来源：合肥市经济和信息化局2022-01-20

重点支持研发生产全自动大面积pecvd（等离子增强化学气相沉积）、多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、高精度丝网印刷机、高温烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备；大面积 tco（透明导电氧化物

来源：北极星太阳能光伏网2021-12-29

理想万里晖目前主要产品为用于hjt 电池生产的等离子体化学气相沉积 （pecvd）设备，未来根据客户需求提供hjt电池生产线整线交钥匙工程。...理想万里晖成立于2013年5月21日，公司致力于实现太阳能电池异质结领域装备的国产替代及降本增效， 开发的量产型vhf-pecvd设备助力客户获得异质结电池转换效率达26.30%。

来源：上海经信委2021-12-21

2.太阳能装备以提高效率、升级换代为重点，突破大型高效还原炉、大尺寸单晶炉技术；提升背钝化ald设备、高产能pecvd设备、高效topcon和hjt电池镀膜设备、离子注入等设备技术水平；加强新型高效电池工艺装备

来源：北极星太阳能光伏网2021-12-10

4个环节的设备均选用迈为独立研发的hjt3.0设备，具有大尺寸、半片、薄片化等特点，尤其在pecvd和pvd两个关键设备中全程无行车，并支持连续镀膜，可以有效降低成本、提高转化效率。

来源：北极星太阳能光伏网2021-12-01

据悉，近日，迈为股份与rec集团签订了400mw hjt异质结电池整线设备订单，将供应pecvd、pvd、丝网印刷等hjt电池核心生产设备，用于rec位于新加坡的400mw hjt电池生产线，该产线将采用

来源：安徽华晟新能源2021-11-11

该产线计划使用华晟开发的单面微晶和双面微晶工艺与迈为开发的大产能pecvd、pvd，并结合最新的自动化智能制造技术，实现对单硅片的全制程数据追踪与工艺自控制，做到业界更先进、更智能、转化效率更高的太阳能电池生产线

来源：东方日升新能源2021-11-03

产品效率和良率还将通过清洗制绒、cvd、tco、丝印、烧结等工序去碳优化进一步提升。

来源：北极星碳管家网2021-11-02

型隧穿氧化层钝化接触（topcon）、异质结（hjt）晶硅电池技术和下一代太阳电池技术的研发，突破新型高效大尺寸电池组件、高效光伏逆变器、高效导电银浆（银粉）制备及设备、电池等离子体增强化学的气相沉积（pecvd

来源：晶科能源2021-11-01

而实际上，如清洗制绒环节对洁净度要求较高，且工艺复杂；非晶体硅沉积所需pecvd设备较多，镀膜速度较低；此外，双面银丝印与烧结用量大于高温银浆，银粉价格只会越来越贵，这都让hjt难以逾越的成本关和良率关

来源：北极星环保网2021-10-29

积极引进金属有机化合 物化学气相沉积设备（mocvd）、刻蚀机、光刻机、等离子体增 强化学气相沉积设备（pecvd）、固晶机、光谱分析仪等核心设备 研发生产项目。

来源：pvmagazine2021-10-12

型晶圆片的产能为1.3gw，太阳能电池的产能为1gw，光伏组件的产能约为500mw，”该公司一名发言人本周在德国国际太阳能技术博览会（intersolar）上告诉《光伏》杂志，“等离子体化学气相沉积（pcvd

来源：理想万里晖2021-09-30

理想万里晖在异质结领域积极延伸产业链，布局整线战略，现已有系列pecvd设备、pvd设备、整线集成及交钥匙服务，目前已有异质结客户12家，通过验收客户9家。

来源：相章分享VOCs治理技术2021-09-24

array工艺使用外购的专用玻璃基板，充分清洗后在其清洁干净的表面上通过化学气相沉积（cvd）的方法形成半导体膜或绝缘膜，通过溅射镀膜的方法形成金属膜。...3.2 有毒废气处置结果有毒废气主要来自化学气相沉积（cvd）和干法刻蚀（de）等工序中使用sih4、nh3、ph3、nf3、sf6、n2o、cl2等特殊气体，除部分在工艺中反应消耗外，少量以尾气的形式排放

来源：PVInfoLink2021-09-17

hjt 因为没有良率问题的困扰，当前技术路线已经较明确，pecvd法其中主要以rfcvd因为技术成熟度较高且镀膜均匀性较好已经成为制备非晶硅层的主流工艺路线，热丝cvd因为其沉积速率高和对硅片钝化效果好的优势

来源：《化工进展》2021-09-10

1.1 基于tio2的紫外光响应光催化分离膜首先，采用 tio2纳米光催化剂，通过浸渍涂层、逐层自组装、电喷涂、等离子喷涂 （aps） 和化学气相沉积（cvd）等方法在聚合物膜或陶瓷膜表面负载tio2光催化剂

来源：安徽华晟新能源2021-09-09

据介绍，双方团队计划在10层cvd设备上采用新技术进行量产及工艺可行性方面进行研究，开发更低成本、更大产能的cvd设备。目前，华晟正在做前期厂务动力设施的施工准备工作，设备计划于今年11月份搬入现场。

来源：北极星环保网2021-08-26

型隧穿氧化层钝化接触（topcon）、异质结（hjt）晶硅电池技术和下一代太阳电池技术的研发，突破新型高效大尺寸电池组件、高效光伏逆变器、高效导电银浆（银粉）制备及设备、电池等离子体增强化学的气相沉积（pecvd

来源：pv-magazine-2021-08-25

一批拒绝透露名称但表示自己是美国太阳能行业成员的公司，要求美国商务部对少数从马来西亚、泰国和越南进口的晶体硅光伏电池和组件生产商执行反倾销（ad）和反补贴税（cvd）命令。...“所有其他公司”的反补贴税税率为15.24%，尽管阿特斯阳光电力、天合光能和晶科能源的某些公司在上次完成的审查中被处以11.97%的cvd税率。

来源：《 化工进展》2021-08-19

werner等通过化学气相沉积（cvd）方法在镍基中空纤维膜表面负载了gr层。

来源：pv-magazine2021-07-29

然而，pecvd工艺并不常用于钙钛矿沉积。 “可以用很多不同的方式完成钙钛矿镀膜。...技术分歧梅耶博格的hjt生产线基于pecvd（等离子体增强化学气相沉积）工艺，用于生产双结晶体硅(a-si)/非晶硅(a-si)电池。