来源：北极星环保网2022-02-16

专栏2 集成电路产业发展路线 发展方向 发展存储器芯片、面板显示及触控驱动芯片、家电芯片、汽车电子芯片、人工智能芯片、网络通信芯片、mems传感器、高端电力电子功率器件等特色优势产品，促进智能传感器...推动重大项目建设，提升动态随机存取存储器（dram）芯片、显示驱动、微处理器（mcu）、cmos图像传感器、mems传感器等芯片规模化生产能力，加快布局gaas、gan、sic等化合物半导体材料及器件生产线

来源：北极星环保网2022-02-16

加快布局5g、人工智能、大数据、云计算、物联网、高端软件、mems等产业，支持济南建设“中国算谷”，培育济南超算中心科技园、浪潮青岛大数据产业园、华为龙口大数据产业园等产业平台，建设国家超算中心、云数智协同创新中心

来源：北极星太阳能光伏网2022-02-10

对集成电路、化合物半导体、微机电系统（mems）、功率器件产业链企业（含材料、装备、工具软件、设计、制造、封装、测试、配套服务等环节）上一年度购置关键研发设备及工具的，省级按其实际购置金额的20%给予奖补

来源：中国政府网2022-01-30

开展智能传感器、微机电系统（mems）传感器等关键参数计量测试技术研究，提升物联网感知装备质量水平，打造全频域、全时段、全要素的计量支撑能力。（十四）支撑碳达峰碳中和目标实现。

来源：北极星碳管家网2022-01-30

开展智能传感器、微机电系统（mems）传感器等关键参数计量测试技术研究，提升物联网感知装备质量水平，打造全频域、全时段、全要素的计量支撑能力。（十四）支撑碳达峰碳中和目标实现。

来源：重庆市人民政府2022-01-29

电子产业，以发展集成电路、电子核心元器件为重点，进一步做优做强产业集群，推进华润晶圆制造及先进封装、四联传感器mems制造等项目建设，加快康佳microled关键技术研发。

来源：重庆市人民政府2022-01-29

电子产业，以发展集成电路、电子核心元器件为重点，进一步做优做强产业集群，推进华润晶圆制造及先进封装、四联传感器mems制造等项目建设，加快康佳microled关键技术研发。

来源：北极星储能网2022-01-28

电子产业，以发展集成电路、电子核心元器件为重点，进一步做优做强产业集群，推进华润晶圆制造及先进封装、四联传感器mems制造等项目建设，加快康佳microled关键技术研发。

来源：河南人民政府2022-01-27

巩固气体、红外等传感器优势，重点发展基于mems（微机电系统）工艺的智能传感器，加快mems研发中试平台建设，补齐以特色半导体工艺为代表的技术短板，提升世界传感器大会影响力，建设郑州·中国智能传感谷以及开封

来源：北极星碳管家网2022-01-27

巩固气体、红外等传感器优势，重点发展基于mems（微机电系统）工艺的智能传感器，加快mems研发中试平台建设，补齐以特色半导体工艺为代表的技术短板，提升世界传感器大会影响力，建设郑州·中国智能传感谷以及开封

来源：北极星环保网2022-01-27

巩固气体、红外等传感器优势，重点发展基于mems（微机电系统）工艺的智能传感器，加快mems研发中试平台建设，补齐以特色半导体工艺为代表的技术短板，提升世界传感器大会影响力，建设郑州·中国智能传感谷以及开封

来源：重庆市人民政府2022-01-27

电子产业，以发展集成电路、电子核心元器件为重点，进一步做优做强产业集群，推进华润晶圆制造及先进封装、四联传感器mems制造等项目建设，加快康佳microled关键技术研发。

来源：安徽发展改革委员会2022-01-26

推动重大项目建设，提升动态随 机存取存储器（dram）芯片、显示驱动、微处理器（mcu）、 cmos 图像传感器、mems 传感器等芯片规模化生产能力，加 快布局 gaas、gan、sic 等化合物半导体材料及器件生产线

来源：重庆市人民政府2022-01-26

电子产业，以发展集成电路、电子核心元器件为重点，进一步做优做强产业集群，推进华润晶圆制造及先进封装、四联传感器mems制造等项目建设，加快康佳microled关键技术研发。

来源：河南人民政府2022-01-25

支持龙头企业突破核心关键技术，提升微机电系统（mems）工艺芯片等核心芯片的自主研发、设计、制造能力，引领产业创新发展。其他电子元器件。

来源：北极星环保网2022-01-25

发展模拟及数模混合电路、高端传感器、微电机系统（mems）、大功率器件、高电压电路、微波射频电路等特色专用工艺生产线。引进发展集成电路封装测试知名企业，培育壮大产业规模和竞争实力。现代通信。

来源：北极星环保网2022-01-13

全力推进浙江宇视科技有限公司安防产品产业化基地，大华安防视频监控产品生产基地，海康威视微机电系统（mems）传感芯片研发及产业化高性能数字安防产品生产等项目。（3）人工智能。

来源：北极星太阳能光伏网2022-01-11

，2021年半导体行业整体景气度高，功率半导体国产替代加速，同时，公司扩产的产能逐步释放，公司半导体业务营业收入大幅增长；公司在前几年战略部署的汽车电子产品市场占有率不断提升，集成电路和ppak封装、mems

来源：国家电网报2022-01-11

系统级封装（sip）、微机电系统（mems）、纳机电系统（nems）等技术和工艺的突破和应用，将助力电力专用的微型化感知器件开发，推进电力设备的智能化。

来源：上海经信委2021-12-21

二是发展新型传感器，重点发展应用于智能工厂、消费电子、高端装备所需的高精度、高可靠性传感器；攻关微机电系统（mems）等先进传感器技术，推动科研院所成果转化应用。