来源：千家网2015-04-17

mems(微机电系统，主要包括压力、加速度和航向角传感器以及驱动器)器件约占传感器/驱动器整体市场份额的80%，2014年mems器件销售额增长约5%，创出74亿美元的新高(2013年销售额为70亿美元

来源：与非网2015-04-16

imagination technologies(img.l)宣布，韩国的mems(微机电系统)传感器开发商standing egg公司已授权选用imagination的mips warrior m-class

来源：新材料在线2015-04-02

面向射频应用的无源组件该课题旨在开发与测试天线、电子互连、热扩散层、过滤器和微机电系统等无源组件在高频电子领域的不同应用。

来源：OFweek 电子工程网2014-11-28

晶方科技全球第二大wlcsp封测服务商，公司主营业务为集成电路的封装测试业务，主要为影像传感芯片、环境光感应芯片、微机电系统(mems)、发光电子器件(led)等提供晶圆级芯片尺寸封装(wlcsp)及测试服务

来源：OFweek可穿戴设备网2014-11-28

4、飞思卡尔(freescale) 飞思卡尔采用微机电系统(mems)支持传感技术。基于mems的传感器产品提供感应、处理、甚至控制周围环境的接口。...(简称adi)推出首款全集成imems(集成微机电系统)加速度计和陀螺仪。这类产品已通过ts-16949和qs9000认证，adi公司将继续改进产品和工艺，满足不断增长的客户需求。

来源：OFweek 电子工程网2014-11-14

意法半导体在很多不同的应用领域位列世界前茅，包括工业用半导体、打印机喷头和mems(微机电系统)传感器，mpeg解码器和智能卡芯片，汽车集成电路、计算机外设、无线和移动通信芯片。

来源：OFweek 工控网2014-10-31

九、芯敏微系统上海芯敏微系统技术有限公司成立于2006年，是一家从事基于mems(微机电系统)技术的传感器芯片的研发、生产和销售的技术型公司。

来源：OFweek 工控网2014-10-30

六、akusticaakustica是博世集团旗下全球唯一采用互补式金属氧化物半导体(cmos)制程制造微机电系统麦克风的设计公司。

来源：OFweek 可穿戴设备网2014-09-10

飞思卡尔采用微机电系统(mems)支持传感技术。基于mems的传感器产品提供感应、处理、甚至控制周围环境的接口。飞思卡尔基于mems的传感器将非常小的机械和电子元件组合在单一芯片上。...意法半导体拥有世界上最强大的产品阵容，既有知识产权含量较高的专用产品，也有多领域的创新产品，例如分立器件、高性能微控制器、安全型智能卡芯片、微机电系统(mems)器件。

来源：北极星电力网2014-08-04

122-19897-6书名:三维电子封装的硅通孔技术作者:【美】john hlau(刘汉诚)著定价:148.0出版社:化学工业出版社出版时间: 2014-07内容简介:本书系统讨论了用于电子、光电子和微机电系统

来源：工信部网站2014-06-25

大力发展模拟及数模混合电路、微机电系统(mems)、高压电路、射频电路等特色专用工艺生产线。增强芯片制造综合能力，以工艺能力提升带动设计水平提升，以生产线建设带动关键装备和材料配套发展。

来源：科学时报 作者：张娟2014-02-11

面向射频应用的无源组件该课题旨在开发与测试天线、电子互连、热扩散层、过滤器和微机电系统等无源组件在高频电子领域的不同应用。

来源：元器件交易网2014-01-06

led、微机电系统、智能传感器、新型电力电子器件以及金属有机源化学气相沉积装备的产业化进程将加速发展。我们认为《规划》的实施，对于电子元器件产业构成长期的利好。

来源：前瞻网2013-12-10

在医疗领域方面，新兴微机电系统传感器(mems)发展速度较快，表现抢眼。目前，医疗及生物医疗领域已经成为mems传感器最大的潜在市场。

来源：新华网2013-12-02

随着微机电系统的快速发展、便携式电子设备和无线传感网、物联网的广泛应用，微型化成为电子器件的重要发展方向，这就要求提供动力的器件也必须兼具小的体积和高的效率。

来源：中自网2013-11-06

此外，在汽车电子领域，igbt也已经代替达林顿管成为汽车点火器的首选器件;而意法半导体亚太区模拟、功率及微机电系统事业部总监宝罗尔在接受记者采访时则表示，大电流igbt也越来越多地应用到混合动力汽车的主转换器中

来源：CIOAge.com2013-09-24

在一定的阶段里，我国的信息化产业的发展将围绕重创新、抓应用、建环境、促发展、见效益，以制造业信息化行动为主线，大力发展新兴制造业和民营制造业，重点攻克深海载人潜水器、微机电系统(mems)、数据库管理系统及其应用

来源：www.cechina.cn2013-09-13

就单一的传感器而言，微传感器是指尺寸微小的传感器，如敏感元件的尺寸从微米级到毫米级、甚至达到纳米级，主要采用精密加工、微电子以及微机电系统技术，实现传感器尺寸的缩小;就集成的传感器而言，微传感器是指将微小的敏感元件

来源：中自网2013-08-30

它是新一代触屏智能机和机器人程序的福音，它能改善人机交互，生物成像和光学微机电系统(mems)等等。物联网机器人不像人的其他四个感官视觉，听觉，嗅觉和味觉在实验室中，触觉依然很顽固地难以被模仿。

来源：hc3602013-08-15

就单一的传感器而言，微传感器是指尺寸微小的传感器，如敏感元件的尺寸从微米级到毫米级、甚至达到纳米级，主要采用精密加工、微电子以及微机电系统技术，实现传感器尺寸的缩小;就集成的传感器而言，微传感器是指将微小的敏感元件