来源：中华工控网2008-12-11

然而，据了解，多晶硅核心技术%26mdash;%26mdash;三氯氢硅还原法被垄断在美国、德国、日本等国家少数企业手中，中国企业很难获得关键技术。...生产多晶硅是一个提纯过程，在这个过程中，如果回收工艺不成熟，生产过程中产生的三氯氢硅、四氯化硅、氯化氢、氯气等有害物质极有可能外溢，存在重大的安全和污染隐患。

来源：证券市场周刊2008-06-20

洛阳中硅高科虽然2006年即正式投产，但因未能掌握回收三氯氢硅的核心工艺，至今无法实现700吨的设计产能。　　

来源：江苏省统计局2008-04-02

以徐州经济开发区光伏科技产业园为核心，以新沂工业硅原料基地、沛县三氯氢硅原料基地、邳州光伏配套产品基地为外围，支持艾德公司、台湾强茂集团、中美矽晶公司在徐州建设光伏项目、生产光伏产品，形成相互依托、配套发展的产业格局

来源：《IT经理世界》2007-03-12

，同时消耗大量电能，甚至需要建立专用电网、专用排污系统等，而未经处理回收的三氯氢硅、四氯化硅是一种有毒的液体，环境污染极为严重。 　　...从工业硅提纯高纯度多晶硅是一种高耗电、高污染的化工项目，涉及电力、煤炭、硅砂、氯气、氢气等多种主要原料，生产过程中会有大量废水、废液排出，如生产1000吨多晶硅会有三氯氢硅3500吨、四氯化硅4500吨废液产生