来源：北极星环保网2021-08-04

面向智能制造、工业互联网、智慧城市等领域对传感器的迫切需求，推动现有传感器领域企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）架构的传感器产品、组件及生产工艺研发，不断增加先进传感器产品供给...高性能mems压力、惯性等传感器，高性能压电传感器、高性能图像传感器、柔性智能传感器等。5g通信。智能终端：高性能射频前端器件与电路、多模滤波器、高能量密度异形柔性电池技术、高性能终端显示屏技术等。

来源：北极星氢能网2021-07-16

、加快应用为重点，推动物联网与制造业等领域融合应用，重点支持无线射频识别（rfid）、近距离无线通信（nfc）等感知技术发展，推动智能传感器可靠性设计与试验、模拟仿真、信号处理等关键技术攻关，突破硅基mems...加工技术、mems与互补金属氧化物半导体（cmos）集成、非硅模块化集成等工艺技术；推进在消费电子、汽车电子、工业控制、健康医疗等领域的规模化应用，提升国家智能传感器制造业创新中心公共服务能力，加快建设上海智能传感器产业园

来源：北极星电力网2021-07-08

发挥联芯、士兰微、瑞芯微等重点企业作用，加快发展高端芯片，突破28纳米以下先进制程工艺，推动mems传感器生产线建成投产。

来源：北极星太阳能光伏网（整理）2021-07-08

发挥联芯、士兰微、瑞芯微等重点企业作用，加快发展高端芯片，突破28纳米以下先进制程工艺，推动mems传感器生产线建成投产。

来源：北极星氢能网2021-07-08

发挥联芯、士兰微、瑞芯微等重点企业作用，加快发展高端芯片，突破28纳米以下先进制程工艺，推动mems传感器生产线建成投产。

来源：福建省人民政府2021-07-08

发挥联芯、士兰微、瑞芯微等重点企业作用，加快发展高端芯片，突破28纳米以下先进制程工艺，推动mems传感器生产线建成投产。

来源：北极星输配电网2021-07-07

发挥联芯、士兰微、瑞芯微等重点企业作用，加快发展高端芯片，突破28纳米以下先进制程工艺，推动mems传感器生产线建成投产。

来源：北极星环保网2021-07-07

发挥联芯、士兰微、瑞芯微等重点企业作用，加快发展高端芯片，突破28纳米以下先进制程工艺，推动mems传感器生产线建成投产。

来源：正星科技2021-05-18

2020年，日立信股份牵头成功申报了国家重点研发计划，专项研制新型mems氢气传感器，为新能源汽车提供更可靠的氢气检测模块。双方将在加氢站氢气安全及品质分析相关技术与产品研发领域开展深入合作。

来源：安徽省人民政府2021-04-23

重点开展先进工艺芯片制造技术、新型集成电路芯片、光通信芯片和高端芯片设计技术、集成电路核心设备、新型mems器件、eda软件等研发，开展系统级封装平台建设。人工智能。

来源：安徽省人民政府2021-04-23

重点开展先进工艺芯片制造技术、新型集成电路芯片、光通信芯片和高端芯片设计技术、集成电路核心设备、新型mems器件、eda软件等研发，开展系统级封装平台建设。人工智能。

来源：安徽省人民政府2021-04-23

重点开展先进工艺芯片制造技术、新型集成电路芯片、光通信芯片和高端芯片设计技术、集成电路核心设备、新型mems器件、eda软件等研发，开展系统级封装平台建设。人工智能。

来源：唐山市工业和信息化局2021-04-22

cmp抛光机等关键设备；电源管理芯片、北斗导航芯片、电力电子（igbt）芯片、服务器芯片、太赫兹芯片、5g基站芯片、高端传感器芯片，以及滤波器、功率放大器等关键芯片器件；模拟及数模混合电路、微机电系统（mems

来源：河北省工信厅2021-04-01

cmp抛光机等关键设备；电源管理芯片、北斗导航芯片、电力电子（igbt）芯片、服务器芯片、太赫兹芯片、5g基站芯片、高端传感器芯片，以及滤波器、功率放大器等关键芯片器件；模拟及数模混合电路、微机电系统（mems

来源：河北工信厅2021-03-30

cmp抛光机等关键设备；电源管理芯片、北斗导航芯片、电力电子（igbt）芯片、服务器芯片、太赫兹芯片、5g基站芯片、高端传感器芯片，以及滤波器、功率放大器等关键芯片器件；模拟及数模混合电路、微机电系统（mems

来源：河北省工业和信息化厅2021-03-30

cmp抛光机等关键设备；电源管理芯片、北斗导航芯片、电力电子（igbt）芯片、服务器芯片、太赫兹芯片、5g基站芯片、高端传感器芯片，以及滤波器、功率放大器等关键芯片器件；模拟及数模混合电路、微机电系统（mems

来源：北极星输配电网2021-03-30

公司获评国家技术创新示范企业，推出hz-ces储能系统、升级hz3000-mems能量管理系统；打造多能物联数据中心，上线水电及新能源集控服务平台、hznet-cp充电站运维管理服务平台、hzsw3000...公司hz3000-mems能量管理系统针对当前弃风弃光、负荷不稳和峰谷价差等问题，通过优化储能控制、分布式电源出力和负荷投退等，经济、高效地实现了不同应用场景（发电侧、电网侧、 用户侧）和不同运行方式下的能量管控

来源：北极星氢能网2021-03-29

cmp抛光机等关键设备；电源管理芯片、北斗导航芯片、电力电子（igbt）芯片、服务器芯片、太赫兹芯片、5g基站芯片、高端传感器芯片，以及滤波器、功率放大器等关键芯片器件；模拟及数模混合电路、微机电系统（mems

来源：北极星电力网2021-03-26

套大型环保筒仓及条形料场加工平台系统、200套电厂脱硫废水处理管膜框架项目河南聚能电池有限公司碱性电池生产项目河南金石普惠科技有限公司智能生产线项目年产180万台无功补偿装置、仪器仪表项目新东区智能制造产业园新乡市mems

来源：河北省工信厅2021-03-26

cmp抛光机等关键设备；电源管理芯片、北斗导航芯片、电力电子（igbt）芯片、服务器芯片、太赫兹芯片、5g基站芯片、高端传感器芯片，以及滤波器、功率放大器等关键芯片器件；模拟及数模混合电路、微机电系统（mems