来源：光伏們2019-12-05

另外，目前国内异质结电池设备经过验证的厂家极少，技术差异也比较大，未来异质结电池核心装备尤其是pecvd一定会形成设备技术差异和门槛。除设备之外，电池成本也还需进一步下降。...目前国产设备正在积极进入，捷佳伟创、迈为、理想、捷造光电、钧石等公司已经在清洗、pecvd、pvd、丝印等不同的环节具备一定产品能力，随国产设备逐渐成熟，异质结设备的成本有望大幅降低。

来源：摩尔光伏 中信证券2019-12-04

与perc工艺的区别在于：1）非晶硅薄膜沉积环节，使用pecvd或rpd沉积本征氢化非晶硅层和p型/n型氢化非晶硅层；2）镀膜环节使用pvd沉积tco导电膜；3）印刷电极方面需使用低温银浆；4）烧结过程需控制低温烧结

来源：中国电力报2019-11-29

4个独立的pecvd模块处理双面异质结工艺，配备两套载板循环系统，能够快速生产、避免交叉污染。...恒温控制工艺环境，保证了量产工艺的稳定性，同时，每个pecvd模块都具有独立的特气控制系统，并具有快速rf匹配技术。

来源：太阳能杂志2019-11-27

我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、太阳电池与光伏组件的生产，到相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设，以及与光伏产业链相应的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力；部分产品，如湿法清洗设备、制绒机、扩散炉、管式pecvd

来源：电新产业研究2019-11-26

以捷佳伟创、迈为、金辰为代表的国内设备厂商在积极研发相关设备并取得一定进展，清洗制绒、pvd/rpd、丝网印刷都已突破，pecvd仍需进步，单位资本开支有望大幅下降。

来源：光伏們2019-11-20

随后在3月14日，继在美国和德国，韩华新能源又以相同的原因，向澳大利亚联邦法院对晶科、隆基提起专利侵权诉讼，称专利权利要求不限于任何特定的制造方法，例如原子层沉积（ald）或等离子体增强化学沉积（pecvd

来源：光伏测试网2019-11-18

随后，梅耶伯格站队隆基:“韩华声称是基于使用原子层沉积（ald），与隆基使用的制造工艺不同；目前隆基隆基采用的pecvd技术，专利采用的是ald技术。”

来源：光伏测试网2019-11-15

行业专家认为，技术上看，目前隆基、晶科等公司的perc技术产品采用的是pecvd技术，与涉案韩华专利采用的ald技术技术方法并不一致；此外韩华诉讼使用的专利是通过从其他研究机构经多次转移购买所得，其专利权与其他公司共有

来源：光伏們2019-11-14

王文静认为，技术融合是未来的发展趋势，如果hjt和topcon趋于融合，未来的设备发展也会趋于使用全平面型的技术制备电池，主要设备为pecvd和pvd，一台pecvd机台即可制备两种技术所需的非晶硅、微晶硅

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2019-10-24

第一台国产软着陆扩散炉、第一台管式pecvd，业内首条高效perc电池智能制造生产示范线……拥有如此多“第一”的湖南红太阳光电科技有限公司（简称“红太阳光电”）是怎样做到的？...也许正是基于对技术设备的大量研发投入，与涵盖光伏全产业链设备的绝对实力，在今年九月份，红太阳光电公司才能获得全球市值最高光伏企业的青睐，成功收获pecvd、氧化退火设备大单，提前奠定了红太阳光电在2020

来源：PV兔子2019-10-18

传统的电池生产流程，包括从硅片出发经历清洗制绒、扩散制结、刻蚀、去除磷硅玻璃、pecvd镀反射膜、丝网印刷、烘干烧结、分类检测等工艺，完成电池的制造。...非晶硅沉积主要使用pecvd方法。tco薄膜沉积目前有两种方法：rpd(反应等离子体沉积)和pvd（物理化学气象沉积）。住友重工拥有rpd的专利，而pvd技术发展成熟，提供给设备的厂家较多。

来源：摩尔光伏2019-10-18

fraunhofer研究所采用n型fz硅片，正面采用普通金字塔制绒，硼扩散，等离子体辅助的原子层沉积(ald)氧化铝［11］与等离子体化学气相沉积(pecvd)氮化硅的叠层结构起到钝化和减反效果。...背面采用上述topcon技术(基于硝酸热氧化化学工艺)，pecvd沉积n+掺杂的多晶硅，接着通过进行高温(70～900℃)退火和氢钝化改善硅薄膜的形貌与带隙，最后正、反金属化采用电子束蒸发的ti/pd/

来源：厚济天下2019-10-17

单独来看，背钝化投资额最大，1gw投资额为1.08亿元；管式pecvd第二，1gw需要设备数量为11台，投资额0.46亿元；制绒1gw需要设备5台，投资额0.34亿元；印刷线1g需要设备5台，投资额为0.58...具体到细分设备，2019-2021年市场空间：制绒设备21.4亿元、扩散设备13.9亿元、刻蚀设备9.5亿元，退火设备13.9亿元，背钝化设备63亿元、pecvd设备28.4亿元、印刷线36.5亿元、激光开槽设备

来源：挖贝网2019-10-17

主要产品包括pecvd及扩散炉等半导体掺杂沉积工艺光伏设备、清洗、刻蚀、制绒等湿法工艺光伏设备以及自动化（配套）设备、全自动丝网印刷设备等晶体硅太阳能电池生产工艺流程中的主要及配套设备的研发、制造和销售

来源：上海证券2019-10-17

目前hjt电池设备以国外为主，国产企业加速布局，在其中最重要的pecvd、rpd和pvd设备，国内企业都已经有产品推出，并且在下游客户应用。

来源：电新产业研究2019-10-15

2.hjt降本的理论空间较大，具体进展需要再跟踪：hjt电池生产只有四步，清洗制绒、pecvd镀本征和掺杂非晶硅薄膜、pvd镀金属导电膜、丝印烧结。...理论上分析，hjt电池生产流程简单，制备过程只有清洗制绒、pecvd镀本征和掺杂非晶硅薄膜、pvd镀金属导电膜、丝印烧结等步骤（较现行路线少了3-4个步骤），未来hjt生产也将更智能化，长期降本可能主要集中在耗材

来源：摩尔光伏2019-10-14

为方便pecvd开腔pm的需要，"灰区"内也可设置可移动式微环境工作罩（mini environment），配置按需使用的排风装置，从而大大减轻pecvd工艺设备对厂务环境的要求，降低生产成本。

来源：光伏們2019-09-29

在技术提升上，“除了在电池技术方面的改进和突破外，特别是在pecvd/pvd镀膜、金属化和氢钝化等关键制程方面，东方日升已经形成了自己的独特技术。

来源：雪球2019-09-24

的pecvd来说并无障碍。...王玉明认为，提升pecvd m6大硅片产能，需要增大反应管内径、加长恒温区以及提升单管产能三方面进行设计改进；同时他预测，单管产能504片或630片m6大硅片将成为未来pecvd的主流。

来源：光伏头条2019-09-24

的pecvd来说并无障碍。...王玉明认为，提升pecvd m6大硅片产能，需要增大反应管内径、加长恒温区以及提升单管产能三方面进行设计改进；同时他预测，单管产能504片或630片m6大硅片将成为未来pecvd的主流。