来源：陕西省人民政府2021-12-15

上游重点扶持和培育各类智能传感器设计、制造和封装产业化，加强智能传感器核心芯片，特别是基于微机电系统（mems）工艺的芯片，以及芯片配套的算法和驱动程序等技术的自主研发，推动新型传感器科技成果转化。

来源：北极星氢能网2021-12-15

上游重点扶持和培育各类智能传感器设计、制造和封装产业化，加强智能传感器核心芯片，特别是基于微机电系统（mems）工艺的芯片，以及芯片配套的算法和驱动程序等技术的自主研发，推动新型传感器科技成果转化。

来源：陕西省人民政府2021-12-15

上游重点扶持和培育各类智能传感器设计、制造和封装产业化，加强智能传感器核心芯片，特别是基于微机电系统（mems）工艺的芯片，以及芯片配套的算法和驱动程序等技术的自主研发，推动新型传感器科技成果转化。

来源：北极星环保网2021-12-14

上游重点扶持和培育各类智能传感器设计、制造和封装产业化，加强智能传感器核心芯片，特别是基于微机电系统（mems）工艺的芯片，以及芯片配套的算法和驱动程序等技术的自主研发，推动新型传感器科技成果转化。

来源：陕西省人民政府2021-12-13

上游重点扶持和培育各类智能传感器设计、制造和封装产业化，加强智能传感器核心芯片，特别是基于微机电系统（mems）工艺的芯片，以及芯片配套的算法和驱动程序等技术的自主研发，推动新型传感器科技成果转化。

来源：北极星环保网2021-11-22

在芯片制造方面，加快布局第二、三代半导体晶片及外延衬底（砷化镓、氮化镓、碳化硅）、微机电系统（mems）、金属—氧化物半导体场效应晶体管（mosfet）、绝缘栅双极型晶体管（igbt）等特色芯片生产线，

来源：江苏省发改委2021-11-18

2021年度省级战略性新兴产业发展专项资金拟立项项目江苏金晓电子信息股份有限公司基于智能主动管控技术的车路协同系统研发及产业化项目华天科技（南京）有限公司集成电路先进封测产业基地mems技术攻关及产业化项目南京国兆光电科技有限公司年产

来源：北极星储能网2021-11-10

发挥联芯、士兰微、瑞芯微等重点企业作用，加快发展高端芯片，突破28纳米以下先进制程工艺，推动mems传感器生产线建成投产。

来源：北极星碳管家网2021-11-02

、传感器集成协同制造服务平台建设和mems工艺仿真、多物理场耦合仿真等专用软件工具开发，提升中高端智能传感器产品供给能力。...以高性能、国产化为方向，大力发展压力、流量、气体、生物、加速度等先进智能传感器，突破智能传感器模拟仿真、信号处理、软件算法等关键技术，支持器件设计与制造工艺深度结合，支持微机电系统（mems）器件国产化代工平台

来源：工信部2021-09-30

支持多源、海量数据接入的智能感知技术攻关，推动低功耗、高安全、高速率的新型短距离通信技术发展，加强高可靠、广覆盖的北斗定位和高精度室内定位技术研发，突破mems传感器和物联网芯片的设计与制造，研发轻量级

来源：北京国际风能大会暨展览会CWP2021-09-29

俞红鹰上海拜安传感技术有限公司 总经理e4201-4202我们拜安公司的mems光纤传感器从根本上解决了长期困扰风电行业的叶片及塔筒这类大部件运行状态的在线监测问题，为大型风力发电机的整体优化提供了不同运行状态实测数据的支持

来源：北京国际风能大会暨展览会CWP2021-09-29

俞红鹰上海拜安传感技术有限公司 总经理e4201-4202我们拜安公司的mems光纤传感器从根本上解决了长期困扰风电行业的叶片及塔筒这类大部件运行状态的在线监测问题，为大型风力发电机的整体优化提供了不同运行状态实测数据的支持

来源：北极星氢能网2021-09-06

推动汽车制造、高端化工、高端铝材、轻工纺织等优势产业转型升级，重点培育新一代信息技术、高端装备、新能源新材料、新能源汽车、节能环保、生物医药、航空航天等战略性新兴产业，支持建设济南高端软件和先进半导体、淄博mems

来源：北极星环保网2021-08-26

、传感器集成协同制造服务平台建设和mems工艺仿真、多物理场耦合仿真等专用软件工具开发，提升中高端智能传感器产品供给能力。...以高性能、国产化为方向，大力发展压力、流量、气体、生物、加速度等先进智能传感器，突破智能传感器模拟仿真、信号处理、软件算法等关键技术，支持器件设计与制造工艺深度结合，支持微机电系统（mems）器件国产化代工平台

来源：北极星环保网2021-08-04

面向智能制造、工业互联网、智慧城市等领域对传感器的迫切需求，推动现有传感器领域企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）架构的传感器产品、组件及生产工艺研发，不断增加先进传感器产品供给...高性能mems压力、惯性等传感器，高性能压电传感器、高性能图像传感器、柔性智能传感器等。5g通信。智能终端：高性能射频前端器件与电路、多模滤波器、高能量密度异形柔性电池技术、高性能终端显示屏技术等。

来源：北极星氢能网2021-07-16

、加快应用为重点，推动物联网与制造业等领域融合应用，重点支持无线射频识别（rfid）、近距离无线通信（nfc）等感知技术发展，推动智能传感器可靠性设计与试验、模拟仿真、信号处理等关键技术攻关，突破硅基mems...加工技术、mems与互补金属氧化物半导体（cmos）集成、非硅模块化集成等工艺技术；推进在消费电子、汽车电子、工业控制、健康医疗等领域的规模化应用，提升国家智能传感器制造业创新中心公共服务能力，加快建设上海智能传感器产业园

来源：北极星电力网2021-07-08

发挥联芯、士兰微、瑞芯微等重点企业作用，加快发展高端芯片，突破28纳米以下先进制程工艺，推动mems传感器生产线建成投产。

来源：北极星太阳能光伏网（整理）2021-07-08

发挥联芯、士兰微、瑞芯微等重点企业作用，加快发展高端芯片，突破28纳米以下先进制程工艺，推动mems传感器生产线建成投产。

来源：北极星氢能网2021-07-08

发挥联芯、士兰微、瑞芯微等重点企业作用，加快发展高端芯片，突破28纳米以下先进制程工艺，推动mems传感器生产线建成投产。

来源：福建省人民政府2021-07-08

发挥联芯、士兰微、瑞芯微等重点企业作用，加快发展高端芯片，突破28纳米以下先进制程工艺，推动mems传感器生产线建成投产。