来源：北极星输配电网2021-07-07

发挥联芯、士兰微、瑞芯微等重点企业作用，加快发展高端芯片，突破28纳米以下先进制程工艺，推动mems传感器生产线建成投产。

来源：北极星环保网2021-07-07

发挥联芯、士兰微、瑞芯微等重点企业作用，加快发展高端芯片，突破28纳米以下先进制程工艺，推动mems传感器生产线建成投产。

来源：正星科技2021-05-18

2020年，日立信股份牵头成功申报了国家重点研发计划，专项研制新型mems氢气传感器，为新能源汽车提供更可靠的氢气检测模块。双方将在加氢站氢气安全及品质分析相关技术与产品研发领域开展深入合作。

来源：安徽省人民政府2021-04-23

重点开展先进工艺芯片制造技术、新型集成电路芯片、光通信芯片和高端芯片设计技术、集成电路核心设备、新型mems器件、eda软件等研发，开展系统级封装平台建设。人工智能。

来源：安徽省人民政府2021-04-23

重点开展先进工艺芯片制造技术、新型集成电路芯片、光通信芯片和高端芯片设计技术、集成电路核心设备、新型mems器件、eda软件等研发，开展系统级封装平台建设。人工智能。

来源：安徽省人民政府2021-04-23

重点开展先进工艺芯片制造技术、新型集成电路芯片、光通信芯片和高端芯片设计技术、集成电路核心设备、新型mems器件、eda软件等研发，开展系统级封装平台建设。人工智能。

来源：唐山市工业和信息化局2021-04-22

cmp抛光机等关键设备；电源管理芯片、北斗导航芯片、电力电子（igbt）芯片、服务器芯片、太赫兹芯片、5g基站芯片、高端传感器芯片，以及滤波器、功率放大器等关键芯片器件；模拟及数模混合电路、微机电系统（mems

来源：河北省工信厅2021-04-01

cmp抛光机等关键设备；电源管理芯片、北斗导航芯片、电力电子（igbt）芯片、服务器芯片、太赫兹芯片、5g基站芯片、高端传感器芯片，以及滤波器、功率放大器等关键芯片器件；模拟及数模混合电路、微机电系统（mems

来源：河北工信厅2021-03-30

cmp抛光机等关键设备；电源管理芯片、北斗导航芯片、电力电子（igbt）芯片、服务器芯片、太赫兹芯片、5g基站芯片、高端传感器芯片，以及滤波器、功率放大器等关键芯片器件；模拟及数模混合电路、微机电系统（mems

来源：河北省工业和信息化厅2021-03-30

cmp抛光机等关键设备；电源管理芯片、北斗导航芯片、电力电子（igbt）芯片、服务器芯片、太赫兹芯片、5g基站芯片、高端传感器芯片，以及滤波器、功率放大器等关键芯片器件；模拟及数模混合电路、微机电系统（mems

来源：北极星输配电网2021-03-30

公司获评国家技术创新示范企业，推出hz-ces储能系统、升级hz3000-mems能量管理系统；打造多能物联数据中心，上线水电及新能源集控服务平台、hznet-cp充电站运维管理服务平台、hzsw3000...公司hz3000-mems能量管理系统针对当前弃风弃光、负荷不稳和峰谷价差等问题，通过优化储能控制、分布式电源出力和负荷投退等，经济、高效地实现了不同应用场景（发电侧、电网侧、 用户侧）和不同运行方式下的能量管控

来源：北极星氢能网2021-03-29

cmp抛光机等关键设备；电源管理芯片、北斗导航芯片、电力电子（igbt）芯片、服务器芯片、太赫兹芯片、5g基站芯片、高端传感器芯片，以及滤波器、功率放大器等关键芯片器件；模拟及数模混合电路、微机电系统（mems

来源：北极星电力网2021-03-26

套大型环保筒仓及条形料场加工平台系统、200套电厂脱硫废水处理管膜框架项目河南聚能电池有限公司碱性电池生产项目河南金石普惠科技有限公司智能生产线项目年产180万台无功补偿装置、仪器仪表项目新东区智能制造产业园新乡市mems

来源：河北省工信厅2021-03-26

cmp抛光机等关键设备；电源管理芯片、北斗导航芯片、电力电子（igbt）芯片、服务器芯片、太赫兹芯片、5g基站芯片、高端传感器芯片，以及滤波器、功率放大器等关键芯片器件；模拟及数模混合电路、微机电系统（mems

来源：河南省发展和改革委员会2021-03-25

套大型环保筒仓及条形料场加工平台系统、200套电厂脱硫废水处理管膜框架项目河南聚能电池有限公司碱性电池生产项目河南金石普惠科技有限公司智能生产线项目年产180万台无功补偿装置、仪器仪表项目新东区智能制造产业园新乡市mems

来源：北极星太阳能光伏网整理2021-03-17

集成电路和ppak封装、mems封测增长较快，销售额和销售量创新高。国家战略“碳达峰和碳中和”利好子公司苏州晶银新材料科技有限公司销售量同比大幅增长且环比上年四季度正增长。

来源：北极星电力网2021-03-11

重点发展:功率器件，微机电系统(mems)传感器，模拟/数模混合芯片，存储芯片，人工智能芯片，硅基光电芯片等半导体;有源矩阵有机发光二极管(amoled)、微型发光二极管(microled)等面板及下游

来源：中国能源报2021-03-10

南方电网数字电网研究院有限公司智能传感与芯片技术负责人李鹏在接受本报记者采访时表示：“目前我国智能传感领域在新材料、磁阻芯片、微型传感器集成技术、低功耗mems技术等方面，已具备重要的研究基础和核心优势

来源：美国菲力尔公司2021-03-09

声像仪通常采用mems（微机电系统）型麦克风，因其性能出色、稳定性强、功耗较低，并且尺寸较小。...mems型麦克风通常能收录较大的噪音（通常超过120db(a)），但是其自噪声水平较高，因此单个麦克风无法收录最安静的声级。然而，这种自噪声可通过结合多个麦克风的信号消除。

来源：上海市人民政府2021-03-03

智能传感器及物联网，加快推动国家智能传感器创新中心、传感器工程检测验证服务平台、8英寸mems工艺制造平台等平台建设，深化产学研用，加快培育孵化新兴企业；以物联网应用为导向，加快智能传感器在汽车电子、医疗电子