来源：河南省发展和改革委员会2021-03-25

套大型环保筒仓及条形料场加工平台系统、200套电厂脱硫废水处理管膜框架项目河南聚能电池有限公司碱性电池生产项目河南金石普惠科技有限公司智能生产线项目年产180万台无功补偿装置、仪器仪表项目新东区智能制造产业园新乡市mems

来源：北极星太阳能光伏网整理2021-03-17

集成电路和ppak封装、mems封测增长较快，销售额和销售量创新高。国家战略“碳达峰和碳中和”利好子公司苏州晶银新材料科技有限公司销售量同比大幅增长且环比上年四季度正增长。

来源：北极星电力网2021-03-11

重点发展:功率器件，微机电系统(mems)传感器，模拟/数模混合芯片，存储芯片，人工智能芯片，硅基光电芯片等半导体;有源矩阵有机发光二极管(amoled)、微型发光二极管(microled)等面板及下游

来源：中国能源报2021-03-10

南方电网数字电网研究院有限公司智能传感与芯片技术负责人李鹏在接受本报记者采访时表示：“目前我国智能传感领域在新材料、磁阻芯片、微型传感器集成技术、低功耗mems技术等方面，已具备重要的研究基础和核心优势

来源：美国菲力尔公司2021-03-09

声像仪通常采用mems（微机电系统）型麦克风，因其性能出色、稳定性强、功耗较低，并且尺寸较小。...mems型麦克风通常能收录较大的噪音（通常超过120db(a)），但是其自噪声水平较高，因此单个麦克风无法收录最安静的声级。然而，这种自噪声可通过结合多个麦克风的信号消除。

来源：上海市人民政府2021-03-03

智能传感器及物联网，加快推动国家智能传感器创新中心、传感器工程检测验证服务平台、8英寸mems工艺制造平台等平台建设，深化产学研用，加快培育孵化新兴企业；以物联网应用为导向，加快智能传感器在汽车电子、医疗电子

来源：中国工程院院刊2021-02-01

对于基于微机电系统（mems）的全方位高分辨多波多分量地震勘探技术，目前尚不具备实验测试等基础研发条件。

来源：北极星固废网2021-02-01

坚持“龙头引领、高端突破、全链延伸”，协同开展新型显示、5g通信、mems智能传感、新能源、新型建材等硅基产业链锻长板补短板。

来源：工信部2021-02-01

鼓励建设专用电子元器件生产线，为mems传感器、滤波器、光通信模块驱动芯片等提供流片服务。建设创新创业孵化平台。...重点发展小型化、低功耗、集成化、高灵敏度的敏感元件，温度、气体、位移、速度、光电、生化等类别的高端传感器，新型mems传感器和智能传感器，微型化、智能化的电声器件。功能材料类元件。

来源：粉体网2020-11-05

不仅如此，很多经过物理/化学气相沉积（pvd/cvd）制备的全固态电池，其整体厚度可能只有几十个微米，因此就可以制成非常小的电源器件，整合到mems（微机电系统）领域中。

来源：国家电网报2020-11-03

建成兆瓦级港口岸电无线供电系统，提高船舶岸电安全性及灵活性；全面形成“安全智能”的园区高可靠能源保障业态，建成源网荷储协调调控体系，实时控制策略单次计算时间小于3秒，部署首套具备自主知识产权的微机电（mems

来源：国家电网报2020-11-03

建成兆瓦级港口岸电无线供电系统，提高船舶岸电安全性及灵活性；全面形成“安全智能”的园区高可靠能源保障业态，建成源网荷储协调调控体系，实时控制策略单次计算时间小于3秒，部署首套具备自主知识产权的微机电（mems

来源：国家电网报2020-11-03

建成兆瓦级港口岸电无线供电系统，提高船舶岸电安全性及灵活性；全面形成“安全智能”的园区高可靠能源保障业态，建成源网荷储协调调控体系，实时控制策略单次计算时间小于3秒，部署首套具备自主知识产权的微机电（mems

来源：能见Eknower2020-09-10

博士毕业后，他先后在国际半导体设备与材料协会（semi）产业研究与统计部、北京麦健陆顾问有限公司等公司从事mems、光伏、led等行业的数据统计与分析师、副总裁等工作。

来源：金研社2020-08-25

8英寸产品价值链中，中环8英寸产品围绕着测试片和正片，mems、igbt中环是全覆盖的，我们的品种是全世界品种最全的之一。

来源：中国工程科学2020-08-07

基于微机电系统（mems），有望实现气溶胶质量浓度与粒径谱分布的高灵敏度测量。

来源：环球网2020-07-06

近年来，低功耗物联网（lpwan）、分布式光纤传感器（dfs）和微机电传感器（mems）的发展，使我们有可能以极低的成本，广泛部署分布式传感器，实现新的基础设施运营逻辑。...我们选择了在地埋管道中缠绕分布式光纤传感器和埋入mems传感器，并引入无线供电和传输等技术，通过对传统地下管道的低成本适度改造，实现了整个地下管网全面覆盖的温、压、流和泄漏等故障以及水质的感知，可大大降低管网风险

来源：北极星太阳能光伏网2020-06-30

2006-2008年在国际半导体设备与材料协会（semi）产业研究与统计部，从事mems，光伏，led等行业的数据统计与分析。2008-2012就职于北京麦健陆顾问有限公司，任资深分析师，副总裁。

来源：中商产业研究院2020-06-01

纳米、薄膜、厚膜技术等新材料制备技术的成功应用为气体传感器实现新功能提供了条件；同时，凭借mems技术，国际先进智能气体传感器已能够在一个小型封装内集成气体传感、信号采集、信息处理、校准数据存储、温度补偿以及数字接口等功能

来源：河北省人民政府2020-04-24

大力发展第三代半导体材料及器件，支持碳化硅、氮化镓单晶及外延研发产业化，推进高端传感器、光机电集成微系统（mems）、光通信器件等产品研发及产业化，壮大功率器件及微波集成电路产业。...创新成果转化体制机制，激活中电科13所、54所、中船重工718所创新资源，推进第三代半导体材料、微电子机械系统（mems）、数字集群无线通信系统、卫星应用通信系统、先进复合材料、特种电子气体、制氢装备等重大科技成果产业化