来源：中国钢材网2012-05-10

目前，多晶硅薄膜常用的制备方法有等离子体增强化学气相沉积，热丝化学气相沉积，准分子激光晶化，固相晶化，快速热处理等。现有研究采用真空蒸镀法制备非晶薄膜后经铝诱导晶化得到多晶硅薄膜。

来源：中国科学院2012-05-10

微电子所微电子设备研究室（八室）夏洋研究员带领的研究团队原创性地提出利用等离子体浸没离子注入技术制备黑硅材料。...该团队利用自行研制的等离子体浸没离子注入机（国家自然科学基金委、中科院装备项目、方向性项目支持）制备了多种微观结构的黑硅材料，在可见光波段黑硅的平均反射率为0.5%，与飞秒激光制备黑硅的反射率相当。

来源：中国能源报2012-05-09

这些孤立个体会冷却下来，从而导致等离子体消失不见。这些孤立个体很容易识别，可以选择性地用微波将其加热，这有可能使等离子体保持稳定状态。...尽管目前为止，仍然无法解决所有的难题，但通过实验表明，在反应堆中的等离子体密度存在一个实际的限制。如果超过一定的密度，等离子体就会变得极不稳定，不仅会消耗能量，最终还会消失。

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-07

氢钝化可采用离子注入或等离子体处理。在多晶硅太阳电池表面采用pecvd法镀上一层氮化硅减反射膜，由于硅烷分解时产生氢离子，对多晶硅可产生氢钝化的效果。

来源：电子工程世界2012-05-04

然后采用等离子体化学气相沉积法(pecvd)沉积非晶硅层，以形成叠层太阳电池结构，这是整个制造过程中最关键的工艺步骤。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-04-27

对于这种情况，可以下调等离子体的功率，但是同时也会降低等离子体的稳定性。...等离子体作为准中性气体，它的状态容易被外部条件的改变而发生变化。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-04-25

采用等离子体增强气相沉积法制备了双层氮化硅作为多晶硅太阳电池的减反膜，理论模拟了双层氮化硅的光学参数，实际测试情况和理论模拟吻合良好。

来源：北极星太阳能光伏网2012-04-19

在用等离子体形成的氮化硅膜的折射率与致密性没有必然的联系，并不是折射率越高致密性就一定高。这点与用lpcvd所形成的氮化硅膜是有差异的。...1.2pecvd过程中的微观过程（1）气体分子与等离子体中的电子发生碰撞，产生出活性基团和离子。其中，形成离子的几率要低得多，因为分子离化过程所需的能量较高。（2）活性基团可以直接扩散到衬底表面。

来源：solarF2012-04-13

冶金法有别于改良西门子法和硅烷法的化学方法，冶金法是利用物理方法生产太阳能级多晶硅，其典型工艺是将纯度好的冶金硅进行水平区熔单向凝固成硅锭，去除硅锭的外表部分和金属杂质聚集的部分后，将硅锭粗粉碎并清洗，并在等离子体熔解炉中去除硼杂质

来源：新华网2012-04-13

据了解，cc导体采购包是等离子体所继环向场(tf)、极向场(pf)后承担的第三个iter导体采购包。此前2011年9月8日，等离子体所完成了第一根tf认证导体，同年11月完成了第一根pf认证导体。

来源：光伏制造2012-04-09

（2）直流法：使用直流源激发等离子体，进一步离化氨气和硅烷气。样品也不与等离子体接触。这种设备由荷兰的otb公司生产。...另外，等离子体直接法在大面积沉积时会造成由于高频波长所带来的附加的不均匀性。

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-31

3 冶金法物理法等离子体法据资料报导，日本川崎制铁公司采用冶金法制得的多晶硅已在世界上最大的太阳能电池厂(sharp公司)应用，现已形成800吨/年的生产能力，全量供给sharp公司。...主要工艺是：选择纯度较好的工业硅(即冶金硅)进行水平区熔单向凝固成硅锭，去除硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分后，进行粗粉碎与清洗，在等离子体融解炉中去除硼杂质，再进行第二次水平区熔单向凝固成硅锭，去除第二次区熔硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-27

主要工艺是：选择纯度较好的工业硅进行水平区熔单向凝固成硅锭，去除硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分后，进行粗粉碎与清洗，在等离子体融解炉中去除硼杂质，再进行第二次水平区熔单向凝固成硅锭，去除第二次区熔硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-19

2012年3月，东方集成在上海某研究所成功安装了sentech si500d等离子体沉积系统。...本次的安装，体现了东方集成为客户考虑，将工作做完美的一贯宗旨;也标志着，sentech中国区等离子体刻腐蚀和沉积系统业务在与东方集成的合作中进入了飞速、稳定的发展。

来源：九江新闻网2012-03-15

据悉，超日公司于2010年在深交所上市，超日电池片生产工艺以及太阳能电池组件上已取得了多项技术突破，尤其是清洗工艺中的表面织构化技术、扩散工艺中的均匀发射极制备技术、等离子体边缘刻蚀最优化技术处于国内领先水平

来源：中新网2012-03-08

由于太阳风暴中的成分主要是带电等离子体，并以每小时150万～300万公里的速度冲向地球和其他行星。因此，它会对地球的空间环境产生巨大的冲击。...由于太阳风暴中的气团主要内容是带电等离子体，并以每小时150万到300万公里的速度闯入太空，因此，它会对地球的空间环境产生巨大的冲击。太阳风暴爆发时，将影响通讯、威胁卫星、破坏臭氧层。

来源：核工业西南物理研究院2012-02-28

hl-2a已实现高参数条件下连续重复稳定的偏滤器位形放电，运行参数达到：纵场2.7t，等离子体电流433ka，等离子体放电时间3.15s，平顶时间2.5s，辅助加热功率2.5mw，等离子体线平均密度大于

来源：北极星太阳能光伏网2012-02-27

支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积（pecvd）、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能光伏电池片生产线设备和pecvd等薄膜太阳能光伏电池生产设备

来源：中商情报网2012-02-24

支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积(pecvd)、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备和pecvd等薄膜光伏电池生产设备。

来源：工信部网站2012-02-24

重点发展等离子体增强化学气相沉积(pecvd)、激光切割、刻蚀、丝网印刷以及封装检测等设备，鼓励开发晶硅和薄膜太阳能电池成套设备生产线。