来源：北极星太阳能光伏网2022-04-11

在此期间，金刚玻璃和迈为两个公司的技术团队的共同努力之下，优化稳定微晶产线的基础生产条件并首期获得24.28%转换效率的成绩；之后克服重重困难开展210异质结电池产线cvd设备的微晶工艺调试；近期，达成首轮微晶工艺参数优化

来源：北极星太阳能光伏网翻译2022-03-29

ad/cvd关税可能高达50%~250%，这一不确定性水平令美国太阳能行业感到震惊。...在11月10日的一项决定中，doc的ad-cvd办公室主任abdelali elouaradia表示，a-smacc坚持不让公众知道其成员公司的名称将“阻止商务部获取和考虑”与调查有关的信息。

来源：北极星太阳能光伏网2022-03-28

据了解，这条生产线选用了迈为独立研发的hjt3.0设备，该设备具有大尺寸、半片、薄片化等优点，尤其在pecvd和pvd两个关键设备中可实现全程无行车，并且支持连续镀膜，可以有效提高转化效率。

来源：湖南省工信厅2022-03-17

红太阳光电“新一代 m82200-11/um 型三合一管式 pecvd 光伏镀膜设备”，是业内唯一可以实现单台 200mw 以上产能的管式镀膜设备，达到国际领先水平，对光伏装备 pecvd 镀膜设备的发展具有重大推动作用

来源：江苏省科学技术厅2022-02-09

1013 超高效异质结电池关键技术研发研究内容：研究超高效异质结电池的叠层结构及表界面钝化方法，研究 cvd 非晶硅掺杂层的微晶结构及带隙匹配，研究氧化非晶硅对带宽的影响及电池短路电流的影响，研究高透过率及高导电性的

来源：ABB中国2022-02-09

股份有限公司（简称“中微公司”）致力为全球集成电路和led芯片制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案，其开发的电容耦合等离子体（ccp）刻蚀设备、电感耦合等离子体（icp）刻蚀设备、深硅刻蚀设备及mocvd

来源：北极星储能网2022-01-24

重点支持研发生产全自动大面积pecvd（等离子增强化学气相沉积）、多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、高精度丝网印刷机、高温烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备；大面积tco（透明导电氧化物

来源：合肥市经济和信息化局2022-01-20

重点支持研发生产全自动大面积pecvd（等离子增强化学气相沉积）、多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、高精度丝网印刷机、高温烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备；大面积 tco（透明导电氧化物

来源：北极星太阳能光伏网2021-12-29

理想万里晖目前主要产品为用于hjt 电池生产的等离子体化学气相沉积 （pecvd）设备，未来根据客户需求提供hjt电池生产线整线交钥匙工程。...理想万里晖成立于2013年5月21日，公司致力于实现太阳能电池异质结领域装备的国产替代及降本增效， 开发的量产型vhf-pecvd设备助力客户获得异质结电池转换效率达26.30%。

来源：上海经信委2021-12-21

2.太阳能装备以提高效率、升级换代为重点，突破大型高效还原炉、大尺寸单晶炉技术；提升背钝化ald设备、高产能pecvd设备、高效topcon和hjt电池镀膜设备、离子注入等设备技术水平；加强新型高效电池工艺装备

来源：北极星太阳能光伏网2021-12-10

4个环节的设备均选用迈为独立研发的hjt3.0设备，具有大尺寸、半片、薄片化等特点，尤其在pecvd和pvd两个关键设备中全程无行车，并支持连续镀膜，可以有效降低成本、提高转化效率。

来源：北极星太阳能光伏网2021-12-01

据悉，近日，迈为股份与rec集团签订了400mw hjt异质结电池整线设备订单，将供应pecvd、pvd、丝网印刷等hjt电池核心生产设备，用于rec位于新加坡的400mw hjt电池生产线，该产线将采用

来源：安徽华晟新能源2021-11-11

该产线计划使用华晟开发的单面微晶和双面微晶工艺与迈为开发的大产能pecvd、pvd，并结合最新的自动化智能制造技术，实现对单硅片的全制程数据追踪与工艺自控制，做到业界更先进、更智能、转化效率更高的太阳能电池生产线

来源：东方日升新能源2021-11-03

产品效率和良率还将通过清洗制绒、cvd、tco、丝印、烧结等工序去碳优化进一步提升。

来源：北极星碳管家网2021-11-02

型隧穿氧化层钝化接触（topcon）、异质结（hjt）晶硅电池技术和下一代太阳电池技术的研发，突破新型高效大尺寸电池组件、高效光伏逆变器、高效导电银浆（银粉）制备及设备、电池等离子体增强化学的气相沉积（pecvd

来源：晶科能源2021-11-01

而实际上，如清洗制绒环节对洁净度要求较高，且工艺复杂；非晶体硅沉积所需pecvd设备较多，镀膜速度较低；此外，双面银丝印与烧结用量大于高温银浆，银粉价格只会越来越贵，这都让hjt难以逾越的成本关和良率关

来源：北极星环保网2021-10-29

积极引进金属有机化合 物化学气相沉积设备（mocvd）、刻蚀机、光刻机、等离子体增 强化学气相沉积设备（pecvd）、固晶机、光谱分析仪等核心设备 研发生产项目。

来源：pvmagazine2021-10-12

型晶圆片的产能为1.3gw，太阳能电池的产能为1gw，光伏组件的产能约为500mw，”该公司一名发言人本周在德国国际太阳能技术博览会（intersolar）上告诉《光伏》杂志，“等离子体化学气相沉积（pcvd

来源：理想万里晖2021-09-30

理想万里晖在异质结领域积极延伸产业链，布局整线战略，现已有系列pecvd设备、pvd设备、整线集成及交钥匙服务，目前已有异质结客户12家，通过验收客户9家。

来源：相章分享VOCs治理技术2021-09-24

array工艺使用外购的专用玻璃基板，充分清洗后在其清洁干净的表面上通过化学气相沉积（cvd）的方法形成半导体膜或绝缘膜，通过溅射镀膜的方法形成金属膜。...3.2 有毒废气处置结果有毒废气主要来自化学气相沉积（cvd）和干法刻蚀（de）等工序中使用sih4、nh3、ph3、nf3、sf6、n2o、cl2等特殊气体，除部分在工艺中反应消耗外，少量以尾气的形式排放