来源：北极星太阳能光伏网2012-05-23

刻蚀气体在基片的上方被引入等离子体源腔室，其流量由流量控制阀来控制，控制阀可以自动快速地调节气体流量。...3.icp刻蚀参数对刻蚀结果的影响影响icp刻蚀结果的因素有很多，其中直接工艺因素有刻蚀气体、气体流量、工作气压、射频功率、偏压、电极位置和温度等。

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-22

板卡的ａ／ｄ通道采样检测实际流量，所有气路的气体流量设定值和检测值均在触摸显示器上显示。...自动控制时，控制单元经ｐｃｌ－７２６板卡送出控制信号驱动１６０２４ｄ－ａ固态继电器，再由１６０２４ｄ－ａ固态机电气驱动相应的电磁阀，经ｐｃｌ－７２６板卡送出ｄ／ａ信号控制气体流量，同时经ｐｃｌ－８１２ｐｇ

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-05-08

4.硅片吹不干调整吹干气体流量（作者赛维工艺部）

来源：北极星太阳能光伏网2012-04-23

在印刷状况稳定的前提下，温区温度、气体流量、带速是烧结的三个关键参数。2、由于要形成合金必须达到一定的温度，ag、al与si形成合金的稳定又不同，所以必须设定不同的温度来分别实现合金化。

来源：北极星太阳能光伏网2012-04-19

图3气体流量对效率的影响四、结语可以看出，管式pecvd设备的工艺气体流量的改变，会直接改变膜厚、折射率、吸光系数、少子寿命、转换效率，而其变化不是单调上升或单调下降的，通过该技术分析，可以避免在工艺中为了获得膜均匀而忽略了流量是和电池转换效率密切相关的事实

来源：21IC电子网2011-08-10

在此一共选取了沉积压强(6组)、微波功率(5组)、气体流量比(11组)、工艺腔温度(4组)四个变量。...由于影响pecvd系统淀积效果的参数很多，如气体流量和流量比，工艺腔温度，射频功率，沉积气压等等，而且对不同的pecvd设备会有不同的最佳参数，我们有必要就主要的控制参数进行研究，摸索出在这台pecvd

来源：中国电子科技集团公司第四十八研究所副所长 伍三忠2011-06-15

同时通过工艺改进和装备技术的发展，带动了电池效率的不断提升，如在制绒方面，通过酸碱分离、在线喷淋、自动浓度校正等技术的实施，确保制绒效果的一致性;在扩散方面，通过压力平衡系统、气体流量与温度自平衡系统等技术的相继开发

来源：互联网2011-03-14

由于实际运用中需要精确的气体流量控制，mcs系列质量流量控制器能够对腐蚀性气体进行准确的流量管理，对上游气体流量变化作出反应，同时还能在100毫秒之内获得并且记录流量定位点。

来源：北极星电力网新闻中心2010-10-15

该公司最新推出的jdf200-3fs太阳能电池扩散炉可供太阳能电池片生产线上125mm×125mm、156mm×156mm方片扩散、氧化、退火等工艺使用，主要特点和优势如下： ◆工业计算机控制系统，对炉温、进退舟、气体流量