来源：氢智会2021-01-13

措施11：目标明确地实施清洁汽车指令（cvd）， 用于支持城市交通中的零排放汽车。措施12：在欧洲通行收费指令的框架下采用货运卡车根据碳排放差异定价的方式，鼓励采用环保型驱动装置。

来源：集邦新能源网2021-01-12

非晶硅沉积环节，射频化学气相沉积（pecvd 工艺的一种）的材料成本约 0.03~0.04 元/片。

来源：打板战线2021-01-11

捷佳伟创：国内领先的晶体硅太阳能电池生产设备供应商，主要产品是管式pecvd，罐式高温扩散炉，单多晶制绒设备。北方华创：泛半导体领域的刻蚀机，pvd,cvd扩散炉等，广泛应用于光伏，半导体

来源：贝哲斯咨询 Market Monitor2021-01-11

hit生产线核心设备有望近期实现国产化：hit的4大工艺步骤“制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、tco制备、电极制备”，对应的设备分别为清洗制绒设备、cvd设备（pecvd为主、hwcvd较少）、pvd/rpd

来源：平安证券2021-01-07

2020年12月，捷佳伟创pecvd5500设备出厂交付；迈为股份发布新一代pecvd，产能达到8000片/h。...从反应腔角度，pecvd可以分为单真空和双真空结构；从传输角度，pecvd可以分为滚轮传输和机械手传输。单真空vs双真空：单真空是一个开放式的腔体，镀膜时，等离子体充满全部腔体。

来源：光伏新闻2020-12-31

该企业在炭炭材料一件难求的前提下，对pecvd设备的采购按下暂停键，说明该企业对未来的炭炭材料市场不看好。...由于炭炭材料需要浸渍或cvd工艺沉积炭，生产周期长，生产效率低，因此以湖南金博、烟台凯泊、美兰德等为首的炭炭材料企业订单都排到了明年上半年。

来源：集邦新能源网2020-12-22

当前技术路线中，隧穿氧化物及多晶硅沉积主要采用lpcvd设备，国产设备已较为成熟，捷佳伟创、北方华创、拉普拉斯等国内厂商均可提供，此外，peald设备无锡微导已实现量产。

来源：北极星太阳能光伏网2020-12-21

据其半年报显示，迈为股份在hit国产设备上率先突破丝印设备、成功研制板式pecvd，并具备整线供应能力。不仅在光伏激光设备领域订单有一定幅度增加，并在oled激光设备领域也取得关键性突破。

来源：北极星太阳能光伏网2020-12-10

公告称，中来运用了新一代j-topcon 2.0技术，该技术使用了全球领先的popaid工艺技术，相较于采用lpcvd的topcon1.0技术，j-topcon2.0技术工序少、无绕镀、镀膜厚度可实现±

来源：北极星太阳能光伏网2020-12-07

、pecvd镀膜设备、单多晶制绒清洗成套设备及技术也获得批复。...苏州太阳井新能源有限公司新建900片/年太阳能硅片金属化研发实验室项目、艺丰光电年产1亿片8.8英寸太阳能级晶硅片生产线技术改造项目、无锡琨圣科技年产150台套太阳能硅片topcon制绒清洗、链式清洗、扩散、lpcvd

来源：捷佳伟创2020-11-23

捷佳伟创作为光伏设备行业的领先企业，在perc电池设备技术上已建立明显领先优势，在perc+环节通过与客户深度合作已取得突破；在高效hjt环节，包括rpd系列和先进pecvd在内已具备电池设备整线交付能力

来源：粉体网2020-11-05

不仅如此，很多经过物理/化学气相沉积（pvd/cvd）制备的全固态电池，其整体厚度可能只有几十个微米，因此就可以制成非常小的电源器件，整合到mems（微机电系统）领域中。

来源：北极星太阳能光伏网2020-10-20

据了解，背钝化膜的制备是perc电池最为核心的工艺步骤，主要分为以韩华为代表的原子层沉积（ald），和以梅耶博格为代表的板式（pecvd）沉积方式，隆基采用的是pecvd技术。

来源：格隆汇2020-10-13

无锡松煜科技有限公司是从事高端智能装备开发、生产、销售的光伏设备及半导体工艺设备制造商，目前主要产品为原子层沉积设备(ald)、扩散设备、氧化设备和pecvd设备。

来源：安信证券2020-10-13

perc即是随着al2o3介质膜产业化制备技术不断成熟，pecvd、ald等镀膜设备 出现后，厂家开始导入并快速扩张产能。hit设备投资较高，非晶硅镀膜占主要价值。

来源：太平洋证券2020-10-12

国产设备进口替代不断成熟， 此前宣城异质结项目的招标中，根据招标文件，迈为中标的 pecvd 产能已达到 8000 片/小时@m6。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-09-30

据了解，背钝化膜的制备是perc电池最为核心的工艺步骤，主要分为以韩华为代表的原子层沉积（ald），和以梅耶博格为代表的板式（pecvd）沉积方式，隆基采用的是pecvd技术。

来源：北极星太阳能光伏网2020-09-30

，形成新型电池湿法设备及单层载板式非晶半导体薄膜cvd设备生产基地。...该项目计划建设期为2年，完全达产后每年新增20gwperc+高效新型电池湿法设备，新增20gwhjt超高效新型电池的湿法设备以及单层载板式非晶半导体薄膜cvd。

来源：pv-magazine2020-09-27

meyer burger通过其helia pecvd平台为a-si钝化部署了等离子体增强化学气相沉积（pecvd）。...该公司在pecvd工艺方面拥有丰富的经验，在最初的perc投资周期开始之时就广泛提供了该技术。

来源：建约车评2020-09-24

负极特斯拉现在硅氧+碳负极的成本是6.6美元/kwh，特斯拉认为通过涂覆之后的硅负极，不需要cvd沉积，成本可以降至1.2美元/kwh。负极部分可以降低5%的成本。