来源：科华恒盛2018-05-14

芯片光刻操作室以微米单位为计的操作空间下，晶圆光刻时做掩膜除了操作环境，光刻机、刻蚀机对电能质量也有严苛要求。

来源：高工锂电技术与应用2018-05-02

han等人电化学刻蚀和高能球磨相结合的方法，以p型si作为底板，hf溶液作为刻蚀液，获得孔隙率为70%的多孔硅薄膜材料，后在pan中球磨并热处理，制备碳包覆的多孔硅负极材料。...tang等人利用pva碳源包覆、hf酸刻蚀和沥青二次包覆的方法制备多孔si/c复合负极材料。

来源：电源技术2018-04-27

han等人电化学刻蚀和高能球磨相结合的方法，以p型si作为底板，hf溶液作为刻蚀液，获得孔隙率为70%的多孔硅薄膜材料，后在pan中球磨并热处理，制备碳包覆的多 孔硅负极材料。...tang等人利用pva碳源包覆、hf酸刻蚀和沥青二次包覆的方法制备多孔si/c复合负极材料。

来源：锂电联盟会长2018-04-02

他们使用的是一种以镍为基片的管状简易沉积炉，通入含碳气体，如：碳氢化合物，它在高温下分解成碳原子沉积在镍的表面,形成石墨烯，通过轻微的化学刻蚀，使石墨烯薄膜和镍片分离得到石墨烯薄膜。

来源：pv-magazine2018-03-27

新加坡国立大学这一湿化学法以纳米特征尺度刻蚀晶片表面，从而增加了光线反射表面的次数及被晶片材料吸收的机会。该工艺使用专利性化学品，具有低成本性和可扩展性，且极易被集成入电池生产线。

来源：北极星环保网2018-03-22

含vocs产品的使用过程包括但不局限于以下作业：有机载体制备、溶剂复配、配胶等；上（点）胶、涂漆、喷涂、涂覆、印刷等；光刻、显影、刻蚀、扩散等；研磨、清洗、烘干等。

来源：中国科学.化学2018-03-09

在此基础上, 通过对碳包覆之后的纳米颗粒进行二次造粒,在大颗粒的表面再包覆碳膜, 最后刻蚀制备出类石榴的结构 , 复合材料尺寸的增大减小了材料的比表面积, 提高了材料的稳定性, 材料的1000周循环容量保持率由

来源：PV兔子2018-02-27

同时在这一步工艺中，两面生长氧化层，正面掺杂的多晶硅对硅片起到吸杂(gettering)的效果去除正面氧化层，再使用光刻技术对背面氧化层开孔使用koh刻蚀，正面制绒，背面断开掺杂区域的衔接ald生长20nm

来源：北极星环保网2018-01-23

、徐云泽、倪长宽、崔向丽、窦玉坛、黄云峰、姚军、潘树新、洪忠、胡凯锋、李政阳、郭精义、张晶主要完成单位：中国石油天然气股份有限公司勘探开发研究院西北分院2017j1005航天器高性能固面天线反射器激光刻蚀制造技术推荐单位

来源：北极星VOCs在线2018-01-10

7、《电子设备制造业挥发性有机化合物排放标准》（征求意见稿）清洗、刻蚀、表面涂装、烘干室排气应安装废气净化装置进行处理，排气筒排放的vocs排放限值应符合下表规定。...6、《电子工业挥发性有机物排放标准》（征求意见稿）清洗、刻蚀、表面涂装、烘干室排气应安装废气净化装置进行处理，其vocs的总去除效率应达到90%，排气筒排放的vocs排放限值应符合下表规定。

来源：摩尔光伏2018-01-04

到目前为止制绒添加剂技术、干法黑硅技术（反应离子刻蚀法reactiveionetching，rie）和湿法黑硅技术（金属催化化学腐蚀法metalcatalyzedchemicaletching，mcce

来源：电池中国网2018-01-03

国家重点研发计划新能源汽车重点专项支持的北京大学项目团队，通过原位包覆、刻蚀等途径，设计制备出一种高比容量的自体积适应性硅/碳负极材料。

来源：北极星太阳能光伏网2017-12-11

连载文章欢迎查看更多太阳能电池片科普系列：发电原理篇、流程（电池片）篇、工艺流程(硅片)篇、制绒篇、扩散篇、刻蚀篇、(镀膜)pecvd篇、丝网印刷篇、烧结篇、组件封装篇、多晶硅铸锭篇原创：北极星（每天不定量更新

来源：摩尔光伏2017-12-08

除了依赖添加剂厂家开发更高效的金刚线制绒添加剂，优化扩散、刻蚀、pecvd及丝印等后道工艺也是提高金刚线添加剂制备的电池效率重要途径。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2017-12-04

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来源：北极星太阳能光伏网（独家）2017-12-01

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来源：北极星太阳能光伏网（独家）2017-11-30

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来源：合肥经信委2017-11-30

重点引进全自动大面积等离子增强化学气相沉积（pecvd）、多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、高精度丝网印刷机等晶硅电池片生产线设备，大面积tco导电玻璃镀膜设备、用于背电极制备的多靶位磁控溅射系统

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2017-11-29

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来源：北极星太阳能光伏网（独家）2017-11-29

连载文章欢迎查看更多太阳能电池片科普系列：发电原理篇、流程（电池片）篇、工艺流程(硅片)篇、制绒篇、扩散篇、刻蚀篇、(镀膜)pecvd篇、丝网印刷篇、烧结篇、组件封装篇、多晶硅铸锭篇原创：北极星（每天不定量更新...因为先前的减反射膜已经形成正面的电性绝缘，所以银浆一般掺有含铅的硼酸玻璃粉（pbo-b2o3-sio glass frit），在高温烧结时玻璃粉硼酸成分与氮化硅反应并刻蚀穿透氮化硅薄膜，此时银可以渗入其下方并与硅形成此种局部区域性的电性接触