来源：北极星碳管家网2021-11-02

、传感器集成协同制造服务平台建设和mems工艺仿真、多物理场耦合仿真等专用软件工具开发，提升中高端智能传感器产品供给能力。...以高性能、国产化为方向，大力发展压力、流量、气体、生物、加速度等先进智能传感器，突破智能传感器模拟仿真、信号处理、软件算法等关键技术，支持器件设计与制造工艺深度结合，支持微机电系统（mems）器件国产化代工平台

来源：工信部2021-09-30

支持多源、海量数据接入的智能感知技术攻关，推动低功耗、高安全、高速率的新型短距离通信技术发展，加强高可靠、广覆盖的北斗定位和高精度室内定位技术研发，突破mems传感器和物联网芯片的设计与制造，研发轻量级

来源：北京国际风能大会暨展览会CWP2021-09-29

俞红鹰上海拜安传感技术有限公司 总经理e4201-4202我们拜安公司的mems光纤传感器从根本上解决了长期困扰风电行业的叶片及塔筒这类大部件运行状态的在线监测问题，为大型风力发电机的整体优化提供了不同运行状态实测数据的支持

来源：北京国际风能大会暨展览会CWP2021-09-29

俞红鹰上海拜安传感技术有限公司 总经理e4201-4202我们拜安公司的mems光纤传感器从根本上解决了长期困扰风电行业的叶片及塔筒这类大部件运行状态的在线监测问题，为大型风力发电机的整体优化提供了不同运行状态实测数据的支持

来源：北极星氢能网2021-09-06

推动汽车制造、高端化工、高端铝材、轻工纺织等优势产业转型升级，重点培育新一代信息技术、高端装备、新能源新材料、新能源汽车、节能环保、生物医药、航空航天等战略性新兴产业，支持建设济南高端软件和先进半导体、淄博mems

来源：北极星环保网2021-08-26

、传感器集成协同制造服务平台建设和mems工艺仿真、多物理场耦合仿真等专用软件工具开发，提升中高端智能传感器产品供给能力。...以高性能、国产化为方向，大力发展压力、流量、气体、生物、加速度等先进智能传感器，突破智能传感器模拟仿真、信号处理、软件算法等关键技术，支持器件设计与制造工艺深度结合，支持微机电系统（mems）器件国产化代工平台

来源：北极星环保网2021-08-04

面向智能制造、工业互联网、智慧城市等领域对传感器的迫切需求，推动现有传感器领域企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）架构的传感器产品、组件及生产工艺研发，不断增加先进传感器产品供给...高性能mems压力、惯性等传感器，高性能压电传感器、高性能图像传感器、柔性智能传感器等。5g通信。智能终端：高性能射频前端器件与电路、多模滤波器、高能量密度异形柔性电池技术、高性能终端显示屏技术等。

来源：北极星氢能网2021-07-16

、加快应用为重点，推动物联网与制造业等领域融合应用，重点支持无线射频识别（rfid）、近距离无线通信（nfc）等感知技术发展，推动智能传感器可靠性设计与试验、模拟仿真、信号处理等关键技术攻关，突破硅基mems...加工技术、mems与互补金属氧化物半导体（cmos）集成、非硅模块化集成等工艺技术；推进在消费电子、汽车电子、工业控制、健康医疗等领域的规模化应用，提升国家智能传感器制造业创新中心公共服务能力，加快建设上海智能传感器产业园

来源：北极星电力网2021-07-08

发挥联芯、士兰微、瑞芯微等重点企业作用，加快发展高端芯片，突破28纳米以下先进制程工艺，推动mems传感器生产线建成投产。

来源：北极星太阳能光伏网（整理）2021-07-08

发挥联芯、士兰微、瑞芯微等重点企业作用，加快发展高端芯片，突破28纳米以下先进制程工艺，推动mems传感器生产线建成投产。

来源：北极星氢能网2021-07-08

发挥联芯、士兰微、瑞芯微等重点企业作用，加快发展高端芯片，突破28纳米以下先进制程工艺，推动mems传感器生产线建成投产。

来源：福建省人民政府2021-07-08

发挥联芯、士兰微、瑞芯微等重点企业作用，加快发展高端芯片，突破28纳米以下先进制程工艺，推动mems传感器生产线建成投产。

来源：北极星输配电网2021-07-07

发挥联芯、士兰微、瑞芯微等重点企业作用，加快发展高端芯片，突破28纳米以下先进制程工艺，推动mems传感器生产线建成投产。

来源：北极星环保网2021-07-07

发挥联芯、士兰微、瑞芯微等重点企业作用，加快发展高端芯片，突破28纳米以下先进制程工艺，推动mems传感器生产线建成投产。

来源：正星科技2021-05-18

2020年，日立信股份牵头成功申报了国家重点研发计划，专项研制新型mems氢气传感器，为新能源汽车提供更可靠的氢气检测模块。双方将在加氢站氢气安全及品质分析相关技术与产品研发领域开展深入合作。

来源：安徽省人民政府2021-04-23

重点开展先进工艺芯片制造技术、新型集成电路芯片、光通信芯片和高端芯片设计技术、集成电路核心设备、新型mems器件、eda软件等研发，开展系统级封装平台建设。人工智能。

来源：安徽省人民政府2021-04-23

重点开展先进工艺芯片制造技术、新型集成电路芯片、光通信芯片和高端芯片设计技术、集成电路核心设备、新型mems器件、eda软件等研发，开展系统级封装平台建设。人工智能。

来源：安徽省人民政府2021-04-23

重点开展先进工艺芯片制造技术、新型集成电路芯片、光通信芯片和高端芯片设计技术、集成电路核心设备、新型mems器件、eda软件等研发，开展系统级封装平台建设。人工智能。

来源：唐山市工业和信息化局2021-04-22

cmp抛光机等关键设备；电源管理芯片、北斗导航芯片、电力电子（igbt）芯片、服务器芯片、太赫兹芯片、5g基站芯片、高端传感器芯片，以及滤波器、功率放大器等关键芯片器件；模拟及数模混合电路、微机电系统（mems

来源：河北省工信厅2021-04-01

cmp抛光机等关键设备；电源管理芯片、北斗导航芯片、电力电子（igbt）芯片、服务器芯片、太赫兹芯片、5g基站芯片、高端传感器芯片，以及滤波器、功率放大器等关键芯片器件；模拟及数模混合电路、微机电系统（mems