来源：河南人民政府2022-01-25

支持龙头企业突破核心关键技术，提升微机电系统（mems）工艺芯片等核心芯片的自主研发、设计、制造能力，引领产业创新发展。其他电子元器件。

来源：北极星环保网2022-01-25

发展模拟及数模混合电路、高端传感器、微电机系统（mems）、大功率器件、高电压电路、微波射频电路等特色专用工艺生产线。引进发展集成电路封装测试知名企业，培育壮大产业规模和竞争实力。现代通信。

来源：北极星环保网2022-01-13

全力推进浙江宇视科技有限公司安防产品产业化基地，大华安防视频监控产品生产基地，海康威视微机电系统（mems）传感芯片研发及产业化高性能数字安防产品生产等项目。（3）人工智能。

来源：北极星太阳能光伏网2022-01-11

，2021年半导体行业整体景气度高，功率半导体国产替代加速，同时，公司扩产的产能逐步释放，公司半导体业务营业收入大幅增长；公司在前几年战略部署的汽车电子产品市场占有率不断提升，集成电路和ppak封装、mems

来源：国家电网报2022-01-11

系统级封装（sip）、微机电系统（mems）、纳机电系统（nems）等技术和工艺的突破和应用，将助力电力专用的微型化感知器件开发，推进电力设备的智能化。

来源：上海经信委2021-12-21

二是发展新型传感器，重点发展应用于智能工厂、消费电子、高端装备所需的高精度、高可靠性传感器；攻关微机电系统（mems）等先进传感器技术，推动科研院所成果转化应用。

来源：陕西省人民政府2021-12-15

上游重点扶持和培育各类智能传感器设计、制造和封装产业化，加强智能传感器核心芯片，特别是基于微机电系统（mems）工艺的芯片，以及芯片配套的算法和驱动程序等技术的自主研发，推动新型传感器科技成果转化。

来源：北极星氢能网2021-12-15

上游重点扶持和培育各类智能传感器设计、制造和封装产业化，加强智能传感器核心芯片，特别是基于微机电系统（mems）工艺的芯片，以及芯片配套的算法和驱动程序等技术的自主研发，推动新型传感器科技成果转化。

来源：陕西省人民政府2021-12-15

上游重点扶持和培育各类智能传感器设计、制造和封装产业化，加强智能传感器核心芯片，特别是基于微机电系统（mems）工艺的芯片，以及芯片配套的算法和驱动程序等技术的自主研发，推动新型传感器科技成果转化。

来源：北极星环保网2021-12-14

上游重点扶持和培育各类智能传感器设计、制造和封装产业化，加强智能传感器核心芯片，特别是基于微机电系统（mems）工艺的芯片，以及芯片配套的算法和驱动程序等技术的自主研发，推动新型传感器科技成果转化。

来源：陕西省人民政府2021-12-13

上游重点扶持和培育各类智能传感器设计、制造和封装产业化，加强智能传感器核心芯片，特别是基于微机电系统（mems）工艺的芯片，以及芯片配套的算法和驱动程序等技术的自主研发，推动新型传感器科技成果转化。

来源：北极星环保网2021-11-22

在芯片制造方面，加快布局第二、三代半导体晶片及外延衬底（砷化镓、氮化镓、碳化硅）、微机电系统（mems）、金属—氧化物半导体场效应晶体管（mosfet）、绝缘栅双极型晶体管（igbt）等特色芯片生产线，

来源：江苏省发改委2021-11-18

2021年度省级战略性新兴产业发展专项资金拟立项项目江苏金晓电子信息股份有限公司基于智能主动管控技术的车路协同系统研发及产业化项目华天科技（南京）有限公司集成电路先进封测产业基地mems技术攻关及产业化项目南京国兆光电科技有限公司年产

来源：北极星储能网2021-11-10

发挥联芯、士兰微、瑞芯微等重点企业作用，加快发展高端芯片，突破28纳米以下先进制程工艺，推动mems传感器生产线建成投产。

来源：北极星碳管家网2021-11-02

、传感器集成协同制造服务平台建设和mems工艺仿真、多物理场耦合仿真等专用软件工具开发，提升中高端智能传感器产品供给能力。...以高性能、国产化为方向，大力发展压力、流量、气体、生物、加速度等先进智能传感器，突破智能传感器模拟仿真、信号处理、软件算法等关键技术，支持器件设计与制造工艺深度结合，支持微机电系统（mems）器件国产化代工平台

来源：工信部2021-09-30

支持多源、海量数据接入的智能感知技术攻关，推动低功耗、高安全、高速率的新型短距离通信技术发展，加强高可靠、广覆盖的北斗定位和高精度室内定位技术研发，突破mems传感器和物联网芯片的设计与制造，研发轻量级

来源：北京国际风能大会暨展览会CWP2021-09-29

俞红鹰上海拜安传感技术有限公司 总经理e4201-4202我们拜安公司的mems光纤传感器从根本上解决了长期困扰风电行业的叶片及塔筒这类大部件运行状态的在线监测问题，为大型风力发电机的整体优化提供了不同运行状态实测数据的支持

来源：北京国际风能大会暨展览会CWP2021-09-29

俞红鹰上海拜安传感技术有限公司 总经理e4201-4202我们拜安公司的mems光纤传感器从根本上解决了长期困扰风电行业的叶片及塔筒这类大部件运行状态的在线监测问题，为大型风力发电机的整体优化提供了不同运行状态实测数据的支持

来源：北极星氢能网2021-09-06

推动汽车制造、高端化工、高端铝材、轻工纺织等优势产业转型升级，重点培育新一代信息技术、高端装备、新能源新材料、新能源汽车、节能环保、生物医药、航空航天等战略性新兴产业，支持建设济南高端软件和先进半导体、淄博mems

来源：北极星环保网2021-08-26

、传感器集成协同制造服务平台建设和mems工艺仿真、多物理场耦合仿真等专用软件工具开发，提升中高端智能传感器产品供给能力。...以高性能、国产化为方向，大力发展压力、流量、气体、生物、加速度等先进智能传感器，突破智能传感器模拟仿真、信号处理、软件算法等关键技术，支持器件设计与制造工艺深度结合，支持微机电系统（mems）器件国产化代工平台