来源：安徽省发改委2022-02-24

50万立方再生聚苯乙烯保温隔热材料项目禹会区成果年产15.6亿只新型可降解包项目高新区智慧钢琴生产基地项目禹会区速动平板电脑等智能终端产品生产基地项目蚌山区晟光科技年产100万件家电注塑件项目经开区工业mems...万吨丙交酯项目八一年产32万吨硝基氯苯氯碱系列产品项目凯盛年产8万吨纳米二氧化钛生产项目固镇县丰原年产10万吨聚乳酸项目怀远县敏速智能显示终端核心部件和整机制造项目柔性显示材料项目高端特种合金粉末项目二期经开区mems

来源：北极星储能网2022-02-23

重点突破新型mems气敏传感材料与器件，组织工程支架、纳米再生医学及植入体纳米表面改性技术。...发展mosfet（金属氧化物半导体场效应晶体管）、igbt（大功率绝缘栅双极型晶体管）、高端传感器、mems（微机电系统）、大功率led（发光二极管）器件、半导体激光器等产品。

来源：安徽省发改委2022-02-23

50万立方再生聚苯乙烯保温隔热材料项目禹会区成果年产15.6亿只新型可降解包项目高新区智慧钢琴生产基地项目禹会区速动平板电脑等智能终端产品生产基地项目蚌山区晟光科技年产100万件家电注塑件项目经开区工业mems...万吨丙交酯项目八一年产32万吨硝基氯苯氯碱系列产品项目凯盛年产8万吨纳米二氧化钛生产项目固镇县丰原年产10万吨聚乳酸项目怀远县敏速智能显示终端核心部件和整机制造项目柔性显示材料项目高端特种合金粉末项目二期经开区mems

来源：北极星环保网2022-02-23

50万立方再生聚苯乙烯保温隔热材料项目禹会区成果年产15.6亿只新型可降解包项目高新区智慧钢琴生产基地项目禹会区速动平板电脑等智能终端产品生产基地项目蚌山区晟光科技年产100万件家电注塑件项目经开区工业mems...万吨丙交酯项目八一年产32万吨硝基氯苯氯碱系列产品项目凯盛年产8万吨纳米二氧化钛生产项目固镇县丰原年产10万吨聚乳酸项目怀远县敏速智能显示终端核心部件和整机制造项目柔性显示材料项目高端特种合金粉末项目二期经开区mems

来源：河南省发改委2022-02-22

432 河南金石普惠科技有限公司智能生产线项目433 新乡市mems中试基地434 大块镇高端装备制造产业园435 河南省裕鑫新能源科技有限公司半导体芯片生产设备配套控温及冷却系统项目436 新乡市尔迪艾装备科技有限公司中医药艾草系列产品智能化生产基地项目

来源：北极星环保网2022-02-22

毫米以上无缝管线管46 江都三药抗肿瘤片剂等47 江都博智机器人智能制造48 江都福润药品高端制剂及精细原料49 邗江杰利新能源汽车电子及大功率半导体晶圆50 邗江揽坤高低压成套智能电气装备51 扬州奥力威汽车mems

来源：北极星环保网2022-02-16

专栏2 集成电路产业发展路线 发展方向 发展存储器芯片、面板显示及触控驱动芯片、家电芯片、汽车电子芯片、人工智能芯片、网络通信芯片、mems传感器、高端电力电子功率器件等特色优势产品，促进智能传感器...推动重大项目建设，提升动态随机存取存储器（dram）芯片、显示驱动、微处理器（mcu）、cmos图像传感器、mems传感器等芯片规模化生产能力，加快布局gaas、gan、sic等化合物半导体材料及器件生产线

来源：北极星环保网2022-02-16

加快布局5g、人工智能、大数据、云计算、物联网、高端软件、mems等产业，支持济南建设“中国算谷”，培育济南超算中心科技园、浪潮青岛大数据产业园、华为龙口大数据产业园等产业平台，建设国家超算中心、云数智协同创新中心

来源：北极星太阳能光伏网2022-02-10

对集成电路、化合物半导体、微机电系统（mems）、功率器件产业链企业（含材料、装备、工具软件、设计、制造、封装、测试、配套服务等环节）上一年度购置关键研发设备及工具的，省级按其实际购置金额的20%给予奖补

来源：中国政府网2022-01-30

开展智能传感器、微机电系统（mems）传感器等关键参数计量测试技术研究，提升物联网感知装备质量水平，打造全频域、全时段、全要素的计量支撑能力。（十四）支撑碳达峰碳中和目标实现。

来源：北极星碳管家网2022-01-30

开展智能传感器、微机电系统（mems）传感器等关键参数计量测试技术研究，提升物联网感知装备质量水平，打造全频域、全时段、全要素的计量支撑能力。（十四）支撑碳达峰碳中和目标实现。

来源：重庆市人民政府2022-01-29

电子产业，以发展集成电路、电子核心元器件为重点，进一步做优做强产业集群，推进华润晶圆制造及先进封装、四联传感器mems制造等项目建设，加快康佳microled关键技术研发。

来源：重庆市人民政府2022-01-29

电子产业，以发展集成电路、电子核心元器件为重点，进一步做优做强产业集群，推进华润晶圆制造及先进封装、四联传感器mems制造等项目建设，加快康佳microled关键技术研发。

来源：北极星储能网2022-01-28

电子产业，以发展集成电路、电子核心元器件为重点，进一步做优做强产业集群，推进华润晶圆制造及先进封装、四联传感器mems制造等项目建设，加快康佳microled关键技术研发。

来源：河南人民政府2022-01-27

巩固气体、红外等传感器优势，重点发展基于mems（微机电系统）工艺的智能传感器，加快mems研发中试平台建设，补齐以特色半导体工艺为代表的技术短板，提升世界传感器大会影响力，建设郑州·中国智能传感谷以及开封

来源：北极星碳管家网2022-01-27

巩固气体、红外等传感器优势，重点发展基于mems（微机电系统）工艺的智能传感器，加快mems研发中试平台建设，补齐以特色半导体工艺为代表的技术短板，提升世界传感器大会影响力，建设郑州·中国智能传感谷以及开封

来源：北极星环保网2022-01-27

巩固气体、红外等传感器优势，重点发展基于mems（微机电系统）工艺的智能传感器，加快mems研发中试平台建设，补齐以特色半导体工艺为代表的技术短板，提升世界传感器大会影响力，建设郑州·中国智能传感谷以及开封

来源：重庆市人民政府2022-01-27

电子产业，以发展集成电路、电子核心元器件为重点，进一步做优做强产业集群，推进华润晶圆制造及先进封装、四联传感器mems制造等项目建设，加快康佳microled关键技术研发。

来源：安徽发展改革委员会2022-01-26

推动重大项目建设，提升动态随 机存取存储器（dram）芯片、显示驱动、微处理器（mcu）、 cmos 图像传感器、mems 传感器等芯片规模化生产能力，加 快布局 gaas、gan、sic 等化合物半导体材料及器件生产线

来源：重庆市人民政府2022-01-26

电子产业，以发展集成电路、电子核心元器件为重点，进一步做优做强产业集群，推进华润晶圆制造及先进封装、四联传感器mems制造等项目建设，加快康佳microled关键技术研发。