来源：北极星氢能网2021-09-06

高端化工、高端铝材、轻工纺织等优势产业转型升级，重点培育新一代信息技术、高端装备、新能源新材料、新能源汽车、节能环保、生物医药、航空航天等战略性新兴产业，支持建设济南高端软件和先进半导体、淄博mems（微机电系统

来源：全国公共资源交易平台2021-09-03

房屋建筑工程包括地上建筑面积、地下建筑面积、层高、户型及户数、停车位数量或比例等;市政工程包括道路宽度、河道宽度、污水处理能力等)、建设标准(房屋建筑工程包括屋面、地面、墙体备种主要装饰面材的材质种类、规格和品牌档次,机电系统包含的类别

来源：北极星环保网2021-08-26

以高性能、国产化为方向，大力发展压力、流量、气体、生物、加速度等先进智能传感器，突破智能传感器模拟仿真、信号处理、软件算法等关键技术，支持器件设计与制造工艺深度结合，支持微机电系统（mems）器件国产化代工平台

来源：北极星环保网2021-08-04

面向智能制造、工业互联网、智慧城市等领域对传感器的迫切需求，推动现有传感器领域企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）架构的传感器产品、组件及生产工艺研发，不断增加先进传感器产品供给

来源：青海省公共资源交易网2021-06-24

房屋建筑工程包括地上建筑面积、地下建筑面积、层高、户型及户数、停车位数量或比例等;市政工程包括道路宽度、河道宽度、污水处理能力等)、建设标准(房屋建筑工程包括屋面、地面、墙体备种主要装饰面材的材质种类、规格和品牌档次,机电系统包含的类别

来源：安徽省人民政府2021-04-23

做强存储、驱动及射频、微机电系统等专用/通用芯片制造、封装测试、第三代半导体材料产业链，提升集成电路领域核心竞争力。积极布局微显示、量子点、全息、激光等显示技术，推动新型显示产业高质量发展。

来源：安徽省人民政府2021-04-23

做强存储、驱动及射频、微机电系统等专用/通用芯片制造、封装测试、第三代半导体材料产业链，提升集成电路领域核心竞争力。积极布局微显示、量子点、全息、激光等显示技术，推动新型显示产业高质量发展。

来源：安徽省人民政府2021-04-23

做强存储、驱动及射频、微机电系统等专用/通用芯片制造、封装测试、第三代半导体材料产业链，提升集成电路领域核心竞争力。积极布局微显示、量子点、全息、激光等显示技术，推动新型显示产业高质量发展。

来源：唐山市工业和信息化局2021-04-22

裂片机及cmp抛光机等关键设备；电源管理芯片、北斗导航芯片、电力电子（igbt）芯片、服务器芯片、太赫兹芯片、5g基站芯片、高端传感器芯片，以及滤波器、功率放大器等关键芯片器件；模拟及数模混合电路、微机电系统

来源：河北省工信厅2021-04-01

裂片机及cmp抛光机等关键设备；电源管理芯片、北斗导航芯片、电力电子（igbt）芯片、服务器芯片、太赫兹芯片、5g基站芯片、高端传感器芯片，以及滤波器、功率放大器等关键芯片器件；模拟及数模混合电路、微机电系统

来源：河北工信厅2021-03-30

裂片机及cmp抛光机等关键设备；电源管理芯片、北斗导航芯片、电力电子（igbt）芯片、服务器芯片、太赫兹芯片、5g基站芯片、高端传感器芯片，以及滤波器、功率放大器等关键芯片器件；模拟及数模混合电路、微机电系统

来源：河北省工业和信息化厅2021-03-30

裂片机及cmp抛光机等关键设备；电源管理芯片、北斗导航芯片、电力电子（igbt）芯片、服务器芯片、太赫兹芯片、5g基站芯片、高端传感器芯片，以及滤波器、功率放大器等关键芯片器件；模拟及数模混合电路、微机电系统

来源：北极星氢能网2021-03-29

裂片机及cmp抛光机等关键设备；电源管理芯片、北斗导航芯片、电力电子（igbt）芯片、服务器芯片、太赫兹芯片、5g基站芯片、高端传感器芯片，以及滤波器、功率放大器等关键芯片器件；模拟及数模混合电路、微机电系统

来源：河北省工信厅2021-03-26

裂片机及cmp抛光机等关键设备；电源管理芯片、北斗导航芯片、电力电子（igbt）芯片、服务器芯片、太赫兹芯片、5g基站芯片、高端传感器芯片，以及滤波器、功率放大器等关键芯片器件；模拟及数模混合电路、微机电系统

来源：北极星电力网2021-03-11

重点发展:功率器件，微机电系统(mems)传感器，模拟/数模混合芯片，存储芯片，人工智能芯片，硅基光电芯片等半导体;有源矩阵有机发光二极管(amoled)、微型发光二极管(microled)等面板及下游

来源：美国菲力尔公司2021-03-09

声像仪通常采用mems（微机电系统）型麦克风，因其性能出色、稳定性强、功耗较低，并且尺寸较小。

来源：北极星电力网2021-02-19

87 电站配件生产线扩建及研发88 数控机床等设备生产基地89 中科煜宸智能制造总部产业化基地90 国电南瑞智慧物联装备生产91 中电互联ems智能制造92 格力电器（南京）中央空调93 中航金城航空机电系统

来源：北极星环保网2021-02-19

87 电站配件生产线扩建及研发88 数控机床等设备生产基地89 中科煜宸智能制造总部产业化基地90 国电南瑞智慧物联装备生产91 中电互联ems智能制造92 格力电器（南京）中央空调93 中航金城航空机电系统

来源：中国工程院院刊2021-02-01

对于基于微机电系统（mems）的全方位高分辨多波多分量地震勘探技术，目前尚不具备实验测试等基础研发条件。.../纳机电系统、纳米传感器、纳米光纤）打造智能化油气开采特色技术体系；基于微型传感器构造透明电网技术研究及示范应用，支撑能源颠覆性技术发展。

来源：粉体网2020-11-05

不仅如此，很多经过物理/化学气相沉积（pvd/cvd）制备的全固态电池，其整体厚度可能只有几十个微米，因此就可以制成非常小的电源器件，整合到mems（微机电系统）领域中。