来源：深圳市发改委2022-04-26

（2）建设全链条孵化育成体系，完善概念验证中心建设与运营机制，布局一批以企业为主体的中小试转化基地，高标准推进国家第三代半导体技术创新中心建设，开工建设微机电系统（mems）中试、新型显示研发中试、5g

来源：北极星储能网2022-04-26

车联网的便携式机动车尾气监测及云诊断系统研发及产业化山地茶园-以草抑草标准化技术的研发与应用基于红外视觉的石化气体泄露污染快速监测技术研究工业园区多污染物网格化微型空气监测站在线校准关键技术研究及应用油气装备中的有机废气处置关键技术及装置研究无人机搭载mems

来源：北极星储能网2022-04-14

3.集成电路封装技术小外形封装（sop）、塑料方块平面封装（pqfp）、有引线塑封芯片载体（plcc）等高密度塑封技术；新型封装技术；电荷耦合元件(ccd)/微机电系统（mems）特种器件封装工艺技术等...、bicmos工艺技术、hkmg工艺技术、finfet工艺技术，以及各种与cmos兼容的soc工艺技术；宽带隙半导体基集成电路工艺技术；gesi /soi基集成电路工艺技术；ccd图像传感器工艺技术；mems

来源：福州市人民政府2022-04-12

保利通信科技产业园1731 海西高新技术产业园创新园四期1732 新型液晶显示器、新型电容屏及配套项目1733 马排商住地（国贸地块东侧）1734 万科科技园1735 建平商住地块1736 福建省元智信息科技有限公司mems

来源：北极星环保网2022-04-12

保利通信科技产业园1731 海西高新技术产业园创新园四期1732 新型液晶显示器、新型电容屏及配套项目1733 马排商住地（国贸地块东侧）1734 万科科技园1735 建平商住地块1736 福建省元智信息科技有限公司mems

来源：广东省人民政府2022-04-11

加快发展先进高压电路器件工艺、电源管理bcd工艺、数模混合集成工艺、微机电系统（mems）工艺、射频电路、锗硅工艺、硅光工艺、微控制集成工艺等特色专用工艺。封装测试环节。...重点推进光子芯片、高速光模块、光电耦合器、光电交换器件、高性能低成本光纤预制棒，以及光无源器件和mems光开关等关键器件的研发，积极推动电力电子、印刷电子产业化，加快部署量子元器件研发。

来源：安徽发改委2022-04-07

创新成果不断涌现，动态存储芯片、柔性可折叠玻璃、陶铝新材料等新材料实现并跑领跑，8.5代tft玻璃基板、铜铟镓硒发电玻璃、pva光学薄膜、mems传感器等一批创新成果率先实现国产化，特种缓冲吸能材料成功应用于

来源：北极星环保网2022-04-07

扩大mems封测规模，打造具有全球影响力的mems封测产业集群。推动济南、青岛2市8英寸集成电路晶圆制造生产线形成量产能力，加快提升大尺寸硅片、光掩膜版、光刻胶等制造环节材料产能。

来源：山东省人民政府2022-04-07

扩大mems封测规模，打造具有全球影响力的mems封测产业集群。推动济南、青岛2市8英寸集成电路晶圆制造生产线形成量产能力，加快提升大尺寸硅片、光掩膜版、光刻胶等制造环节材料产能。...用好集成电路产业财政奖补政策，壮大集成电路设计产业，扩大mems封测领先优势，打造具有全球影响力的mems封测产业集群。集中优势资源支持第三代半导体关键技术突破、重点产品发展和重大项目建设。

来源：山东省人民政府2022-04-07

扩大mems封测规模，打造具有全球影响力的mems封测产业集群。推动济南、青岛2市8英寸集成电路晶圆制造生产线形成量产能力，加快提升大尺寸硅片、光掩膜版、光刻胶等制造环节材料产能。...用好集成电路产业财政奖补政策，壮大集成电路设计产业，扩大mems封测领先优势，打造具有全球影响力的mems封测产业集群。集中优势资源支持第三代半导体关键技术突破、重点产品发展和重大项目建设。

来源：山东省人民政府2022-04-07

用好集成电路产业财政奖补政策，壮大集成电路设计产业，扩大mems封测领先优势，打造具有全球影响力的mems封测产业集群。集中优势资源支持第三代半导体关键技术突破、重点产品发展和重大项目建设。

来源：山东省人民政府2022-04-07

用好集成电路产业财政奖补政策，壮大集成电路设计产业，扩大mems封测领先优势，打造具有全球影响力的mems封测产业集群。集中优势资源支持第三代半导体关键技术突破、重点产品发展和重大项目建设。

来源：北极星储能网2022-04-07

扩大mems封测规模，打造具有全球影响力的mems封测产业集群。推动济南、青岛2市8英寸集成电路晶圆制造生产线形成量产能力，加快提升大尺寸硅片、光掩膜版、光刻胶等制造环节材料产能。...用好集成电路产业财政奖补政策，壮大集成电路设计产业，扩大mems封测领先优势，打造具有全球影响力的mems封测产业集群。集中优势资源支持第三代半导体关键技术突破、重点产品发展和重大项目建设。

来源：中国标准化协会城镇基础设施分会2022-04-06

为此，中国标准化协会【2022】109号文件立项批复了《mems氢气传感器技术规范》由城镇基础设施分会及其服务机构组织实施编制工作。

来源：山东省工信厅2022-04-02

布局mems研发与产业化，积极布局芯片设计，积极引进高端芯片研发生产企业和技术，强化核心芯片支撑。3.健全软件技术支撑。

来源：北极星能源网2022-04-02

——油气工程技术 （10）地震探测智能化节点采集技术与装备 开展 mems 数字传感技术、基于 lora 架构的陆 上节点自适应组网技术研究，研制陆上、海洋智能化节点地震采 集系统，实现百万道级全数字地震探测和深海稳定可靠采集

来源：新乡市人民政府2022-03-31

建设新乡智能传感器产业基地，加快推进新乡市mems中试基地建设，以北方车辆仪表、芯睿电子为重点，巩固我市在声电传感器、仪器仪表传感器上的优势，积极推进红外传感器、热电堆传感器、压力传感器、霍尔传感器等专用传感器的创新研发和产业化

来源：北极星碳管家网2022-03-31

建设新乡智能传感器产业基地，加快推进新乡市mems中试基地建设，以北方车辆仪表、芯睿电子为重点，巩固我市在声电传感器、仪器仪表传感器上的优势，积极推进红外传感器、热电堆传感器、压力传感器、霍尔传感器等专用传感器的创新研发和产业化

来源：北极星储能网2022-03-31

建设新乡智能传感器产业基地，加快推进新乡市mems中试基地建设，以北方车辆仪表、芯睿电子为重点，巩固我市在声电传感器、仪器仪表传感器上的优势，积极推进红外传感器、热电堆传感器、压力传感器、霍尔传感器等专用传感器的创新研发和产业化

来源：北极星环保网2022-03-24

天文学创新中心项目9.承德木兰围场文化旅游产业园项目10.承德隆化中药材加工仓储物流及交易中心项目11.承德隆化风电光伏水电解制取绿氢项目12.承德高纯 oled 发光材料和光阻材料生产项目13.承德 mems