，建成源网荷储协调调控体系，实时控制策略单次计算时间小于3秒，部署首套具备自主知识产权的微机电（mems

来源：国家电网报2020-11-03

建成兆瓦级港口岸电无线供电系统，提高船舶岸电安全性及灵活性；全面形成“安全智能”的园区高可靠能源保障业态，建成源网荷储协调调控体系，实时控制策略单次计算时间小于3秒，部署首套具备自主知识产权的微机电（mems

来源：国家电网报2020-11-03

建成兆瓦级港口岸电无线供电系统，提高船舶岸电安全性及灵活性；全面形成“安全智能”的园区高可靠能源保障业态，建成源网荷储协调调控体系，实时控制策略单次计算时间小于3秒，部署首套具备自主知识产权的微机电（mems

来源：能见Eknower2020-09-10

博士毕业后，他先后在国际半导体设备与材料协会（semi）产业研究与统计部、北京麦健陆顾问有限公司等公司从事mems、光伏、led等行业的数据统计与分析师、副总裁等工作。

来源：金研社2020-08-25

8英寸产品价值链中，中环8英寸产品围绕着测试片和正片，mems、igbt中环是全覆盖的，我们的品种是全世界品种最全的之一。

来源：中国工程科学2020-08-07

基于微机电系统（mems），有望实现气溶胶质量浓度与粒径谱分布的高灵敏度测量。

来源：环球网2020-07-06

近年来，低功耗物联网（lpwan）、分布式光纤传感器（dfs）和微机电传感器（mems）的发展，使我们有可能以极低的成本，广泛部署分布式传感器，实现新的基础设施运营逻辑。...我们选择了在地埋管道中缠绕分布式光纤传感器和埋入mems传感器，并引入无线供电和传输等技术，通过对传统地下管道的低成本适度改造，实现了整个地下管网全面覆盖的温、压、流和泄漏等故障以及水质的感知，可大大降低管网风险

来源：北极星太阳能光伏网2020-06-30

2006-2008年在国际半导体设备与材料协会（semi）产业研究与统计部，从事mems，光伏，led等行业的数据统计与分析。2008-2012就职于北京麦健陆顾问有限公司，任资深分析师，副总裁。

来源：中商产业研究院2020-06-01

纳米、薄膜、厚膜技术等新材料制备技术的成功应用为气体传感器实现新功能提供了条件；同时，凭借mems技术，国际先进智能气体传感器已能够在一个小型封装内集成气体传感、信号采集、信息处理、校准数据存储、温度补偿以及数字接口等功能

来源：河北省人民政府2020-04-24

大力发展第三代半导体材料及器件，支持碳化硅、氮化镓单晶及外延研发产业化，推进高端传感器、光机电集成微系统（mems）、光通信器件等产品研发及产业化，壮大功率器件及微波集成电路产业。...创新成果转化体制机制，激活中电科13所、54所、中船重工718所创新资源，推进第三代半导体材料、微电子机械系统（mems）、数字集群无线通信系统、卫星应用通信系统、先进复合材料、特种电子气体、制氢装备等重大科技成果产业化

来源：北极星输配电网2020-04-24

大力发展第三代半导体材料及器件，支持碳化硅、氮化镓单晶及外延研发产业化，推进高端传感器、光机电集成微系统（mems）、光通信器件等产品研发及产业化，壮大功率器件及微波集成电路产业。...创新成果转化体制机制，激活中电科13所、54所、中船重工718所创新资源，推进第三代半导体材料、微电子机械系统（mems）、数字集群无线通信系统、卫星应用通信系统、先进复合材料、特种电子气体、制氢装备等重大科技成果产业化

来源：北极星输配电网2020-04-22

重点针对泛在电力物联网关键技术及典型应用开展研究， 具体包括： 泛在电力物联网体系架构； 高频局部放电传感器、 超声波局部放电传感器、 mems 微纳振动传感器、 变压器内部环境多参量光学传感器等新型传感技术...多元用户供需互动用电1.1 泛在电力物联网关键技术（共性关键技术类）研究内容： 重点针对泛在电力物联网关键技术及典型应用开展研究， 具体包括： 泛在电力物联网体系架构； 高频局部放电传感器、 超声波局部放电传感器、 mems

来源：北极星储能网2020-03-31

江苏大学湖南中车时代电动汽车股份有限公司天津力神电池股份有限公司中国科学院上海有机化学研究所（盐城）新材料研发中心主要完成人：徐晓明 丁荣军 高俊奎 赵经纬 汪 伟 宫 燃 肖 业 金慧芬 黄 河四、省科学技术三等奖（147项）11．面向物联网应用的mems

来源：北极星储能网2020-03-24

新用地项目扶持资金的审批和拨付流程3.关于新用地项目“七通一平”的落实标准附件1淄博高新区产业鼓励发展指导目录一类项目一、智能制造1、电子信息产业（1）芯片设计：集成电路设计，分立器件设计，功率器件及模块设计，mems

来源：北极星风力发电网2020-03-19

、诸暨市星空航空产业基地项目▲409、三花新能源汽车部件有限公司三花新能源汽车零部件产业园项目（绍兴）410、浙江旭昌昇装备科技有限公司年产800台智能精密高速压力机产业化项目（绍兴）411、中芯绍兴mems

来源：北极星电力网2020-03-19

、诸暨市星空航空产业基地项目▲409、三花新能源汽车部件有限公司三花新能源汽车零部件产业园项目（绍兴）410、浙江旭昌昇装备科技有限公司年产800台智能精密高速压力机产业化项目（绍兴）411、中芯绍兴mems