来源：OFweek 工控网2014-10-30

六、akusticaakustica是博世集团旗下全球唯一采用互补式金属氧化物半导体(cmos)制程制造微机电系统麦克风的设计公司。...七、sitime公司总部位于美国加州的sitime公司，成立于2004年底，该公司以其专利mems first和epi seal cmos技术为基础，整合mems(微机电)与cmos制程，生产可编程的矽振荡器产品

来源：OFweek 可穿戴设备网2014-09-10

飞思卡尔采用微机电系统(mems)支持传感技术。基于mems的传感器产品提供感应、处理、甚至控制周围环境的接口。飞思卡尔基于mems的传感器将非常小的机械和电子元件组合在单一芯片上。...其电子微机电及微加工单片集成技术处于世界领先的水平，也是全球消费类电子市场最大的加速度计生产商之一。美新独家拥有基于标准cmos流程的集成微机械加速度计的全部自主专利。

来源：北极星电力网2014-08-04

122-19897-6书名:三维电子封装的硅通孔技术作者:【美】john hlau(刘汉诚)著定价:148.0出版社:化学工业出版社出版时间: 2014-07内容简介:本书系统讨论了用于电子、光电子和微机电系统

来源：电子发烧友2014-07-09

信号(在at电源中及部分电源板上称p.g信号)为微机开机自检启动信号，为了防止开机时各路输出电路时序不定，cpu或各部件未进入初始化状态造成工作错误及突然停电时，硬盘磁头来不及移至着陆区造成盘片划伤，微机电源中均设置了

来源：工信部网站2014-06-25

大力发展模拟及数模混合电路、微机电系统(mems)、高压电路、射频电路等特色专用工艺生产线。增强芯片制造综合能力，以工艺能力提升带动设计水平提升，以生产线建设带动关键装备和材料配套发展。

来源：科学时报 作者：张娟2014-02-11

面向射频应用的无源组件该课题旨在开发与测试天线、电子互连、热扩散层、过滤器和微机电系统等无源组件在高频电子领域的不同应用。

来源：元器件交易网2014-01-06

led、微机电系统、智能传感器、新型电力电子器件以及金属有机源化学气相沉积装备的产业化进程将加速发展。我们认为《规划》的实施，对于电子元器件产业构成长期的利好。

来源：前瞻网2013-12-10

在医疗领域方面，新兴微机电系统传感器(mems)发展速度较快，表现抢眼。目前，医疗及生物医疗领域已经成为mems传感器最大的潜在市场。

来源：新华网2013-12-02

随着微机电系统的快速发展、便携式电子设备和无线传感网、物联网的广泛应用，微型化成为电子器件的重要发展方向，这就要求提供动力的器件也必须兼具小的体积和高的效率。

来源：中自网2013-11-06

此外，在汽车电子领域，igbt也已经代替达林顿管成为汽车点火器的首选器件;而意法半导体亚太区模拟、功率及微机电系统事业部总监宝罗尔在接受记者采访时则表示，大电流igbt也越来越多地应用到混合动力汽车的主转换器中

来源：中国工控网2013-10-23

随着半导体技术、微机电、移动通信、计算和现代网络技术的发展，诞生出了传感器网络技术，大量的、低成本的传感器节点组网使人们能够准确获取物理世界连续、直接、实时、真实的完整信息。

来源：CIOAge.com2013-09-24

在一定的阶段里，我国的信息化产业的发展将围绕重创新、抓应用、建环境、促发展、见效益，以制造业信息化行动为主线，大力发展新兴制造业和民营制造业，重点攻克深海载人潜水器、微机电系统(mems)、数据库管理系统及其应用

来源：www.cechina.cn2013-09-13

就单一的传感器而言，微传感器是指尺寸微小的传感器，如敏感元件的尺寸从微米级到毫米级、甚至达到纳米级，主要采用精密加工、微电子以及微机电系统技术，实现传感器尺寸的缩小;就集成的传感器而言，微传感器是指将微小的敏感元件

来源：中自网2013-08-30

它是新一代触屏智能机和机器人程序的福音，它能改善人机交互，生物成像和光学微机电系统(mems)等等。物联网机器人不像人的其他四个感官视觉，听觉，嗅觉和味觉在实验室中，触觉依然很顽固地难以被模仿。

来源：hc3602013-08-15

就单一的传感器而言，微传感器是指尺寸微小的传感器，如敏感元件的尺寸从微米级到毫米级、甚至达到纳米级，主要采用精密加工、微电子以及微机电系统技术，实现传感器尺寸的缩小;就集成的传感器而言，微传感器是指将微小的敏感元件

来源：上海辰汉电子2013-08-13

通过连接感知层的传感器、射频(rfid)、微机电系统(mems)、智能嵌入式终端，物联网网关的应用将遍及智能交通、环境保护、政府工作、公共安全、平安家居、智能消防、工业监测、环境监测、路灯照明管控、景观照明管控

来源：工控网(百站)2013-08-13

就单一的传感器而言，微传感器是指尺寸微小的传感器，如敏感元件的尺寸从微米级到毫米级、甚至达到纳米级，主要采用精密加工、微电子以及微机电系统技术，实现传感器尺寸的缩小;就集成的传感器而言，微传感器是指将微小的敏感元件

来源：赛迪网2013-08-12

就单一的传感器而言，微传感器是指尺寸微小的传感器，如敏感元件的尺寸从微米级到毫米级、甚至达到纳米级，主要采用精密加工、微电子以及微机电系统技术，实现传感器尺寸的缩小;就集成的传感器而言，微传感器是指将微小的敏感元件

来源：中国物流产品网2013-08-05

3.微机电系统(mems)微机电系统是指利用大规模集成电路制造工艺，经过微米级加工，得到的集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。...核心技术之感知层：传感器技术、射频识别技术、二维码技术、微机电系统1.传感器技术传感技术同计算机技术与通信技术一起被称为信息技术的三大技术。

来源：电气自动化技术网2013-07-16

重点发展高端传感器、mems(微机电系统)、智能传感器和传感器网节点、传感器网关;超高频rfid()、有源rfid和rfid中间件产业等，重点发展物联网相关终端和设备以及软件和信息服务。