来源：科技部网站、中央政府门户网站2012-05-24

近日，科技部基础司在四川绵阳组织召开国际热核聚变实验堆(iter)计划专项2012年国内研究项目启动会，正式启动聚变堆燃烧等离子体诊断关键技术研究等6个项目。...会议特别邀请了国家磁约束核聚变专家委员会两位召集人、中国科学院等离子体物理研究所李建刚所长和中国核工业集团西南物理研究院刘永院长分别介绍了全超导托卡马克装置东方超环和中国环流器二号装置的最新物理实验成果和下一步工作设想

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-24

其化学反应方程式为利用高频电源辉光放电产生等离子体对化学气相沉积过程施加影响的技术被称为等离子体增强cvd。电子和离子的密度达109～1012个/cm3，平均电子能量可达1～10ev。...pecvd技术原理是利用低温等离子体作能量源，样品置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电(或另加发热体)使样品升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一系列化学反应和等离子体反应，在样品表面形成固态薄膜

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-23

但是降低工作气压或者增加口径会导致等离子体密度的降低。解决这个矛盾的一种方案是采用高频放电的方法来产生等离子体，这样可以使电源功率更有效地耦合给等离子体，由此可以提高等离子体的密度。

来源：PV-Tech2012-05-23

中国科学院等离子体物理研究所太阳能材料与工程研究室通过对有机金属螯合物作为量子点敏化剂前驱体的可能性的研究，发展了量子点敏化太阳电池(qdscs)中量子点制备的新方法。

来源：中国能源报2012-05-23

据理想能源设备(上海)有限公司展台工作人员介绍，由该公司研发制造的国内首台代表国际尖端水平的薄膜太阳能电池关键生产设备等离子体增强型化学气相沉积设备，在去年成功下线后已实现产业化，并因其质优价廉特性而赢得国内企业追捧

来源：中国电力报2012-05-21

等离子体无燃油点火技术、催化剂烟气脱硝技术、电站余热综合利用技术、自动化dcs控制技术、海水淡化技术一大批核心技术的开发应用和推广，迅速占领了国内外市场，不但为公司带来了丰厚的收益，为国电新能源战略提供强大的科技支撑

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-18

由于太阳风暴中的成分主要是带电等离子体，并以每小时150万～300万公里的速度冲向地球和其他行星。因此，它会对地球的空间环境产生巨大的冲击。

来源：ne21.com2012-05-15

太阳能电池就是以tco薄膜为衬底生长的，用等离子体增强化学气相沉积法（pecvd）生长的太阳能电池层也称为有效层。有效层包括两个pin串联的双结结构。

来源：中国钢材网2012-05-10

目前，多晶硅薄膜常用的制备方法有等离子体增强化学气相沉积，热丝化学气相沉积，准分子激光晶化，固相晶化，快速热处理等。现有研究采用真空蒸镀法制备非晶薄膜后经铝诱导晶化得到多晶硅薄膜。

来源：中国科学院2012-05-10

微电子所微电子设备研究室（八室）夏洋研究员带领的研究团队原创性地提出利用等离子体浸没离子注入技术制备黑硅材料。...该团队利用自行研制的等离子体浸没离子注入机（国家自然科学基金委、中科院装备项目、方向性项目支持）制备了多种微观结构的黑硅材料，在可见光波段黑硅的平均反射率为0.5%，与飞秒激光制备黑硅的反射率相当。

来源：中国能源报2012-05-09

这些孤立个体会冷却下来，从而导致等离子体消失不见。这些孤立个体很容易识别，可以选择性地用微波将其加热，这有可能使等离子体保持稳定状态。...尽管目前为止，仍然无法解决所有的难题，但通过实验表明，在反应堆中的等离子体密度存在一个实际的限制。如果超过一定的密度，等离子体就会变得极不稳定，不仅会消耗能量，最终还会消失。

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-07

氢钝化可采用离子注入或等离子体处理。在多晶硅太阳电池表面采用pecvd法镀上一层氮化硅减反射膜，由于硅烷分解时产生氢离子，对多晶硅可产生氢钝化的效果。

来源：电子工程世界2012-05-04

然后采用等离子体化学气相沉积法(pecvd)沉积非晶硅层，以形成叠层太阳电池结构，这是整个制造过程中最关键的工艺步骤。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-04-27

对于这种情况，可以下调等离子体的功率，但是同时也会降低等离子体的稳定性。...等离子体作为准中性气体，它的状态容易被外部条件的改变而发生变化。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-04-25

采用等离子体增强气相沉积法制备了双层氮化硅作为多晶硅太阳电池的减反膜，理论模拟了双层氮化硅的光学参数，实际测试情况和理论模拟吻合良好。

来源：北极星太阳能光伏网2012-04-19

在用等离子体形成的氮化硅膜的折射率与致密性没有必然的联系，并不是折射率越高致密性就一定高。这点与用lpcvd所形成的氮化硅膜是有差异的。...1.2pecvd过程中的微观过程（1）气体分子与等离子体中的电子发生碰撞，产生出活性基团和离子。其中，形成离子的几率要低得多，因为分子离化过程所需的能量较高。（2）活性基团可以直接扩散到衬底表面。

来源：solarF2012-04-13

冶金法有别于改良西门子法和硅烷法的化学方法，冶金法是利用物理方法生产太阳能级多晶硅，其典型工艺是将纯度好的冶金硅进行水平区熔单向凝固成硅锭，去除硅锭的外表部分和金属杂质聚集的部分后，将硅锭粗粉碎并清洗，并在等离子体熔解炉中去除硼杂质

来源：新华网2012-04-13

据了解，cc导体采购包是等离子体所继环向场(tf)、极向场(pf)后承担的第三个iter导体采购包。此前2011年9月8日，等离子体所完成了第一根tf认证导体，同年11月完成了第一根pf认证导体。

来源：光伏制造2012-04-09

（2）直流法：使用直流源激发等离子体，进一步离化氨气和硅烷气。样品也不与等离子体接触。这种设备由荷兰的otb公司生产。...另外，等离子体直接法在大面积沉积时会造成由于高频波长所带来的附加的不均匀性。

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-31

3 冶金法物理法等离子体法据资料报导，日本川崎制铁公司采用冶金法制得的多晶硅已在世界上最大的太阳能电池厂(sharp公司)应用，现已形成800吨/年的生产能力，全量供给sharp公司。...主要工艺是：选择纯度较好的工业硅(即冶金硅)进行水平区熔单向凝固成硅锭，去除硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分后，进行粗粉碎与清洗，在等离子体融解炉中去除硼杂质，再进行第二次水平区熔单向凝固成硅锭，去除第二次区熔硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分