来源：北极星储能网2022-04-07

扩大mems封测规模，打造具有全球影响力的mems封测产业集群。推动济南、青岛2市8英寸集成电路晶圆制造生产线形成量产能力，加快提升大尺寸硅片、光掩膜版、光刻胶等制造环节材料产能。...用好集成电路产业财政奖补政策，壮大集成电路设计产业，扩大mems封测领先优势，打造具有全球影响力的mems封测产业集群。集中优势资源支持第三代半导体关键技术突破、重点产品发展和重大项目建设。

来源：中国标准化协会城镇基础设施分会2022-04-06

为此，中国标准化协会【2022】109号文件立项批复了《mems氢气传感器技术规范》由城镇基础设施分会及其服务机构组织实施编制工作。

来源：山东省工信厅2022-04-02

布局mems研发与产业化，积极布局芯片设计，积极引进高端芯片研发生产企业和技术，强化核心芯片支撑。3.健全软件技术支撑。

来源：北极星能源网2022-04-02

——油气工程技术 （10）地震探测智能化节点采集技术与装备 开展 mems 数字传感技术、基于 lora 架构的陆 上节点自适应组网技术研究，研制陆上、海洋智能化节点地震采 集系统，实现百万道级全数字地震探测和深海稳定可靠采集

来源：新乡市人民政府2022-03-31

建设新乡智能传感器产业基地，加快推进新乡市mems中试基地建设，以北方车辆仪表、芯睿电子为重点，巩固我市在声电传感器、仪器仪表传感器上的优势，积极推进红外传感器、热电堆传感器、压力传感器、霍尔传感器等专用传感器的创新研发和产业化

来源：北极星碳管家网2022-03-31

建设新乡智能传感器产业基地，加快推进新乡市mems中试基地建设，以北方车辆仪表、芯睿电子为重点，巩固我市在声电传感器、仪器仪表传感器上的优势，积极推进红外传感器、热电堆传感器、压力传感器、霍尔传感器等专用传感器的创新研发和产业化

来源：北极星储能网2022-03-31

建设新乡智能传感器产业基地，加快推进新乡市mems中试基地建设，以北方车辆仪表、芯睿电子为重点，巩固我市在声电传感器、仪器仪表传感器上的优势，积极推进红外传感器、热电堆传感器、压力传感器、霍尔传感器等专用传感器的创新研发和产业化

来源：北极星环保网2022-03-24

天文学创新中心项目9.承德木兰围场文化旅游产业园项目10.承德隆化中药材加工仓储物流及交易中心项目11.承德隆化风电光伏水电解制取绿氢项目12.承德高纯 oled 发光材料和光阻材料生产项目13.承德 mems

来源：重庆市人民政府2022-03-21

重点攻克基于mems工艺的传感器协同设计、微纳制造、微系统集成、性能测试与强化等关键技术，提升传感器可靠性与稳定性。2．纳米时栅工程研究中心。...瞄准微电子及微系统技术领域发展前沿，建设先进微纳制造、新型mems器件及智能声光电微系统研究、硅基高速片上系统研究等平台。5．微电子产业技术研究院。

来源：北极星环保网2022-03-21

重点攻克基于mems工艺的传感器协同设计、微纳制造、微系统集成、性能测试与强化等关键技术，提升传感器可靠性与稳定性。2．纳米时栅工程研究中心。...瞄准微电子及微系统技术领域发展前沿，建设先进微纳制造、新型mems器件及智能声光电微系统研究、硅基高速片上系统研究等平台。5．微电子产业技术研究院。

来源：河南省发改委2022-03-16

中国长城（郑州）自主创新基地9 恒固达高速铁路智能化电气设备研发与生产中心项目10 平顶山市祥羽固体光气下游产品研究院11 南乐县生物基中试基地及产业转型升级项目开工项目（30）1 河南省智能传感器mems

来源：河南省发改委2022-03-16

中国长城（郑州）自主创新基地9 恒固达高速铁路智能化电气设备研发与生产中心项目10 平顶山市祥羽固体光气下游产品研究院11 南乐县生物基中试基地及产业转型升级项目开工项目（30）1 河南省智能传感器mems

来源：北极星环保网2022-03-15

智慧医疗器械研发平台建设项目镇平国家宝玉石产业链数字化科创中心项目中国长城（郑州）自主创新基地恒固达高速铁路智能化电气设备研发与生产中心项目平顶山市祥羽固体光气下游产品研究院南乐县生物基中试基地及产业转型升级项目开工项目（30）河南省智能传感器mems

来源：北极星太阳能光伏网2022-02-28

2021 年度主要财务数据和指标：二、经营业绩和财务状况情况说明1、报告期内，半导体行业整体景气度高，功率半导体国产替代加速，公司在前几年战略部署的汽车电子产品市场占有率不断提升，集成电路和ppak封装、mems

来源：安徽省发改委2022-02-24

50万立方再生聚苯乙烯保温隔热材料项目禹会区成果年产15.6亿只新型可降解包项目高新区智慧钢琴生产基地项目禹会区速动平板电脑等智能终端产品生产基地项目蚌山区晟光科技年产100万件家电注塑件项目经开区工业mems...万吨丙交酯项目八一年产32万吨硝基氯苯氯碱系列产品项目凯盛年产8万吨纳米二氧化钛生产项目固镇县丰原年产10万吨聚乳酸项目怀远县敏速智能显示终端核心部件和整机制造项目柔性显示材料项目高端特种合金粉末项目二期经开区mems

来源：北极星储能网2022-02-23

重点突破新型mems气敏传感材料与器件，组织工程支架、纳米再生医学及植入体纳米表面改性技术。...发展mosfet（金属氧化物半导体场效应晶体管）、igbt（大功率绝缘栅双极型晶体管）、高端传感器、mems（微机电系统）、大功率led（发光二极管）器件、半导体激光器等产品。

来源：安徽省发改委2022-02-23

50万立方再生聚苯乙烯保温隔热材料项目禹会区成果年产15.6亿只新型可降解包项目高新区智慧钢琴生产基地项目禹会区速动平板电脑等智能终端产品生产基地项目蚌山区晟光科技年产100万件家电注塑件项目经开区工业mems...万吨丙交酯项目八一年产32万吨硝基氯苯氯碱系列产品项目凯盛年产8万吨纳米二氧化钛生产项目固镇县丰原年产10万吨聚乳酸项目怀远县敏速智能显示终端核心部件和整机制造项目柔性显示材料项目高端特种合金粉末项目二期经开区mems

来源：北极星环保网2022-02-23

50万立方再生聚苯乙烯保温隔热材料项目禹会区成果年产15.6亿只新型可降解包项目高新区智慧钢琴生产基地项目禹会区速动平板电脑等智能终端产品生产基地项目蚌山区晟光科技年产100万件家电注塑件项目经开区工业mems...万吨丙交酯项目八一年产32万吨硝基氯苯氯碱系列产品项目凯盛年产8万吨纳米二氧化钛生产项目固镇县丰原年产10万吨聚乳酸项目怀远县敏速智能显示终端核心部件和整机制造项目柔性显示材料项目高端特种合金粉末项目二期经开区mems

来源：河南省发改委2022-02-22

432 河南金石普惠科技有限公司智能生产线项目433 新乡市mems中试基地434 大块镇高端装备制造产业园435 河南省裕鑫新能源科技有限公司半导体芯片生产设备配套控温及冷却系统项目436 新乡市尔迪艾装备科技有限公司中医药艾草系列产品智能化生产基地项目

来源：北极星环保网2022-02-22

毫米以上无缝管线管46 江都三药抗肿瘤片剂等47 江都博智机器人智能制造48 江都福润药品高端制剂及精细原料49 邗江杰利新能源汽车电子及大功率半导体晶圆50 邗江揽坤高低压成套智能电气装备51 扬州奥力威汽车mems