来源：重庆市人民政府2022-03-21

面向消费电子、数据中心、自动驾驶等领域，提高中高频射频前端芯片、激光雷达、毫米波雷达、驱动芯片、高性能滤波器、微机电系统等特色工艺芯片供给能力。积极发展化合物半导体。...化合物半导体、封装测试等方向，坚持区域集聚，以应用为牵引，以骨干企业为依托，以重大项目为抓手，持续扩大功率半导体领域优势地位，推进硅基光电子技术产业化，加快发展化合物半导体材料及芯片、模拟和数模混合芯片、微机电系统

来源：北极星环保网2022-03-21

面向消费电子、数据中心、自动驾驶等领域，提高中高频射频前端芯片、激光雷达、毫米波雷达、驱动芯片、高性能滤波器、微机电系统等特色工艺芯片供给能力。积极发展化合物半导体。...化合物半导体、封装测试等方向，坚持区域集聚，以应用为牵引，以骨干企业为依托，以重大项目为抓手，持续扩大功率半导体领域优势地位，推进硅基光电子技术产业化，加快发展化合物半导体材料及芯片、模拟和数模混合芯片、微机电系统

来源：北极星储能网2022-02-23

发展mosfet（金属氧化物半导体场效应晶体管）、igbt（大功率绝缘栅双极型晶体管）、高端传感器、mems（微机电系统）、大功率led（发光二极管）器件、半导体激光器等产品。

来源：北极星储能网2022-02-17

巩固提升气体、热释电红外、气象等传感器竞争优势，积极发展基于微机电系统的新型智能传感器，丰富智能传感器、射频卡、嵌入式芯片、传感网络设备等物联网产品体系，做优车联网、医疗物联网、家居物联网产业，协同发展云服务与边缘计算服务

来源：北极星环保网2022-02-17

年产医药合成机械设备5000台/套生产线109 中科煜宸智能制造110 东交智控总部基地111 工业自动化及智能装备生产112 光学材料和光学产品研发及产业化113 减速器及精密齿轮制造基地114 中航金城航空机电系统

来源：河南省人民政府2022-02-17

巩固提升气体、热释电红外、气象等传感器竞争优势，积极发展基于微机电系统的新型智能传感器，丰富智能传感器、射频卡、嵌入式芯片、传感网络设备等物联网产品体系，做优车联网、医疗物联网、家居物联网产业，协同发展云服务与边缘计算服务

来源：北极星太阳能光伏网2022-02-10

对集成电路、化合物半导体、微机电系统（mems）、功率器件产业链企业（含材料、装备、工具软件、设计、制造、封装、测试、配套服务等环节）上一年度购置关键研发设备及工具的，省级按其实际购置金额的20%给予奖补

来源：青海省公共资源交易网2022-02-08

房屋建筑工程包括地上建筑面积、地下建筑面积、层高、户型及户数、停车位数量或比例等;市政工程包括道路宽度、河道宽度、污水处理能力等)、建设标准(房屋建筑工程包括屋面、地面、墙体备种主要装饰面材的材质种类、规格和品牌档次,机电系统包含的类别

来源：中国政府网2022-01-30

开展智能传感器、微机电系统（mems）传感器等关键参数计量测试技术研究，提升物联网感知装备质量水平，打造全频域、全时段、全要素的计量支撑能力。（十四）支撑碳达峰碳中和目标实现。

来源：北极星碳管家网2022-01-30

开展智能传感器、微机电系统（mems）传感器等关键参数计量测试技术研究，提升物联网感知装备质量水平，打造全频域、全时段、全要素的计量支撑能力。（十四）支撑碳达峰碳中和目标实现。

来源：河南人民政府2022-01-27

巩固气体、红外等传感器优势，重点发展基于mems（微机电系统）工艺的智能传感器，加快mems研发中试平台建设，补齐以特色半导体工艺为代表的技术短板，提升世界传感器大会影响力，建设郑州·中国智能传感谷以及开封

来源：北极星碳管家网2022-01-27

巩固气体、红外等传感器优势，重点发展基于mems（微机电系统）工艺的智能传感器，加快mems研发中试平台建设，补齐以特色半导体工艺为代表的技术短板，提升世界传感器大会影响力，建设郑州·中国智能传感谷以及开封

来源：北极星环保网2022-01-27

巩固气体、红外等传感器优势，重点发展基于mems（微机电系统）工艺的智能传感器，加快mems研发中试平台建设，补齐以特色半导体工艺为代表的技术短板，提升世界传感器大会影响力，建设郑州·中国智能传感谷以及开封

来源：河南人民政府2022-01-25

支持龙头企业突破核心关键技术，提升微机电系统（mems）工艺芯片等核心芯片的自主研发、设计、制造能力，引领产业创新发展。其他电子元器件。

来源：北极星碳管家网2022-01-17

以大型商业综合体、星级写字楼、行政办公区为重点开展建筑节能示范，强化公共建筑能耗监测，推动建筑机电系统总体能效提升。

来源：北极星环保网2022-01-13

全力推进浙江宇视科技有限公司安防产品产业化基地，大华安防视频监控产品生产基地，海康威视微机电系统（mems）传感芯片研发及产业化高性能数字安防产品生产等项目。（3）人工智能。

来源：国家电网报2022-01-11

系统级封装（sip）、微机电系统（mems）、纳机电系统（nems）等技术和工艺的突破和应用，将助力电力专用的微型化感知器件开发，推进电力设备的智能化。

来源：上海经信委2021-12-21

二是发展新型传感器，重点发展应用于智能工厂、消费电子、高端装备所需的高精度、高可靠性传感器；攻关微机电系统（mems）等先进传感器技术，推动科研院所成果转化应用。

来源：陕西省人民政府2021-12-15

上游重点扶持和培育各类智能传感器设计、制造和封装产业化，加强智能传感器核心芯片，特别是基于微机电系统（mems）工艺的芯片，以及芯片配套的算法和驱动程序等技术的自主研发，推动新型传感器科技成果转化。

来源：北极星氢能网2021-12-15

上游重点扶持和培育各类智能传感器设计、制造和封装产业化，加强智能传感器核心芯片，特别是基于微机电系统（mems）工艺的芯片，以及芯片配套的算法和驱动程序等技术的自主研发，推动新型传感器科技成果转化。