来源：北极星环保网2016-06-27

重点发展新型传感器、微机电传感器、自检校自诊断自补偿传感器，以及工业用温度、压力、流量、物位以及成分分析等高端传感器、变送器、智能仪器仪表和控制系统，离散工业用磁、光、电以及多参数复合传感器和质量检测系统...集成电路用高性能硅基材料和特种电子气体等专用材料研发和产业化;光刻机、多线切割机、清洗机及cmp抛光机等关键设备研发和产业化;模拟及数模混合电路、微机电系统(mems)、高电压电路、射频电路等特色专用工艺生产线研发

来源：电力专家联盟2016-06-08

主要培养从事微机电系统工程方面的设计制造、生产运行、科技开发和技术经济管理方面的人才。就业前景：本科毕业后能从事微机电系统工程方面的设计制造、生产运行、科技开发和技术经济管理方面工作。...热门院校：四川大学 哈尔滨工业大学 北京师范大学0802机械类080210t微机电系统工程培养目标：本专业是以机、电技术，尤其是微机械为基础的，综合多种学科领域技术的新型交叉学科。

来源：华夏幸福基业股份有限公司2016-05-10

通过与微机电系统(mems)纳米机电系统(nems)技术的结合，纳米发动机产生的机械能将有望为纳米器件和纳米机器人提供动力。

来源：北极星输配电网2016-04-18

围绕能源互联网，积极响应国家新能源发展政策;加强与科研院所、高等院校的合作，大力开发智能电器、自动化信息化等产品技术，包括系统成套设备、电力储能系统、用户侧智能电器产品与系统、智能配电领域微机电应用技术

来源：北极星电力网2016-04-01

加强与中电科集团合作，建设国内领先的微机电系统(mems)化学传感器产业化基地。推广军民两用卫星激光通信技术，加快建设空间激光通信研发基地。

来源：赛迪智库2016-03-16

四、通过石墨烯及其相关材料开发射频用无源组件，如测试天线、电子互连、热扩散层、过滤器和微机电系统等无源组件，以及自混合天线、可用开关控制的屏障、光学透明器件等新型微波天线与器件，拓展其在高频电子领域的应用

来源：北极星电力网2016-03-10

厦门泉州(安溪)经济合作区(湖里园)(湖里区政府)37.厦门强力巨彩led显示屏产业园项目(火炬管委会)38.汽车工业城零部件配套中心(四期)(集美区政府)39.佳格集团葵花油项目(海沧区政府)40.手机微机电

来源：cnBeta2016-03-01

近期，英国萨里大学（universityofsurrey）联合军工厂商baesystems在光微机电系统(opto-mems）设备上的红外成像部分开展合作，通过纳米纹理化（nanotexturing）技术

来源：cnBeta2016-03-01

近期，英国萨里大学（universityofsurrey）联合军工厂商baesystems在光微机电系统(opto-mems）设备上的红外成像部分开展合作，通过纳米纹理化（nanotexturing）技术

来源：仪器信息网2016-02-18

5.微机电系统技术以微米、纳米加工技术为基础制造的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路等于一体的微机电系统(mems)技术等。

来源：《中国高校之窗》2016-01-11

李宏男教授团队的该项技术发明的关键词在于高灵敏度、精确解调、同步采集，为此需要多学科的交叉融合、集成创新，它涉及土木、力学、光学、信号、微机电系统等诸多领域。

来源：雷锋网2015-12-24

不仅如此，很多经过物理/化学气相沉积(pvd/cvd)制备的全固态电池，其整体厚度可能只有几十个微米，因此就可以制成非常小的电源器件，整合到mems(微机电系统)领域中。

来源：中关村在线2015-11-20

如，基于微机电系统(mems)的传感器，它是传感器市场的主打产品。据科技市场研究机构ic-insights的数据显示，2014年全球所售传感器的80%均是基于mems技术。

来源：前瞻产业研究院2015-11-16

2015年起，韩国未来科学创造部和产业通商资源部将投资370亿韩元(约合2.26亿元人民币)用于物联网核心技术以及微机电系统(mems)传感器芯片、宽带传感设备的研发。

来源：传感器专家网微信2015-11-06

制造商们开始找寻创新应用，意法半导体与博世公司都认为，环境传感器将是接下来微机电系统传感器一大重要发展方向。意法半导体技术行销经理苏振隆表示，环境感测将是下一波mems传感器趋势。

来源：北极星环保网2015-10-23

memsfpinirspectrumsensor，全称微机电加工工艺制作法布里珀罗腔型近红外光谱探测器，简称mems-fpi。是一款超小型、低成本的光谱探测器产品。

来源：仪器信息网2015-10-22

memsfpinirspectrumsensor，全称微机电加工工艺制作法布里珀罗腔型近红外光谱探测器，简称mems-fpi。是一款超小型、低成本的光谱探测器产品。

来源：电子产品世界2015-10-13

随着微机电系统、片上系统、无线通信和低功耗嵌入式技术的飞速发展，孕育出的iot为输电线路的现场环境监测提供了全天候、低成本、高可靠性和高冗余度的解决方案。

来源：物联网世界2015-09-10

不论是在家中、车上或工作场所，微机电(mems)应用已悄悄深入消费者生活。尽管不常受到注意，mems技术在过去20年间经历了剧烈的改变。

来源：亚德诺半导体微信2015-08-25

根据待测物的不同，环境检测仪器的监测原理也不同，例如有的是化学反应、有的是物理现象，而像地震、桥梁等振动分析则需要微机电技术。