来源：北极星太阳能光伏网2021-03-29

新购置制绒清洗设备、 pecvd 设备、pvd 设备、丝网印刷线机、划片串焊设备、叠焊机、 层压机等生产及辅助设备885 台/套，项目主导产品为n型高效太阳能电池组件。

来源：集邦新能源网2021-03-24

/pecvd设备以及镀膜设备，可实现对perc的低成本升级至topcon。...设备投资在1.2-1.5亿元左右，topcon投资约2-2.5亿元左右，而hjt投资额在4-4.5亿元左右，但单gw perc改造为topcon金额约6000-8000万元左右，主要新增设备为非晶硅沉积的lpcvd

来源：北极星太阳能光伏网整理2021-02-23

，形成新型电池湿法设备及单层载板式非晶半导体薄膜cvd设备生产基地。...该项目计划建设期为2年，完全达产后每年新增20gw perc+高效新型电池湿法设备，新增20gw hjt超高效新型电池的湿法设备以及单层载板式非晶半导体薄膜cvd。 

来源：钧石能源2021-02-08

钧石能源自主研发的pvd设备经过多年的潜心研发与改进，钧石能源拥有自主知识产权的pecvd、pvd等核心生产设备技术，主要设备pecvd、pvd等兼容166mm、18xmm、210mm尺寸硅片，适应未来行业的发展要求

来源：集邦新能源网2021-02-02

（3）hjt：hjt的生产工艺只有四步，对应的设备包括清洗制绒设备、非晶硅薄膜沉积设备（pecvd或者cat-cvd）、tco膜沉积（pvd或者cvd）、丝印与烧结设备等，目前对应设备投入约4.5亿/gw

来源：集邦新能源网2021-01-29

单线产能中位数从200mw提升至500mw，这主要来源于主要设备企业对于pecvd生产节拍瓶颈的突破。...通威10月份发布1gw异质结招标结果，其中迈为提供的核心设备pecvd的生产节拍高达8000片/小时，对应182电池片年产能510mw。单gw设备投资额下降至4.5亿。

来源：SOLARZOOM2021-01-13

而到了2020年上半年，则关于18x的讨论开始增多——硅片、电池片企业经过技术探索发现，单晶拉棒炉、管式pecvd等设备经过改造后最大可以满足18x的尺寸。

来源：氢智会2021-01-13

措施11：目标明确地实施清洁汽车指令（cvd）， 用于支持城市交通中的零排放汽车。措施12：在欧洲通行收费指令的框架下采用货运卡车根据碳排放差异定价的方式，鼓励采用环保型驱动装置。

来源：集邦新能源网2021-01-12

非晶硅沉积环节，射频化学气相沉积（pecvd 工艺的一种）的材料成本约 0.03~0.04 元/片。

来源：打板战线2021-01-11

捷佳伟创：国内领先的晶体硅太阳能电池生产设备供应商，主要产品是管式pecvd，罐式高温扩散炉，单多晶制绒设备。北方华创：泛半导体领域的刻蚀机，pvd,cvd扩散炉等，广泛应用于光伏，半导体

来源：贝哲斯咨询 Market Monitor2021-01-11

hit生产线核心设备有望近期实现国产化：hit的4大工艺步骤“制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、tco制备、电极制备”，对应的设备分别为清洗制绒设备、cvd设备（pecvd为主、hwcvd较少）、pvd/rpd

来源：平安证券2021-01-07

2020年12月，捷佳伟创pecvd5500设备出厂交付；迈为股份发布新一代pecvd，产能达到8000片/h。...从反应腔角度，pecvd可以分为单真空和双真空结构；从传输角度，pecvd可以分为滚轮传输和机械手传输。单真空vs双真空：单真空是一个开放式的腔体，镀膜时，等离子体充满全部腔体。

来源：光伏新闻2020-12-31

该企业在炭炭材料一件难求的前提下，对pecvd设备的采购按下暂停键，说明该企业对未来的炭炭材料市场不看好。...由于炭炭材料需要浸渍或cvd工艺沉积炭，生产周期长，生产效率低，因此以湖南金博、烟台凯泊、美兰德等为首的炭炭材料企业订单都排到了明年上半年。

来源：集邦新能源网2020-12-22

当前技术路线中，隧穿氧化物及多晶硅沉积主要采用lpcvd设备，国产设备已较为成熟，捷佳伟创、北方华创、拉普拉斯等国内厂商均可提供，此外，peald设备无锡微导已实现量产。

来源：北极星太阳能光伏网2020-12-21

据其半年报显示，迈为股份在hit国产设备上率先突破丝印设备、成功研制板式pecvd，并具备整线供应能力。不仅在光伏激光设备领域订单有一定幅度增加，并在oled激光设备领域也取得关键性突破。

来源：北极星太阳能光伏网2020-12-10

公告称，中来运用了新一代j-topcon 2.0技术，该技术使用了全球领先的popaid工艺技术，相较于采用lpcvd的topcon1.0技术，j-topcon2.0技术工序少、无绕镀、镀膜厚度可实现±

来源：北极星太阳能光伏网2020-12-07

、pecvd镀膜设备、单多晶制绒清洗成套设备及技术也获得批复。...苏州太阳井新能源有限公司新建900片/年太阳能硅片金属化研发实验室项目、艺丰光电年产1亿片8.8英寸太阳能级晶硅片生产线技术改造项目、无锡琨圣科技年产150台套太阳能硅片topcon制绒清洗、链式清洗、扩散、lpcvd

来源：捷佳伟创2020-11-23

捷佳伟创作为光伏设备行业的领先企业，在perc电池设备技术上已建立明显领先优势，在perc+环节通过与客户深度合作已取得突破；在高效hjt环节，包括rpd系列和先进pecvd在内已具备电池设备整线交付能力

来源：粉体网2020-11-05

不仅如此，很多经过物理/化学气相沉积（pvd/cvd）制备的全固态电池，其整体厚度可能只有几十个微米，因此就可以制成非常小的电源器件，整合到mems（微机电系统）领域中。

来源：北极星太阳能光伏网2020-10-20

据了解，背钝化膜的制备是perc电池最为核心的工艺步骤，主要分为以韩华为代表的原子层沉积（ald），和以梅耶博格为代表的板式（pecvd）沉积方式，隆基采用的是pecvd技术。