来源：老周看财报2020-02-26

pecvd设备国产化仍需时日，hit电池虽然性能较优，但仍然存在许多问题，一定程度上限制了其大规模量产，原因有三。

来源：光伏测试网2020-02-24

其中，非晶硅镀膜 pecvd 及 tco 镀膜的 rpd/pvd 设备合计占整线投资 60-75%。

来源：SOLARZOOM光储亿家2020-02-24

“由于pecvd国产化了，整个gw的投资已经降到了6亿到5亿的水平内，我认为这个过程会非常快的实现”，他补充到。回顾山煤过去2个半月的上涨足迹，我们发现与hjt技术市场发酵的痕迹几乎完全一致。...月份投产了第一条百兆瓦级的产线，而国外的rec也已实现了600兆瓦的量产规模，这个都是我们已经能看到的实实在在的基础所在，可见量产技术正在进入成熟阶段；从核心设备上看，hjt四个步骤，受益于半导体产业过去几年国产化进步，最关键的pecvd

来源：光伏测试网2020-02-24

相较常规光伏电池的工艺流程新增了两个重要工序，只需在传统电池产线增加钝化膜沉积设备（pecvd 设备或ald设备）和激光开槽设备即可。

来源：摩尔光伏2020-02-21

pecvd还是ald？下面是摘取王文静老师演讲ppt的内容。（来源：微信公众号：摩尔光伏）下面是丰盛装备王俊朝的演讲ppt，详细介绍这几种路线。有删减。

来源：太平洋证券2020-02-20

perc 电池生产工艺在传统产线基础上需增加氧化铝沉积及激光开槽两道工序，利好pecvd 及激光设备厂商。大尺寸硅片快速落地，设备及自动化控制将升级。...重点推荐晶盛机电（晶体生长及加工设备）、捷佳伟创（氧化炉、沉积炉、pecvd、hjt 制绒清洗、rpe 及丝网印刷设备）、迈为股份（丝网印刷设备、hjt 整线解决方案）、上机数控（硅片加工设备）、帝尔激光

来源：太阳能杂志2020-02-20

1.2 制备流程采用氧化铝浆料制备黑硅perc 多晶太阳电池的工艺流程为：①黑硅制绒→②扩散→③刻蚀去psg →④背面抛光→⑤印刷氧化铝浆料/ 烧结→⑥ pecvd 正面镀膜→⑦ pecvd 背面镀膜→

来源：能源杂志2020-02-18

其中，光伏设备龙头企业捷佳伟创通过取得住友重工（中国大陆地区）独家授权后实现了在pecvd设备上的突破，其研发的生产线已经应用于通威的hjt产线。与巨头联手，钧石能源也采取同样策略。...据了解，hit所需pecvd设备和现有设备差别较大，而hit电池进口设备约为8-10亿元/gw，国产设备约为5-8亿元/gw，perc则只需要2.5-3亿元/gw，hit电池设备成本约为perc的3倍。

来源：肖索的研究号2020-02-18

此外爱旭pecvd等核心设备通过国内外一流厂商定制化采购，有利于提高电池的生产速率和量产稳定性，进一步降低制造成本。...爱旭从2015年起即围绕perc电池（管式pecvd制程）进行专利布局，在整体制造工艺、核心钝化技术、关键工艺技术、电池外观结构、工艺设备等方面累计获得300多项授权专利，形成了较为稳固的专利防火墙。

来源：国信证券2020-02-18

其中背面钝化镀层包括氧化铝镀层与氮化硅镀层， 市场中存在两种技术路线，一是采用 pecvd+pecvd 两台设备，代表厂商为 捷佳伟创；二是用 ald+pecvd 两台设备，代表厂商为江苏微导。

来源：SOLARZOOM光储亿家2020-02-17

规模化是设备成本下降的主要路径之一，当前hit电池设备的单机产能相对较低，清洗机、pvd、丝网印刷机单机产能大约在200mw/台左右，pecvd只有100mw/台左右的产能。

来源：SOLARZOOM光储亿家2020-02-13

当前，受益于钧石、理想、迈为、捷佳伟创、金辰等hjt电池装备企业对核心设备pecvd的国产化探索，hjt电池gw级乃至10gw级的投资将于2020年中全面启动。

来源：广发证券2020-02-12

hjt 工艺所需的核心设备包括：（1）湿法设备；（2）非晶硅沉积所需的pecvd 设备；（3） tco 制膜设备的pvd（rpd）设备；（4）金属化设备。

来源： 光伏领跑者创新论坛2020-02-11

近几年，perc产能快速扩张过程中，pecvd和激光开槽设备业绩弹性最大。perc设备基本国产化，pecvd主要由捷佳伟创、北方华创、丰盛装备等公司供应，激光开槽设备主要由帝尔激光等公司供应。

来源：评安机械PAJX2020-02-11

迈为股份研制的pecvd采用动态镀膜技术，相比静态镀膜的pecvd，产能有望翻倍。目前，公司研制的pecvd正在通威股份合肥产线上验证，预计2020年q1出具结果，2020年下半年有望量产。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-02-10

迈为股份则主攻hit中的丝网印刷与pecvd技术，清洗环节选择采购日本yac的成熟产品，tco膜沉积环节选择的是rpd设备采购德国的阿登纳的设备，以此来提供完整产线。...主流上，hit产线共涉及四项设备：用于清洗制绒的rca、用于非晶硅薄膜沉积的pecvd、用于tco膜沉积的pvd、和用于电极金属化的丝网印刷，在这四条赛道上，中国的设备企业已经蓄势待发。

来源：女柚子之路2020-02-10

具体来讲，hit主要生产工序有4步，对应4种专业设备，依次是清洗制绒机、pecvd、pvd/rpd、丝网印刷机。...pecvd：主要是tmb、b2h6、ph3等气体，非常成熟，成本占比可以忽略。pvd/rpd：氩气、靶材。先导、映日、壹纳等国内厂商已经突破，价格大幅低于海外厂商，未来需求放量，价格还有下降空间。

来源：摩尔光伏2020-02-06

来源：招商证券机械团队2020-02-04

国内的理想万里晖率先研发出用于hjt的pecvd设备，打破了长期以来国外厂商的垄断，并且在2019年成功竞标某标志性百兆瓦级hjt项目的pecvd设备供应，并陆续升级pecvd推出配套工艺。

来源：光伏测试网2020-01-31

两种主流工艺pecvd和hwcvd（热丝化学气相沉积）：hwcvd优势明显：对界面轰击较小，薄膜质量较好，对硅片钝化较好，但劣势也比较明显，均匀性较差且维护成本较高。...pecvd分rfcvd（射频等离子体化学气相沉积）与vhfcvd（甚高频等离子体化学气相沉积），差异主要是射频频率，总体来说rfcvd沉积非晶硅均匀性较好，但成膜质量不如vhfcvd，并且对硅衬底的轰击也强于