来源：新电子2015-08-24

因此基于精密和高速的转换器、线性产品、射频、微机电系统和感测器、专用数位处理器等核心技术不断创新，未来针对通讯、汽车、医疗和工业市场，提供终端客户针对性的专用晶片，以及解决方案和服务，将是半导体公司在2015

来源：高工锂电网2015-08-13

相对而言，微型超级电容器的成本要求并没有普通电容器那么严格，以石墨烯复合材料作为电化学活性材料，并选择合适的离子液体电解液，有可能实现制备兼具传统电容器和锂离子电池双重优势的储能器件，在微机电系统(mems

来源：电子工程专辑2015-08-11

电子产业迫切需要新的微机电系统(mems)来推动传感器和物联网(iot) 的发展。

来源：电气技术2015-07-28

另外，随着微机电系统(micro electro mechanical system， mems)及低功耗电子技术的进步，市场上出现了越来越多的小型、低能耗的手持移动设备。

来源：电气技术2015-07-28

另外，随着微机电系统(micro electro mechanical system， mems)及低功耗电子技术的进步，市场上出现了越来越多的小型、低能耗的手持移动设备。

来源：北极星电力网2015-07-24

支持微机电(mems)、汽车电子、soi cmos、高压功率器件等8 英寸特色专用工艺生产线建设，带动关键装备和材料配套发展。支持gaas、gan、sic 等第三代半导体制造工艺研发及产业化。

来源：Digitimes2015-07-07

北陆电气工业(hdk)原本便生产多种传感器，随微机电传感器在传感器领域的重要性渐增，北陆电气也转而研发微机电技术，生产微机电传感器，并将传感器与基板等其他零组件、以及必须软体，组成模组一起销售，扩大相关事业

来源：工控中国2015-06-30

传感器体积越来越小，功能越来越强大归功于当前计算机技术、辅助设计技术和集成电路技术、微机电系统(mems)技术的快速发展。(2)智能化。

来源：中国电源博览2015-06-26

低压配电系统由低压配电开关配以具有通信功能的智能测控保护装置比如网络电力仪表 、微机无功补偿控制装置、微机电动机保护装置等 经数字通信与计算机系统网络连接 ,实现配电站开关设备运行管理的 自动化、智能化

来源：高工锂电网2015-06-25

相对而言，微型超级电容器的成本要求并没有普通电容器那么严格，以石墨烯复合材料作为电化学活性材料，并选择合适的离子液体电解液，有可能实现制备兼具传统电容器和锂离子电池双重优势的储能器件，在微机电系统(mems

来源：36Kr2015-06-04

据venturebeat消息，google收购了lumedyne technologies，一家专注于制造多种类型的微机电系统(mems)传感器的公司。这笔收购涉及金额达8500万美元。

来源：OFweek 仪器仪表网2015-04-22

mems(微机电系统，主要包括压力、加速度和航向角传感器以及驱动器)器件约占传感器/驱动器整体市场份额的80%，2014年mems器件销售额增长约5%，创出74亿美元的新高(2013年销售额为70亿美元

来源：千家网2015-04-17

mems(微机电系统，主要包括压力、加速度和航向角传感器以及驱动器)器件约占传感器/驱动器整体市场份额的80%，2014年mems器件销售额增长约5%，创出74亿美元的新高(2013年销售额为70亿美元

来源：与非网2015-04-16

imagination technologies(img.l)宣布，韩国的mems(微机电系统)传感器开发商standing egg公司已授权选用imagination的mips warrior m-class

来源：新材料在线2015-04-02

面向射频应用的无源组件该课题旨在开发与测试天线、电子互连、热扩散层、过滤器和微机电系统等无源组件在高频电子领域的不同应用。

来源：发改委2015-02-28

10、北方智能微机电集团有限公司基于密级标识的涉密信息系统研究与试点示范项目已列入2013年国家信息安全专项。

来源：OFweek 电子工程网2014-11-28

晶方科技全球第二大wlcsp封测服务商，公司主营业务为集成电路的封装测试业务，主要为影像传感芯片、环境光感应芯片、微机电系统(mems)、发光电子器件(led)等提供晶圆级芯片尺寸封装(wlcsp)及测试服务...公司目前封装产品主要有影像传感芯片、环境光感应芯片、医疗电子器件、微机电系统(mems)、射频识别芯片(rfid)等，该些产品被广泛应用在消费电子(手机、电脑、照相机等)、医学电子、电子标签身份识别、安防设备等诸多领域

来源：OFweek可穿戴设备网2014-11-28

4、飞思卡尔(freescale) 飞思卡尔采用微机电系统(mems)支持传感技术。基于mems的传感器产品提供感应、处理、甚至控制周围环境的接口。...5、意法半导体(st) 意法半导体的传感器产品包括mems(微机电传感器，包括加速度计、陀螺仪、数字罗盘、惯性模块、压力传感器和麦克风)、温度传感器和触摸传感器。

来源：OFweek 电子工程网2014-11-14

意法半导体在很多不同的应用领域位列世界前茅，包括工业用半导体、打印机喷头和mems(微机电系统)传感器，mpeg解码器和智能卡芯片，汽车集成电路、计算机外设、无线和移动通信芯片。

来源：OFweek 工控网2014-10-31

九、芯敏微系统上海芯敏微系统技术有限公司成立于2006年，是一家从事基于mems(微机电系统)技术的传感器芯片的研发、生产和销售的技术型公司。