来源:中国电力电子产业网2014-05-27
此外,teron sl650 与超紫外线 (euv) 检测技术兼容,能够与集成电路制造商及早协作,满足晶圆厂对 euv 光罩的要求。...针对 teron sl650,我们的团队在适合集成电路晶圆厂的一个紧凑平台上采用了最先进的光罩检测技术,生产出一款具有先进灵敏度、高产能和可扩展至未来节点能力的光罩质量控制系统。
来源:北京市政府2014-05-07
三是研究高通量、高精准检测技术,开发智能化、数字化快速检测试剂和设备。专项五:重大疾病科技攻关与管理重点组织实施十大疾病科技攻关与管理、生命科学前沿技术和首都特色学科创新研究等任务。